eng
Выпуск #6/2014
А.Алексеев
Разработка специального технологического оборудования для ЭКБ как важная составляющая безопасности страны
Разработка специального технологического оборудования для ЭКБ как важная составляющая безопасности страны
Просмотры: 5155
Санкт-петербургская компания "Научное и техноло-гическое оборудование" (ЗАО "НТО") с 2001 года разрабатывает и производит оборудование для изготовления современной электронной компонентной базы (ЭКБ). Решения компании под маркой SemiTEq пользуются высокой репутацией и востребованы не только на российском, но и на глобальном рынке. О состоянии и актуальных задачах российского электронного машиностроения, успешном опыте работы на международном рынке и проблеме импортозамещения рассказал генеральный директор ЗАО "НТО" Алексей Николаевич Алексеев.
Алексей Николаевич, как вы оцениваете уровень развития российского электронного машиностроения для ЭКБ?
Российская электронная промышленность продолжает развиваться несмотря на определенные сложности, которые сопровождали отрасль в последние два десятилетия. Постепенно осуществляется давно назревшее переоснащение предприятий современным технологическим оборудованием, осваиваются новые технологии. Но говорить о независимости при разработке и производстве ЭКБ можно, если только под контролем находится вся технологическая цепочка создания продукта – от изготовления базовых материалов (например, подложек и чистых газов) до контрольно-измерительного оборудования, позволяющего измерять ключевые параметры приборов на этапе их приемки заказчиком – производителем конечной аппаратуры. К сожалению, целый ряд звеньев данной цепи практически не развивался в предыдущие десятилетия, и одним из них является специальное технологическое оборудование (СТО). Некогда мощная отрасль электронного машиностроения, утратив государственную поддержку в 1990-е годы, если не прекратила свое существование, то свелась по сути к инициативным разработкам, проводимым немногими частными российскими компаниями. В целом же отечественная электронная промышленность оказалась практически в полной зависимости от зарубежных поставщиков. Дополнительный негативный фактор – отсутствие системы госрегулирования закупок импортного СТО, что привело к оснащению предприятий, работающих по тематически близким направлениям ЭКБ, разнородными наборами зарубежного технологического оборудования. Это, в свою очередь, затрудняет, либо вовсе исключает горизонтальную кооперацию предприятий ввиду нестыковки технологических маршрутов, выстроенных на различных наборах СТО. Мировой же опыт показывает, что эффективное движение вперед в наукоемких направлениях промышленности требует тесного сотрудничества участников рынка.
Несмотря на целый ряд проблем, сложившихся в отрасли, на российском рынке сегодня работают компании, выпускающие качественное современное оборудование. Наиболее успешные российские производители стараются выходить и на зарубежные рынки, признание на которых, в силу высокого уровня предложения, можно назвать "лакмусовой бумажкой" конкурентоспособности.
Каковы объемы российского рынка ЭКБ и связанного с ним рынка СТО? Существуют ли предпосылки для их роста?
По оценкам компании Frost & Sullivan отечественный рынок ЭКБ составляет 2,7 млрд. долл. – менее 1% от общемирового объема. Тем не менее специалисты характеризуют его как один из наиболее перспективных с ежегодным ростом около 15%. Рынок же СТО в РФ, по разным оценкам, составляет от 0,7 до 1 млрд. долл. с ежегодным ростом на 10–12%. Рост российского рынка ЭКБ в ближайшие 10 лет будет связан, прежде всего, с развитием ОПК и специальной техники.
Более 70% всего рынка ЭКБ, включая продукцию промышленной и коммерческой электроники, занимают зарубежные производители в силу либо отсутствия, либо ограниченности отечественной производственной и технологической базы. Таким образом, для развития радиоэлектронной отрасли, с которой напрямую связана технологическая безопасность страны, стратегически важно импортозамещение, обеспечивающее проведение ключевых технологических операций по созданию перспективных видов ЭКБ.
Считаю, что наиболее важным фактором для роста рынка конечной продукции можно считать наличие всего комплекса доступного современного технологического оборудования, так как в конечном счете именно от него зависит возможность постановки определенной технологии изготовления ЭКБ. Для решения задачи по увеличению выпуска ЭКБ по критически важным направлениям производства продукции гражданского, специального и двойного назначения, необходимо уделить особое внимание снижению зависимости от зарубежных поставок СТО. Тем более что большая часть современной номенклатуры СТО подпадает под экспортные ограничения, и поставки нового оборудования, а также обслуживание уже встроенного в производственный процесс могут быть прекращены в любой момент в связи с разворачивающейся политикой ограничительных мер и санкций в отношении РФ. Вариант развития радиоэлектронной отрасли, основанный на закупках импортного оборудования без создания собственной импортозамещающей базы, крайне уязвим с точки зрения национальной безопасности.
Какие типы выпускаемого в нашей стране СТО соответствуют современным требованиям?
В России выпускается оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии R&D класса, которое может использоваться для производства эпитаксиальных структур на подложках диаметром до 100 мм. В качестве примера могу привести разработки компании, которую я представляю. Наши системы уникальны тем, что они единственные в России выпускаются серийно. Однако специалисты нашей компании отмечают, что производительность данных машин уже становится недостаточной для обеспечения возрастающих потребностей российских предприятий в эпитаксиальном материале (прежде всего, речь о GaAs и СВЧ-применениях). Сейчас необходимо создать отечественное оборудование средней производительности (3×100 мм, 1×150 мм в одном процессе), которое будет экономически эффективней, чем более производительные установки зарубежных компаний, рассчитанные на массовый выпуск однотипных эпитаксиальных структур для изделий коммерческой электроники. Создание отечественной производственно-ориентированной установки МЛЭ актуально и важно для обеспечения технологической безопасности страны. Мы уже думаем об этой задаче и хотим участвовать в ее решении. Разработки такой сложности требуют существенных инвестиций, причем государство очень заинтересовано в развитии этого сегмента отечественного рынка.
Оборудование для высоко востребованной рынком технологии металлоорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ), применяемой, прежде всего, в оптоэлектронике, в нашей стране пока не производится. При этом в России создан огромный задел и существуют пилотные разработки экспериментальных образцов такого оборудования, которые просто необходимо использовать для создания отечественного производства.
В сегменте планарного технологического оборудования ситуация лучше – есть ряд отечественных разработчиков и производителей. Но, хотя отдельные виды СТО не уступают импортным аналогам, средний уровень российского оборудования для планарных технологий ниже зарубежного. Мы, как специалисты, прежде всего, по широкозонным материлам A3B5, оцениваем рынок ЭКБ на сложных полупроводниках, которые применяются для разработки широкого спектра перспективных изделий. Отечественное СТО рассчитано на индивидуальную обработку пластин диаметром до 100 мм. Реально же оно обеспечивает требуемые параметры на пластинах 2 и 3 дюйма. В среднесрочной перспективе для таких подложек как GaAs и SiC (для светодиодов) необходимо оборудование, которое бы обеспечивало как групповую обработку пластин диаметром 100 мм, так и индивидуальную обработку пластин диаметром до 150 мм, с предельно высокими параметрами качества, воспроизводимости и однородности.
Нужно отметить, что производительность большинства видов выпускаемого в России планарного оборудования отстает от растущих потребностей предприятий-производителей ЭКБ. Поэтому для технологической безопасности страны необходимо обеспечить импортозамещение и в этом сегменте рынка.
С какими проблемами сталкиваются российские производители СТО?
Проблемы отечественных производителей оборудования и электроники можно охарактеризовать как системные. Все они возникли в силу отсутствия комплексного подхода к развитию отрасли со стороны государства в последние 25 лет. Именно это и привело к разрывам между производителями ЭКБ и СТО. Так сложилось, что большинство предприятий, получивших в последнее десятилетие финансирование на обновление материально-технической базы, старались приобрести оборудование зарубежных производителей. Где-то это было обосновано отсутствием на тот момент конкурентных российских разработок, а в ряде случаев срабатывал стереотип "импортное все равно лучше". Как результат, нарушена горизонтальная кооперация и обмен технологиями в ходе совместных разработок отечественных производителей ЭКБ. Немаловажно также, что подавляющее большинство оборудования производится в США и странах Западной Европы, и, в случае ухудшения их отношений с Россией, достаточно быстро попадает в ограничительные списки. Это сказывается как на возможности покупки нового СТО для развития уже поставленных техмаршрутов, так и на техобслуживании ранее приобретенных установок.
Убежден, что для развития отечественного рынка ЭКБ необходимо реализовывать комплексные проекты по разработке оборудования – тогда оно будет легко выстраиваться в технологическую цепочку на предприятиях по всей России. Это позволит вести слаженную работу по всем направлениям развития. Но следует особо подчеркнуть, что такие разработки должны быть экономически оправданы – необходимо инвестировать в создание серийного производства оборудования. Объясню почему: во-первых, серийный выпуск означает наличие рынка (спроса на продукцию), во-вторых, только в таких условиях представляется возможным доведение систем до высокой степени надежности и качества. Важным аспектом создания и доводки новых образцов СТО должна быть тесная кооперация между разработчиками оборудования и производителями ЭКБ как при проведении ОКР, так и на этапе долговременного тестирования опытных образцов.
Располагает ли российское электронное машино- и приборостроение необходимым научно-техническим потенциалом для ликвидации отставания от мировых лидеров?
В России сформирован достаточный научно-технический задел, позволяющий успешно выполнить поставленную задачу. Однако, я убежден, что нам нужно не гнаться за мировыми лидерами, а искать собственные решения проблемы.
Исторически сложилось так, что в России сформировалось сразу несколько ведущих технологических школ по направлению молекулярно-лучевой эпитаксии. В первую очередь следует отметить потенциал ФТИ
им. А.Ф.Иоффе, ИФП СО РАН и АФТУ. Также серьезный технологический задел создан компанией "Светлана-Рост" и ИСВЧПЭ РАН, хорошие результаты по СВЧ-нитридной тематике на оборудовании ЗАО "НТО" демонстрирует Курчатовский центр синхротронного излучения и нанотехнологий (РНЦ "Курчатовский институт"). По направлению роста структур методом МОГФЭ одним из признанных лидеров в России является компания "Элма-Малахит". Но наиболее крупный кластер организаций, занимающихся эпитаксиальным ростом гетероструктур А3В5 и А3N различными методами, а также исследованиями, исторически сформировался в Санкт-Петербурге, где высокая концентрация учебных, научных и производственных организаций обеспечивает необходимый потенциал для проведения новых разработок.
В области планарного технологического оборудования в России также имеется достаточный научно-технический задел. Например, им обладают компании Зеленоградского кластера – НИИТМ и "ЭСТО-Вакуум". Наша компания также выпускает широкий спектр сверхвысоковакуумного технологического оборудования. В частности, налажен серийный выпуск установок электронно-лучевого и магнетронного напыления, термической обработки пластин и плазмохимического осаждения/травления, ориентированных на исследования и пилотное производство.
Безусловно, важнейшей составляющей создания структур при изготовлении ЭКБ является литография (контактная, проекционная, лазерная). Однако исторически задел по данному направлению в рамках бывшего СССР формировался, прежде всего, в Белоруссии. Он в значительной мере сохранен и успешно развивается, в частности, на предприятиях холдинга "Планар". В последние годы дополнительным импульсом для разработки белорусскими коллегами новых видов оборудования послужила реализация ряда программ Союзного государства России и Беларуси. Сейчас рассматривается ряд программ по разработке новых видов литографического оборудования, которое может решить проблему импортозамещения по этому направлению.
Какие меры, на ваш взгляд, должно предпринять государство для развития электронного машиностроения?
В условии нарастающих внешних рисков реализация программ стратегического развития радиоэлектронной промышленности требует разработки комплексной системы господдержки электронного машиностроения, а также регулирования импорта СТО. Без этих мер Россия рискует оказаться неспособной самостоятельно производить критически важные виды современной ЭКБ, каналы приобретения импортных аналогов которой либо отсутствуют, либо могут быть перекрыты в любой момент. При этом важным аспектом развития отечественного производства оборудования должна быть направленность на унификацию технических и технологических решений с целью обеспечения в будущем единого технологического пространства для разработчиков и производителей ЭКБ. Во многом вопреки тому, что происходило в последние 20–25 лет, в стране сохраняются и развиваются компетенции по отдельным критически важным видам СТО, обеспечивая необходимый задел для дальнейшего движения вперед.
Каковы возможности "НТО" в реализации политики импортозамещения?
ЗАО "НТО" уже на протяжении 13 лет под брендом SemiTEq разрабатывает и производит вакуумное технологическое оборудование для полупроводниковой технологии. При разработке СТО в нашей компании задействованы ведущие специалисты отрасли, которые не только знакомы с особенностями технологии, но и реально оценивают особенности российского рынка и решаемые задачи. Благодаря этому мы понимаем текущие потребности потребителей. Компания стала своего рода инжиниринговым центром по части оборудования, прежде чем в России этот термин приобрел нынешнюю популярность. Например, в 2010 году мы одними из первых в России открыли "Прикладную лабораторию" для отработки технологических процессов и разработки технологических маршрутов на выпускаемом нами оборудовании.
Одно из наиболее развитых направлений в компании, как я уже отмечал, – производство систем МЛЭ для нитридов III группы. Уникальные возможности данного оборудования по выращиванию гетероструктур для микроэлектроники были продемонстрированы не только в России, но и в рамках проекта, реализованного в 2011 году в Индии. Результаты, полученные индийскими коллегами на нашей нитридной МЛЭ-системе STE3N3 находятся на самом высоком мировом уровне.
Мы практически ежегодно обновляем продуктовую линейку. В 2013 году компания представила исследовательскую установку молекулярно-лучевой эпитаксии STE75, предназначенную для решения широкого спектра задач и роста различных систем материалов. Установка по всем своим характеристикам успешно конкурирует с лучшими мировыми аналогами – ультракомпактными системами МЛЭ фирм Riber и Veeco. В этом году осуществлена поставка установки данного типа в университет Торонто (Канада), что подтверждает ее конкурентоспособность на мировом рынке.
В начале 2014 года компания представила обновленную серию плазмохимических установок STE ICP для широкого спектра технологических задач по травлению полупроводников и диэлектриков, а также высококачественному нанесению диэлектрических слоев. Системы нового поколения построены на единой универсальной технической платформе и позволяют реализовывать широкий спектр современных технологических процессов травления (STE ICP200E) и плазмохимического газофазного осаждения (STE ICP200D) в индуктивно-связанной плазме на пластинах диаметром до 200 мм. Платформа построена на основе бесшовных алюминиевых корпусных изделий и оснащена новым шлюзовым устройством, позволяющим производить монтаж установки "через стену" чистого помещения.
Также линейка PVD-систем ЗАО "НТО" пополнилась новой универсальной системой магнетронного напыления для реализации различных производственно-ориентированных процессов классической тонкопленочной технологии. Новая установка STE MS900 стала второй системой в серии STE MS и специально разработана для проведения процессов магнетронного и резистивного испарения на групповой партии пластин, что оптимально для решения производственных задач.
Ежегодные релизы нового оборудования отражают активную политику нашей компании в области развития собственных исследований и разработок и направлены на решение постоянно растущих запросов со стороны заказчиков и партнеров. Наша компания имеет необходимый успешный опыт для участия в проектах импортозамещения. Уверен, что в России еще много предприятий, которые при слаженной работе способны совершить переворот в отечественном электронном машиностроении и производстве ЭКБ.
В заключение хотел бы отметить, что импортозамещение в производстве ЭКБ должно рассматриваться не как разработка аналогов конкретных электронных компонентов, а как комплексное создание технологического базиса, позволяющего проектировать и производить электронные компоненты с заданными техническими и эксплуатационными характеристиками. Решению этой задачи в значительной степени будет способствовать наличие базы отечественного технологического оборудования. Если же говорить о прорывных исследованиях и так называемых опережающих разработках, то, с учетом жесткой привязки новых технологий к возможностям оборудования, их проведение невозможно без обладания собственными компетенциями по созданию СТО, так как поставки наиболее новых его видов всегда будут так или иначе ограничиваться.
На мой взгляд, первоочередное развитие электронной промышленности имеет ключевое значение для решения проблемы перехода от "сырьевой" экономики к экономике "знаний", а также обеспечения комплексной безопасности государства. Создание в России современной инфраструктуры разработки и производства изделий микроэлектроники и достижение технологической независимости в этой области – одни из ключевых задач развития страны, на которой необходимо сконцентрировать ресурсы государства и бизнеса.
Спасибо за интересный рассказ.
Российская электронная промышленность продолжает развиваться несмотря на определенные сложности, которые сопровождали отрасль в последние два десятилетия. Постепенно осуществляется давно назревшее переоснащение предприятий современным технологическим оборудованием, осваиваются новые технологии. Но говорить о независимости при разработке и производстве ЭКБ можно, если только под контролем находится вся технологическая цепочка создания продукта – от изготовления базовых материалов (например, подложек и чистых газов) до контрольно-измерительного оборудования, позволяющего измерять ключевые параметры приборов на этапе их приемки заказчиком – производителем конечной аппаратуры. К сожалению, целый ряд звеньев данной цепи практически не развивался в предыдущие десятилетия, и одним из них является специальное технологическое оборудование (СТО). Некогда мощная отрасль электронного машиностроения, утратив государственную поддержку в 1990-е годы, если не прекратила свое существование, то свелась по сути к инициативным разработкам, проводимым немногими частными российскими компаниями. В целом же отечественная электронная промышленность оказалась практически в полной зависимости от зарубежных поставщиков. Дополнительный негативный фактор – отсутствие системы госрегулирования закупок импортного СТО, что привело к оснащению предприятий, работающих по тематически близким направлениям ЭКБ, разнородными наборами зарубежного технологического оборудования. Это, в свою очередь, затрудняет, либо вовсе исключает горизонтальную кооперацию предприятий ввиду нестыковки технологических маршрутов, выстроенных на различных наборах СТО. Мировой же опыт показывает, что эффективное движение вперед в наукоемких направлениях промышленности требует тесного сотрудничества участников рынка.
Несмотря на целый ряд проблем, сложившихся в отрасли, на российском рынке сегодня работают компании, выпускающие качественное современное оборудование. Наиболее успешные российские производители стараются выходить и на зарубежные рынки, признание на которых, в силу высокого уровня предложения, можно назвать "лакмусовой бумажкой" конкурентоспособности.
Каковы объемы российского рынка ЭКБ и связанного с ним рынка СТО? Существуют ли предпосылки для их роста?
По оценкам компании Frost & Sullivan отечественный рынок ЭКБ составляет 2,7 млрд. долл. – менее 1% от общемирового объема. Тем не менее специалисты характеризуют его как один из наиболее перспективных с ежегодным ростом около 15%. Рынок же СТО в РФ, по разным оценкам, составляет от 0,7 до 1 млрд. долл. с ежегодным ростом на 10–12%. Рост российского рынка ЭКБ в ближайшие 10 лет будет связан, прежде всего, с развитием ОПК и специальной техники.
Более 70% всего рынка ЭКБ, включая продукцию промышленной и коммерческой электроники, занимают зарубежные производители в силу либо отсутствия, либо ограниченности отечественной производственной и технологической базы. Таким образом, для развития радиоэлектронной отрасли, с которой напрямую связана технологическая безопасность страны, стратегически важно импортозамещение, обеспечивающее проведение ключевых технологических операций по созданию перспективных видов ЭКБ.
Считаю, что наиболее важным фактором для роста рынка конечной продукции можно считать наличие всего комплекса доступного современного технологического оборудования, так как в конечном счете именно от него зависит возможность постановки определенной технологии изготовления ЭКБ. Для решения задачи по увеличению выпуска ЭКБ по критически важным направлениям производства продукции гражданского, специального и двойного назначения, необходимо уделить особое внимание снижению зависимости от зарубежных поставок СТО. Тем более что большая часть современной номенклатуры СТО подпадает под экспортные ограничения, и поставки нового оборудования, а также обслуживание уже встроенного в производственный процесс могут быть прекращены в любой момент в связи с разворачивающейся политикой ограничительных мер и санкций в отношении РФ. Вариант развития радиоэлектронной отрасли, основанный на закупках импортного оборудования без создания собственной импортозамещающей базы, крайне уязвим с точки зрения национальной безопасности.
Какие типы выпускаемого в нашей стране СТО соответствуют современным требованиям?
В России выпускается оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии R&D класса, которое может использоваться для производства эпитаксиальных структур на подложках диаметром до 100 мм. В качестве примера могу привести разработки компании, которую я представляю. Наши системы уникальны тем, что они единственные в России выпускаются серийно. Однако специалисты нашей компании отмечают, что производительность данных машин уже становится недостаточной для обеспечения возрастающих потребностей российских предприятий в эпитаксиальном материале (прежде всего, речь о GaAs и СВЧ-применениях). Сейчас необходимо создать отечественное оборудование средней производительности (3×100 мм, 1×150 мм в одном процессе), которое будет экономически эффективней, чем более производительные установки зарубежных компаний, рассчитанные на массовый выпуск однотипных эпитаксиальных структур для изделий коммерческой электроники. Создание отечественной производственно-ориентированной установки МЛЭ актуально и важно для обеспечения технологической безопасности страны. Мы уже думаем об этой задаче и хотим участвовать в ее решении. Разработки такой сложности требуют существенных инвестиций, причем государство очень заинтересовано в развитии этого сегмента отечественного рынка.
Оборудование для высоко востребованной рынком технологии металлоорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ), применяемой, прежде всего, в оптоэлектронике, в нашей стране пока не производится. При этом в России создан огромный задел и существуют пилотные разработки экспериментальных образцов такого оборудования, которые просто необходимо использовать для создания отечественного производства.
В сегменте планарного технологического оборудования ситуация лучше – есть ряд отечественных разработчиков и производителей. Но, хотя отдельные виды СТО не уступают импортным аналогам, средний уровень российского оборудования для планарных технологий ниже зарубежного. Мы, как специалисты, прежде всего, по широкозонным материлам A3B5, оцениваем рынок ЭКБ на сложных полупроводниках, которые применяются для разработки широкого спектра перспективных изделий. Отечественное СТО рассчитано на индивидуальную обработку пластин диаметром до 100 мм. Реально же оно обеспечивает требуемые параметры на пластинах 2 и 3 дюйма. В среднесрочной перспективе для таких подложек как GaAs и SiC (для светодиодов) необходимо оборудование, которое бы обеспечивало как групповую обработку пластин диаметром 100 мм, так и индивидуальную обработку пластин диаметром до 150 мм, с предельно высокими параметрами качества, воспроизводимости и однородности.
Нужно отметить, что производительность большинства видов выпускаемого в России планарного оборудования отстает от растущих потребностей предприятий-производителей ЭКБ. Поэтому для технологической безопасности страны необходимо обеспечить импортозамещение и в этом сегменте рынка.
С какими проблемами сталкиваются российские производители СТО?
Проблемы отечественных производителей оборудования и электроники можно охарактеризовать как системные. Все они возникли в силу отсутствия комплексного подхода к развитию отрасли со стороны государства в последние 25 лет. Именно это и привело к разрывам между производителями ЭКБ и СТО. Так сложилось, что большинство предприятий, получивших в последнее десятилетие финансирование на обновление материально-технической базы, старались приобрести оборудование зарубежных производителей. Где-то это было обосновано отсутствием на тот момент конкурентных российских разработок, а в ряде случаев срабатывал стереотип "импортное все равно лучше". Как результат, нарушена горизонтальная кооперация и обмен технологиями в ходе совместных разработок отечественных производителей ЭКБ. Немаловажно также, что подавляющее большинство оборудования производится в США и странах Западной Европы, и, в случае ухудшения их отношений с Россией, достаточно быстро попадает в ограничительные списки. Это сказывается как на возможности покупки нового СТО для развития уже поставленных техмаршрутов, так и на техобслуживании ранее приобретенных установок.
Убежден, что для развития отечественного рынка ЭКБ необходимо реализовывать комплексные проекты по разработке оборудования – тогда оно будет легко выстраиваться в технологическую цепочку на предприятиях по всей России. Это позволит вести слаженную работу по всем направлениям развития. Но следует особо подчеркнуть, что такие разработки должны быть экономически оправданы – необходимо инвестировать в создание серийного производства оборудования. Объясню почему: во-первых, серийный выпуск означает наличие рынка (спроса на продукцию), во-вторых, только в таких условиях представляется возможным доведение систем до высокой степени надежности и качества. Важным аспектом создания и доводки новых образцов СТО должна быть тесная кооперация между разработчиками оборудования и производителями ЭКБ как при проведении ОКР, так и на этапе долговременного тестирования опытных образцов.
Располагает ли российское электронное машино- и приборостроение необходимым научно-техническим потенциалом для ликвидации отставания от мировых лидеров?
В России сформирован достаточный научно-технический задел, позволяющий успешно выполнить поставленную задачу. Однако, я убежден, что нам нужно не гнаться за мировыми лидерами, а искать собственные решения проблемы.
Исторически сложилось так, что в России сформировалось сразу несколько ведущих технологических школ по направлению молекулярно-лучевой эпитаксии. В первую очередь следует отметить потенциал ФТИ
им. А.Ф.Иоффе, ИФП СО РАН и АФТУ. Также серьезный технологический задел создан компанией "Светлана-Рост" и ИСВЧПЭ РАН, хорошие результаты по СВЧ-нитридной тематике на оборудовании ЗАО "НТО" демонстрирует Курчатовский центр синхротронного излучения и нанотехнологий (РНЦ "Курчатовский институт"). По направлению роста структур методом МОГФЭ одним из признанных лидеров в России является компания "Элма-Малахит". Но наиболее крупный кластер организаций, занимающихся эпитаксиальным ростом гетероструктур А3В5 и А3N различными методами, а также исследованиями, исторически сформировался в Санкт-Петербурге, где высокая концентрация учебных, научных и производственных организаций обеспечивает необходимый потенциал для проведения новых разработок.
В области планарного технологического оборудования в России также имеется достаточный научно-технический задел. Например, им обладают компании Зеленоградского кластера – НИИТМ и "ЭСТО-Вакуум". Наша компания также выпускает широкий спектр сверхвысоковакуумного технологического оборудования. В частности, налажен серийный выпуск установок электронно-лучевого и магнетронного напыления, термической обработки пластин и плазмохимического осаждения/травления, ориентированных на исследования и пилотное производство.
Безусловно, важнейшей составляющей создания структур при изготовлении ЭКБ является литография (контактная, проекционная, лазерная). Однако исторически задел по данному направлению в рамках бывшего СССР формировался, прежде всего, в Белоруссии. Он в значительной мере сохранен и успешно развивается, в частности, на предприятиях холдинга "Планар". В последние годы дополнительным импульсом для разработки белорусскими коллегами новых видов оборудования послужила реализация ряда программ Союзного государства России и Беларуси. Сейчас рассматривается ряд программ по разработке новых видов литографического оборудования, которое может решить проблему импортозамещения по этому направлению.
Какие меры, на ваш взгляд, должно предпринять государство для развития электронного машиностроения?
В условии нарастающих внешних рисков реализация программ стратегического развития радиоэлектронной промышленности требует разработки комплексной системы господдержки электронного машиностроения, а также регулирования импорта СТО. Без этих мер Россия рискует оказаться неспособной самостоятельно производить критически важные виды современной ЭКБ, каналы приобретения импортных аналогов которой либо отсутствуют, либо могут быть перекрыты в любой момент. При этом важным аспектом развития отечественного производства оборудования должна быть направленность на унификацию технических и технологических решений с целью обеспечения в будущем единого технологического пространства для разработчиков и производителей ЭКБ. Во многом вопреки тому, что происходило в последние 20–25 лет, в стране сохраняются и развиваются компетенции по отдельным критически важным видам СТО, обеспечивая необходимый задел для дальнейшего движения вперед.
Каковы возможности "НТО" в реализации политики импортозамещения?
ЗАО "НТО" уже на протяжении 13 лет под брендом SemiTEq разрабатывает и производит вакуумное технологическое оборудование для полупроводниковой технологии. При разработке СТО в нашей компании задействованы ведущие специалисты отрасли, которые не только знакомы с особенностями технологии, но и реально оценивают особенности российского рынка и решаемые задачи. Благодаря этому мы понимаем текущие потребности потребителей. Компания стала своего рода инжиниринговым центром по части оборудования, прежде чем в России этот термин приобрел нынешнюю популярность. Например, в 2010 году мы одними из первых в России открыли "Прикладную лабораторию" для отработки технологических процессов и разработки технологических маршрутов на выпускаемом нами оборудовании.
Одно из наиболее развитых направлений в компании, как я уже отмечал, – производство систем МЛЭ для нитридов III группы. Уникальные возможности данного оборудования по выращиванию гетероструктур для микроэлектроники были продемонстрированы не только в России, но и в рамках проекта, реализованного в 2011 году в Индии. Результаты, полученные индийскими коллегами на нашей нитридной МЛЭ-системе STE3N3 находятся на самом высоком мировом уровне.
Мы практически ежегодно обновляем продуктовую линейку. В 2013 году компания представила исследовательскую установку молекулярно-лучевой эпитаксии STE75, предназначенную для решения широкого спектра задач и роста различных систем материалов. Установка по всем своим характеристикам успешно конкурирует с лучшими мировыми аналогами – ультракомпактными системами МЛЭ фирм Riber и Veeco. В этом году осуществлена поставка установки данного типа в университет Торонто (Канада), что подтверждает ее конкурентоспособность на мировом рынке.
В начале 2014 года компания представила обновленную серию плазмохимических установок STE ICP для широкого спектра технологических задач по травлению полупроводников и диэлектриков, а также высококачественному нанесению диэлектрических слоев. Системы нового поколения построены на единой универсальной технической платформе и позволяют реализовывать широкий спектр современных технологических процессов травления (STE ICP200E) и плазмохимического газофазного осаждения (STE ICP200D) в индуктивно-связанной плазме на пластинах диаметром до 200 мм. Платформа построена на основе бесшовных алюминиевых корпусных изделий и оснащена новым шлюзовым устройством, позволяющим производить монтаж установки "через стену" чистого помещения.
Также линейка PVD-систем ЗАО "НТО" пополнилась новой универсальной системой магнетронного напыления для реализации различных производственно-ориентированных процессов классической тонкопленочной технологии. Новая установка STE MS900 стала второй системой в серии STE MS и специально разработана для проведения процессов магнетронного и резистивного испарения на групповой партии пластин, что оптимально для решения производственных задач.
Ежегодные релизы нового оборудования отражают активную политику нашей компании в области развития собственных исследований и разработок и направлены на решение постоянно растущих запросов со стороны заказчиков и партнеров. Наша компания имеет необходимый успешный опыт для участия в проектах импортозамещения. Уверен, что в России еще много предприятий, которые при слаженной работе способны совершить переворот в отечественном электронном машиностроении и производстве ЭКБ.
В заключение хотел бы отметить, что импортозамещение в производстве ЭКБ должно рассматриваться не как разработка аналогов конкретных электронных компонентов, а как комплексное создание технологического базиса, позволяющего проектировать и производить электронные компоненты с заданными техническими и эксплуатационными характеристиками. Решению этой задачи в значительной степени будет способствовать наличие базы отечественного технологического оборудования. Если же говорить о прорывных исследованиях и так называемых опережающих разработках, то, с учетом жесткой привязки новых технологий к возможностям оборудования, их проведение невозможно без обладания собственными компетенциями по созданию СТО, так как поставки наиболее новых его видов всегда будут так или иначе ограничиваться.
На мой взгляд, первоочередное развитие электронной промышленности имеет ключевое значение для решения проблемы перехода от "сырьевой" экономики к экономике "знаний", а также обеспечения комплексной безопасности государства. Создание в России современной инфраструктуры разработки и производства изделий микроэлектроники и достижение технологической независимости в этой области – одни из ключевых задач развития страны, на которой необходимо сконцентрировать ресурсы государства и бизнеса.
Спасибо за интересный рассказ.
Отзывы читателей
