eng
Competent opinion
Компетентное мнение
Sh.Hara
Minimalist systems with maximum capabilities Dr. Shiro Hara, Principal Research Scientist at Nanoelectronics Research Institute of National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Representative of Fab System Research Consortium
Minimalist systems with maximum capabilities Dr. Shiro Hara, Principal Research Scientist at Nanoelectronics Research Institute of National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Representative of Fab System Research Consortium
Ш.Хара
Минималистические системы с максимальными возможностями Д-р Широ Хара, главный научный сотрудник Института наноэлектроники Национального института передовых промышленных наук и технологий AIST (Япония), представитель Консорциума по исследованию системы Minimal Fab
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.6.12
Минималистические системы с максимальными возможностями Д-р Широ Хара, главный научный сотрудник Института наноэлектроники Национального института передовых промышленных наук и технологий AIST (Япония), представитель Консорциума по исследованию системы Minimal Fab
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.6.12
D.Kovalevich
Development of serial entrepreneurship in nanotechnology industry Despite repeated declarations by state officials about support and the need for the development of high technology, the real innovation activity in the Russian market is low. The introduction of new technologies of the generation of innovative companies startups – may allow if not to reverse, then at least to change things for the better. In this regard, such concepts as "startup factory", "startup studio", "serial entrepreneurship," "innovation conveyor" are introduced into use. One of the main ideologists of the transition to new models of work is Denis Kovalevich, CEO and one of the shareholders of TECHNOSPARK Nanotechnology Center from Troitsk, which is a member of the network of nanotechnology centers of the Rusnano Fund for Infrastructure and Educational Programs.
Development of serial entrepreneurship in nanotechnology industry Despite repeated declarations by state officials about support and the need for the development of high technology, the real innovation activity in the Russian market is low. The introduction of new technologies of the generation of innovative companies startups – may allow if not to reverse, then at least to change things for the better. In this regard, such concepts as "startup factory", "startup studio", "serial entrepreneurship," "innovation conveyor" are introduced into use. One of the main ideologists of the transition to new models of work is Denis Kovalevich, CEO and one of the shareholders of TECHNOSPARK Nanotechnology Center from Troitsk, which is a member of the network of nanotechnology centers of the Rusnano Fund for Infrastructure and Educational Programs.
Д.Ковалевич
Развитие серийного предпринимательства в наноиндустрии Несмотря на многократные декларации чиновников разного ранга о поддержке и необходимости развития высоких технологий, реальная инновационная активность на российском рынке низка. Если не переломить, то хотя бы изменить ситуацию к лучшему может позволить внедрение новых технологий генерации инновационных компаний – стартапов. В связи с этим в обиход вводятся такие понятия, как "фабрика стартапов", "стартап-студия", "серийное предпринимательство", "конвейер инноваций". Одним из главных идеологов перехода к новым моделям работы является Денис Ковалевич, генеральный директор и один из акционеров нанотехнологического центра "Техноспарк" (Троицк), входящего в сеть наноцентров ФИОП.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.14.21
Развитие серийного предпринимательства в наноиндустрии Несмотря на многократные декларации чиновников разного ранга о поддержке и необходимости развития высоких технологий, реальная инновационная активность на российском рынке низка. Если не переломить, то хотя бы изменить ситуацию к лучшему может позволить внедрение новых технологий генерации инновационных компаний – стартапов. В связи с этим в обиход вводятся такие понятия, как "фабрика стартапов", "стартап-студия", "серийное предпринимательство", "конвейер инноваций". Одним из главных идеологов перехода к новым моделям работы является Денис Ковалевич, генеральный директор и один из акционеров нанотехнологического центра "Техноспарк" (Троицк), входящего в сеть наноцентров ФИОП.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.14.21
K.H.Priewasser
From mechanical processing of wafers to laser and plasma systems Japanese DISCO Corporation is the undisputed leader in solutions for grinding, polishing and cutting of the wafers. The fact that it holds the record for the number of received SCQI (Supplier Continuous Quality Improvement) and PQS (Preferred Quality Supplier) Awards from Intel Corporation eloquently testifies to the level of the equipment and service of the company. The headquarters of the DISCO is located in Tokyo. About 4 thousand employees work for the company and subsidiaries. DISCO’s capitalization exceeding 20 billion JPY. Karl Heinz Priewasser, CEO of the European division of DISCO, told us about the advanced developments of the company.
From mechanical processing of wafers to laser and plasma systems Japanese DISCO Corporation is the undisputed leader in solutions for grinding, polishing and cutting of the wafers. The fact that it holds the record for the number of received SCQI (Supplier Continuous Quality Improvement) and PQS (Preferred Quality Supplier) Awards from Intel Corporation eloquently testifies to the level of the equipment and service of the company. The headquarters of the DISCO is located in Tokyo. About 4 thousand employees work for the company and subsidiaries. DISCO’s capitalization exceeding 20 billion JPY. Karl Heinz Priewasser, CEO of the European division of DISCO, told us about the advanced developments of the company.
К.Х.Привассер
От механической обработки пластин к лазерным и плазменным системам Японская корпорация DISCO – безусловный лидер в области решений для утонения, полировки и разделения пластин. Об уровне оборудования и сервиса компании красноречиво свидетельствует тот факт, что она является рекордсменом по числу полученных званий лучшего поставщика корпорации Intel. Штаб-квартира DISCO расположена в Токио. В компании и дочерних структурах работают около 4 тыс. человек. Капитализация DISCO составляет более 20 млрд японских йен. О передовых разработках компании рассказал Карл Хайнц Привассер, генеральный директор европейского подразделения DISCO.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.22.25
От механической обработки пластин к лазерным и плазменным системам Японская корпорация DISCO – безусловный лидер в области решений для утонения, полировки и разделения пластин. Об уровне оборудования и сервиса компании красноречиво свидетельствует тот факт, что она является рекордсменом по числу полученных званий лучшего поставщика корпорации Intel. Штаб-квартира DISCO расположена в Токио. В компании и дочерних структурах работают около 4 тыс. человек. Капитализация DISCO составляет более 20 млрд японских йен. О передовых разработках компании рассказал Карл Хайнц Привассер, генеральный директор европейского подразделения DISCO.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.22.25
Nanotechnology
Нанотехнологии
B.Pavlov
NTSR: Agronanoindustry consortium for innovation project management in agribusiness Under the auspices of the Nanotechnological Society of Russia the Agronanoindustry consortium, which provides complex support of innovative projects in the field of agribusiness at all stages of their life cycle, is created.
NTSR: Agronanoindustry consortium for innovation project management in agribusiness Under the auspices of the Nanotechnological Society of Russia the Agronanoindustry consortium, which provides complex support of innovative projects in the field of agribusiness at all stages of their life cycle, is created.
Б.Павлов
НОР: консорциум "АгроНаноИндустрия" – проектное управление инновациями в агробизнесе Под эгидой Нанотехнологического общества России создан консорциум "АгроНаноИндустрия", который осуществляет комплексное сопровождение инновационных проектов в сфере агробизнеса на всех этапах их жизненного цикла.
УДК 631
ВАК 06.00.00
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.68.73
НОР: консорциум "АгроНаноИндустрия" – проектное управление инновациями в агробизнесе Под эгидой Нанотехнологического общества России создан консорциум "АгроНаноИндустрия", который осуществляет комплексное сопровождение инновационных проектов в сфере агробизнеса на всех этапах их жизненного цикла.
УДК 631
ВАК 06.00.00
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.68.73
Теги: agricultural nanotechnologies humic organic preparation humic-protein organic concentrate агронанотехнологии гуминовый препарат гуминопротеиновый органический концентрат
S.Konakov
Localized microreactor deposition of thin films and nanostructures as new approach to investigation of chemical vapor deposition The paper analyzes the current state of the chemical vapor deposition (CVD). The basic problem of the technology is described and the fundamental reason for its existence is analyzed. The paper demonstrates a constant deficit of the experimental data on the results of CVD, as well as inadequate approaches to experimental research. All of this leads to the poor solution of the optimization problem of thin film deposition with desired physical and chemical parameters. We are firstly proposing to use a microreactor CVD. The definition of microreactor CVD is formulated in this paper, and the basic properties of the technology are described.
Localized microreactor deposition of thin films and nanostructures as new approach to investigation of chemical vapor deposition The paper analyzes the current state of the chemical vapor deposition (CVD). The basic problem of the technology is described and the fundamental reason for its existence is analyzed. The paper demonstrates a constant deficit of the experimental data on the results of CVD, as well as inadequate approaches to experimental research. All of this leads to the poor solution of the optimization problem of thin film deposition with desired physical and chemical parameters. We are firstly proposing to use a microreactor CVD. The definition of microreactor CVD is formulated in this paper, and the basic properties of the technology are described.
С.Конаков
Технология микрореакторного осаждения тонких пленок и наноструктур – новый подход к исследованию процесса химического осаждения из газовой фазы В статье анализируется современное состояние развития метода химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ). Определена основная проблема технологии и анализируются ее фундаментальные причины. Показаны дефицит экспериментальной информации о результатах ХОГФ, а также несовершенство подходов к организации опытных исследований, что ведет к сложности оптимизации технологии получения тонких пленок с заданными физико-химическими параметрами. Для решения этой проблемы впервые предлагается использовать технологию микрореакторного ХОГФ. Сформулировано определение этого метода, описаны его основные свойства.
УДК 621.793
ВАК 05.27.06
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.76.82
Технология микрореакторного осаждения тонких пленок и наноструктур – новый подход к исследованию процесса химического осаждения из газовой фазы В статье анализируется современное состояние развития метода химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ). Определена основная проблема технологии и анализируются ее фундаментальные причины. Показаны дефицит экспериментальной информации о результатах ХОГФ, а также несовершенство подходов к организации опытных исследований, что ведет к сложности оптимизации технологии получения тонких пленок с заданными физико-химическими параметрами. Для решения этой проблемы впервые предлагается использовать технологию микрореакторного ХОГФ. Сформулировано определение этого метода, описаны его основные свойства.
УДК 621.793
ВАК 05.27.06
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.76.82
Теги: chemical vapor deposition microreactor thin films xимическое осаждение из газовой фазы μr cvd микрореактор мр хогф тонкие пленки
N.Gerasimenko, A.Volokhovsky, O.Zaporozhan
Accounting of features of changing of material properties in technology of silicon nanostructures The features of change of physical properties of the structure elements when reducing their size to nanoscale and the prospects for using these effects in microelectronics technology are discussed.
Accounting of features of changing of material properties in technology of silicon nanostructures The features of change of physical properties of the structure elements when reducing their size to nanoscale and the prospects for using these effects in microelectronics technology are discussed.
Н.Герасименко, А.Волоховский, О.Запорожан
Учет особенностей изменения свойств материала в технологии кремниевых наноструктур Рассматриваются особенности изменения физических свойств элементов структуры при их уменьшении до наноразмеров и перспективы использования этих эффектов в технологиях микроэлектроники.
УДК 54-1
ВАК 05.27.01
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.84.103
Учет особенностей изменения свойств материала в технологии кремниевых наноструктур Рассматриваются особенности изменения физических свойств элементов структуры при их уменьшении до наноразмеров и перспективы использования этих эффектов в технологиях микроэлектроники.
УДК 54-1
ВАК 05.27.01
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.84.103
Теги: nanosize effect nanostructure nanotechnology наноразмерный эффект наноструктура нанотехнология
Test & Measurement
Контроль и измерения
A.Useinov, I.Maslenikov, A.Rusakov, E.Gladkikh, B.Loginov, V.Loginov, A.Yelkin
Profile measurements of complex-shaped parts using scanning nanohardness tester The component parts of the mechanisms having curved surfaces require strict shape control. To implement this operation, devices based on contact (probe) or non-contact (optical) methods can be used. In this paper, profiles of molds used in HPHT diamond growth were measured using the contact profilometry method implemented in NanoScan-4D scanning nanohardness tester.
Profile measurements of complex-shaped parts using scanning nanohardness tester The component parts of the mechanisms having curved surfaces require strict shape control. To implement this operation, devices based on contact (probe) or non-contact (optical) methods can be used. In this paper, profiles of molds used in HPHT diamond growth were measured using the contact profilometry method implemented in NanoScan-4D scanning nanohardness tester.
А.Усеинов, И.Маслеников, А.Русаков, Е.Гладких, Б.Логинов, В.Логинов, А.Елкин
Измерение профилей деталей сложной формы с помощью сканирующего нанотвердомера Составные части механизмов, имеющие криволинейные поверхности, требуют строгого контроля формы. Для решения таких задач применяются приборы, основанные на контактных или бесконтактных методах. В данной работе методом контактной профилометрии при помощи сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-4D" были измерены профили пресс-форм, применяемых при синтезе монокристаллов алмаза в процессе HPHT-роста.
УДК 681.2.083
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.38.44
Измерение профилей деталей сложной формы с помощью сканирующего нанотвердомера Составные части механизмов, имеющие криволинейные поверхности, требуют строгого контроля формы. Для решения таких задач применяются приборы, основанные на контактных или бесконтактных методах. В данной работе методом контактной профилометрии при помощи сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-4D" были измерены профили пресс-форм, применяемых при синтезе монокристаллов алмаза в процессе HPHT-роста.
УДК 681.2.083
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.38.44
Теги: contour measuring machine mold nanohardness tester profiling контурограф нанотвердомер пресс-форма профилирование
I.Yaminsky, G.Meshkov, A.Akhmetova
Methods of nanoscopy in study of carbon materials and biopolymers With the aim of establishing the relationship between the local structure of surface of carbon and polymer materials and of their electrophysical properties, it has been developed a device for combined atomic force microscopy and scanning capillary microscopy that allows to study the morphology and properties of 2D nanoscale structures and also to conduct their controlled deposition.
Methods of nanoscopy in study of carbon materials and biopolymers With the aim of establishing the relationship between the local structure of surface of carbon and polymer materials and of their electrophysical properties, it has been developed a device for combined atomic force microscopy and scanning capillary microscopy that allows to study the morphology and properties of 2D nanoscale structures and also to conduct their controlled deposition.
И.Яминский, Г.Мешков, А.Ахметова
Методы наноскопии в исследовании углеродных материалов и биополимеров С целью установления взаимосвязи между локальной структурой поверхности углеродных и полимерных материалов и их электрофизическими свойствами разработана установка для совмещенной атомно-силовой и сканирующей капиллярной микроскопии, позволяющая изучать морфологию и свойства 2D наноразмерных структур, а также проводить их контролируемое нанесение.
УДК 621.385.833
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.46.51
Методы наноскопии в исследовании углеродных материалов и биополимеров С целью установления взаимосвязи между локальной структурой поверхности углеродных и полимерных материалов и их электрофизическими свойствами разработана установка для совмещенной атомно-силовой и сканирующей капиллярной микроскопии, позволяющая изучать морфологию и свойства 2D наноразмерных структур, а также проводить их контролируемое нанесение.
УДК 621.385.833
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.46.51
Теги: scanning capillary microscopy scanning probe microscopy surface nanostructure наноструктура поверхности сканирующая зондовая микроскопия сканирующая капиллярная микроскопия
M.Chupov
Analysis of defects in carbon-carbon composite materials using digital microscope The use of carbon composite materials with unique thermal, mechanical and erosional properties offers great opportunities for the development of rocketry, aviation, space technology, engineering, metallurgy and shipbuilding. This paper considers methodology of control of surface defects in Argolon – 4DL carbon composite material by use of hardware and software system based on digital microscope.
Analysis of defects in carbon-carbon composite materials using digital microscope The use of carbon composite materials with unique thermal, mechanical and erosional properties offers great opportunities for the development of rocketry, aviation, space technology, engineering, metallurgy and shipbuilding. This paper considers methodology of control of surface defects in Argolon – 4DL carbon composite material by use of hardware and software system based on digital microscope.
М.Чупов
Анализ дефектов углерод-углеродного композицион¬ного материала с помощью цифровой микроскопии Использование углерод-углеродных композиционных материалов, обладающих уникальными термическими, механическими и эрозионными свойствами, открывает широкие возможности для развития различных отраслей промышленности. В статье рассматривается методика контроля дефектов поверхности УУКМ "Арголон – 4DL"
УДК 67.02
ВАК 05.11.07
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.52.63
Анализ дефектов углерод-углеродного композицион¬ного материала с помощью цифровой микроскопии Использование углерод-углеродных композиционных материалов, обладающих уникальными термическими, механическими и эрозионными свойствами, открывает широкие возможности для развития различных отраслей промышленности. В статье рассматривается методика контроля дефектов поверхности УУКМ "Арголон – 4DL"
УДК 67.02
ВАК 05.11.07
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.52.63
Теги: carbon-carbon composite material digital microscopy углерод-углеродные композиционные материалы цифровая микроскопия
I.Yaminsky, A.Akhmetova, M.Smirnova
Scanning probe microscopy of local chemical reactions in deposited thin films Implementation of the scanning capillary microscopy mode in the scanning probe microscopes opens new features in the control of local chemical reactions.
Scanning probe microscopy of local chemical reactions in deposited thin films Implementation of the scanning capillary microscopy mode in the scanning probe microscopes opens new features in the control of local chemical reactions.
И.Яминский, А.Ахметова, М.Смирнова
Сканирующая зондовая микроскопия локальных химических реакций в осажденных тонких пленках Интеграция режима сканирующей капиллярной микроскопии в сканирующие зондовые микроскопы открывает новые возможности в области управления локальными химическими реакциями.
УДК 621.385.833
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.64.67
Сканирующая зондовая микроскопия локальных химических реакций в осажденных тонких пленках Интеграция режима сканирующей капиллярной микроскопии в сканирующие зондовые микроскопы открывает новые возможности в области управления локальными химическими реакциями.
УДК 621.385.833
ВАК 05.11.13
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.64.67
Теги: scanning capillary microscopy scanning probe microscopy сканирующая зондовая микроскопия сканирующая капиллярная микроскопия
Conferences, Exhibitions, Seminars
Конференции, выставки, семинары
D.Georgiev
VIII conference of NTSR: all aspects of development and application of nanotechnology VIII annual conference of Nanotechnological society of Russia (NTSR) was held on 30–31 March in the Civic Chamber of the Russian Federation and Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia. A wide range of problems in materials science, biotechnology, development of microelectronics and instrumentation was considered.
VIII conference of NTSR: all aspects of development and application of nanotechnology VIII annual conference of Nanotechnological society of Russia (NTSR) was held on 30–31 March in the Civic Chamber of the Russian Federation and Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia. A wide range of problems in materials science, biotechnology, development of microelectronics and instrumentation was considered.
Д.Георгиев
VIII конференция НОР: все аспекты развития и применения нанотехнологий VIII ежегодная конференция Нанотехнологического общества России (НОР) состоялась 30–31 марта в Общественной палате РФ и РХТУ им. Д.И.Менделеева. На конференции был освещен широчайший круг проблем в области материаловедения, биотехнологий, развития микроэлектроники и приборостроения.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.26.29
VIII конференция НОР: все аспекты развития и применения нанотехнологий VIII ежегодная конференция Нанотехнологического общества России (НОР) состоялась 30–31 марта в Общественной палате РФ и РХТУ им. Д.И.Менделеева. На конференции был освещен широчайший круг проблем в области материаловедения, биотехнологий, развития микроэлектроники и приборостроения.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.26.29
S.Nesterov
Ten of best innovative products of VacuumTechExpo 2017 As it was previously reported, in the framework of the XII International exhibition of vacuum equipment VacuumTechExpo 2017, which took place from 11 to 13 April in Moscow, a competition "The best innovative product in the field of high technologies" was held. The winners of the competition are 10 innovative products that reflect modern trends in the global and domestic vacuum equipment and technology.
Ten of best innovative products of VacuumTechExpo 2017 As it was previously reported, in the framework of the XII International exhibition of vacuum equipment VacuumTechExpo 2017, which took place from 11 to 13 April in Moscow, a competition "The best innovative product in the field of high technologies" was held. The winners of the competition are 10 innovative products that reflect modern trends in the global and domestic vacuum equipment and technology.
С.Нестеров
Десять лучших инновационных продуктов выставки VacuumTechExpo 2017 Как уже сообщалось, в рамках XII международной выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2017, которая состоялась с 11 по 13 апреля в Москве, проводился конкурс "За лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий". Победителями конкурса стали 10 инновационных продуктов, которые отражают современный уровень и тенденции развития мировой и отечественной вакуумной техники и технологии.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.30.34
Десять лучших инновационных продуктов выставки VacuumTechExpo 2017 Как уже сообщалось, в рамках XII международной выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2017, которая состоялась с 11 по 13 апреля в Москве, проводился конкурс "За лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий". Победителями конкурса стали 10 инновационных продуктов, которые отражают современный уровень и тенденции развития мировой и отечественной вакуумной техники и технологии.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.30.34