eng
DOI:10.22184/1993-8578.2016.63.1.42.44
Французская компания IBS (Ion Beam Services) уже более 20 лет специализируется на процессах и оборудовании ионной имплантации для легирования полупроводниковых пластин и эпитаксиальных структур. Штаб-квартира основанного в 1987 году предприятия расположена в местечке Пейнье, недалеко от Марселя. В России работает официальный представитель IBS – компания Technoinfo Ltd. В 2003 году IBS начала производить ионные имплантеры серии IMC, а в 2007 году разработали систему плазменно-иммерсионной ионной имплантации PULSION. При этом IBS располагает собственным парком технологического оборудования и предлагает услуги ионной имплантации в рамках аутсорсинговой модели. Об оборудовании компании рассказал генеральный директор, д-р Жиль Матье.
Господин Матье, для каких сегментов рынка предназначены ионные имплантеры вашей компании?
Мы ориентируемся в первую очередь на нишевые рынки, например, исследования, разработки и производство полупроводниковых приборов на карбиде кремния. Основные заказчики – исследовательские центры, а также небольшие производственные компании, работающие с пластинами диаметром 100, 125 или 150 мм. Наши ионные имплантеры IMC200 оптимально подходят для решаемых такими организациями задач. В настоящее время предлагаются две модели этой серии: высокоавтоматизированная IMC-200P, предназначенная для мелко- и среднесерийного производства, а также IMC-200RD, которая характеризуется расширенными возможностями настройки технологических параметров, и оптимальна для исследований и опытно-конструкторских разработок. Для средних и крупных серий предназначена модель IHC-160P.
Системы плазменно-иммерсионной ионной имплантации PULSION, основанные на технологии поляризации с применением импульсного источника плазмы, характеризуются очень низкой энергией – до 20 эВ и обеспечивают исключительную стабильность процесса при возможности точного контроля глубины легирования. Эта линейка тоже включает две модели: высокопроизводительную PULSION HP для пластин диаметром 200 и 300 мм и PULSION Nano, ориентированную на разработку полупроводниковых наноустройств. Плазменно-иммерсионная ионная имплантация оптимальна для легирования поликремния, 3D-приложений, производства солнечных элементов, модификации материалов.
Как вы охарактеризовали бы основные особенности оборудования IBS?
Низкое потребление материалов, энергоэффективность, компактность, ориентация на работу с пластинами малых диаметров, относительно низкая цена.
Как изменяются требования к системам ионной имплантации?
Во-первых, производителям полупроводниковых приборов приходится работать с компонентами все меньшего размера. Промышленные технологии в электронике уже достигли топологической нормы 10 нм, что является вызовом в том числе для разработчиков ионных имплантеров. Во-вторых, растет число применяемых на практике полупроводниковых материалов. Германий, кварц, нитрид галлия, арсенид галлия, ниобат лития – список некремниевых материалов становится все шире. Мы учитываем обе эти тенденции. Так, для случаев, когда требуется максимальная точность, идеально подходят наши системы плазменно-иммерсионной ионной имплантации, а для работы с широким спектром разных подложек рекомендуются имплантеры серии IMC-200.
При каких объемах производства выгодно купить собственный имплантер вместо использования аутсорсинга?
На этот вопрос нет однозначного ответа, так как многое зависит от бизнес-модели, необходимости обеспечения сохранности коммерческой тайны и других факторов. Если исходить из срока амортизации, то в Европе и Северной Америке для оборудования такого класса он должен составлять около 5 лет. Следует принять во внимание не только инвестиции в оборудование, но и затраты на оплату персонала, материалы и электроэнергию, а также другие эксплуатационные издержки. Если предприятие обрабатывает в год более 10 тыс. пластин, то покупка имплантера оправдана. Вместе с тем, если речь идет об исследовательской организации с бюджетным финансированием, то важнее экономической целесообразности может быть сохранение в тайне новых разработок и ноу-хау.
Насколько востребовано оборудование IBS в России?
У нас есть клиенты в Новосибирске, Зеленограде, Москве, также ведутся переговоры с заказчиками из других городов. В России развиваются в основном нишевые производства полупроводниковых приборов, то есть именно тот сегмент, для которого оптимально подходит наше оборудование. К сожалению, работе очень мешают экономические санкции, так как некоторые типы ионных имплантеров включены в список устройств двойного назначения. Очень надеемся, что эта неконструктивная политика будет изменена и мы сможем с большей эффективностью сотрудничать с российскими партнерами.
Господин Матье, для каких сегментов рынка предназначены ионные имплантеры вашей компании?
Мы ориентируемся в первую очередь на нишевые рынки, например, исследования, разработки и производство полупроводниковых приборов на карбиде кремния. Основные заказчики – исследовательские центры, а также небольшие производственные компании, работающие с пластинами диаметром 100, 125 или 150 мм. Наши ионные имплантеры IMC200 оптимально подходят для решаемых такими организациями задач. В настоящее время предлагаются две модели этой серии: высокоавтоматизированная IMC-200P, предназначенная для мелко- и среднесерийного производства, а также IMC-200RD, которая характеризуется расширенными возможностями настройки технологических параметров, и оптимальна для исследований и опытно-конструкторских разработок. Для средних и крупных серий предназначена модель IHC-160P.
Системы плазменно-иммерсионной ионной имплантации PULSION, основанные на технологии поляризации с применением импульсного источника плазмы, характеризуются очень низкой энергией – до 20 эВ и обеспечивают исключительную стабильность процесса при возможности точного контроля глубины легирования. Эта линейка тоже включает две модели: высокопроизводительную PULSION HP для пластин диаметром 200 и 300 мм и PULSION Nano, ориентированную на разработку полупроводниковых наноустройств. Плазменно-иммерсионная ионная имплантация оптимальна для легирования поликремния, 3D-приложений, производства солнечных элементов, модификации материалов.
Как вы охарактеризовали бы основные особенности оборудования IBS?
Низкое потребление материалов, энергоэффективность, компактность, ориентация на работу с пластинами малых диаметров, относительно низкая цена.
Как изменяются требования к системам ионной имплантации?
Во-первых, производителям полупроводниковых приборов приходится работать с компонентами все меньшего размера. Промышленные технологии в электронике уже достигли топологической нормы 10 нм, что является вызовом в том числе для разработчиков ионных имплантеров. Во-вторых, растет число применяемых на практике полупроводниковых материалов. Германий, кварц, нитрид галлия, арсенид галлия, ниобат лития – список некремниевых материалов становится все шире. Мы учитываем обе эти тенденции. Так, для случаев, когда требуется максимальная точность, идеально подходят наши системы плазменно-иммерсионной ионной имплантации, а для работы с широким спектром разных подложек рекомендуются имплантеры серии IMC-200.
При каких объемах производства выгодно купить собственный имплантер вместо использования аутсорсинга?
На этот вопрос нет однозначного ответа, так как многое зависит от бизнес-модели, необходимости обеспечения сохранности коммерческой тайны и других факторов. Если исходить из срока амортизации, то в Европе и Северной Америке для оборудования такого класса он должен составлять около 5 лет. Следует принять во внимание не только инвестиции в оборудование, но и затраты на оплату персонала, материалы и электроэнергию, а также другие эксплуатационные издержки. Если предприятие обрабатывает в год более 10 тыс. пластин, то покупка имплантера оправдана. Вместе с тем, если речь идет об исследовательской организации с бюджетным финансированием, то важнее экономической целесообразности может быть сохранение в тайне новых разработок и ноу-хау.
Насколько востребовано оборудование IBS в России?
У нас есть клиенты в Новосибирске, Зеленограде, Москве, также ведутся переговоры с заказчиками из других городов. В России развиваются в основном нишевые производства полупроводниковых приборов, то есть именно тот сегмент, для которого оптимально подходит наше оборудование. К сожалению, работе очень мешают экономические санкции, так как некоторые типы ионных имплантеров включены в список устройств двойного назначения. Очень надеемся, что эта неконструктивная политика будет изменена и мы сможем с большей эффективностью сотрудничать с российскими партнерами.
Отзывы читателей
