eng
Competent opinion
Компетентное мнение
V.Lukichev
Institute of Physics and Technology: three decades of research and development in field of micro- and nanoelectronics This year marks the 30th anniversary of the Institute of Physics and Technology of the Russian Academy of Sciences, the leading scientific organization in the field of research on the fundamental problems of the creation of electronic components for micro- and nanoelectronics.
Institute of Physics and Technology: three decades of research and development in field of micro- and nanoelectronics This year marks the 30th anniversary of the Institute of Physics and Technology of the Russian Academy of Sciences, the leading scientific organization in the field of research on the fundamental problems of the creation of electronic components for micro- and nanoelectronics.
В.Лукичёв
ФТИАН: три десятилетия исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники В текущем году исполняется 30 лет Физико-технологическому институту Российской академии наук (ФТИАН РАН) – ведущей научной организации в области исследований фундаментальных проблем электронной компонентной базы микро- и наноэлектроники.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.08.19
ФТИАН: три десятилетия исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники В текущем году исполняется 30 лет Физико-технологическому институту Российской академии наук (ФТИАН РАН) – ведущей научной организации в области исследований фундаментальных проблем электронной компонентной базы микро- и наноэлектроники.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.08.19
S.Preuss
Maskless lithography at new level of productivity Maskless laser lithography makes it possible to simplify the production of semiconductor devices due to the exclusion from the workflow of operations related to the manufacture, use and storage of photomasks.
Maskless lithography at new level of productivity Maskless laser lithography makes it possible to simplify the production of semiconductor devices due to the exclusion from the workflow of operations related to the manufacture, use and storage of photomasks.
С.Пройс
Безмасковая литография на новом уровне производительности Безмасковая лазерная литография позволяет упростить производство полупроводниковых приборов благодаря исключению из технологического процесса операций, связанных с изготовлением, использованием и хранением фотошаблонов.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.20.22
Безмасковая литография на новом уровне производительности Безмасковая лазерная литография позволяет упростить производство полупроводниковых приборов благодаря исключению из технологического процесса операций, связанных с изготовлением, использованием и хранением фотошаблонов.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.20.22
G.Falk
Flexible solutions for optical quality control MueTec from Munich (Germany) has been developing and supplying high-precision optical measuring systems for the semiconductor industry for more than 25 years. More than 300 MueTec production systems are operated at manufacturing plants and scientific centers around the world, including about a dozen – in Russia.
Flexible solutions for optical quality control MueTec from Munich (Germany) has been developing and supplying high-precision optical measuring systems for the semiconductor industry for more than 25 years. More than 300 MueTec production systems are operated at manufacturing plants and scientific centers around the world, including about a dozen – in Russia.
Г.Фалк
Гибкие решения для оптического контроля качества Компания MueTec из Мюнхена (Германия) уже более 25 лет разрабатывает и поставляет высокоточные оптические измерительные системы для полупроводниковой промышленности. Свыше 300 систем производства MueTec эксплуатируются на производственных предприятиях и в научных центрах по всему миру, в том числе около десятка – в России.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.24.26
Гибкие решения для оптического контроля качества Компания MueTec из Мюнхена (Германия) уже более 25 лет разрабатывает и поставляет высокоточные оптические измерительные системы для полупроводниковой промышленности. Свыше 300 систем производства MueTec эксплуатируются на производственных предприятиях и в научных центрах по всему миру, в том числе около десятка – в России.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.24.26
B.Pavlov
NTSR and Transfer of World Technologies management company – implementation of priority, strategic, innovative projects for Russian economy In order to ensure effective interaction of the consortium participants, implemented
under the auspices of the Nanotechnological Society of Russia (NTSR), the Transfer
of World Technologies (TWT) management company was created, which manages
the innovative projects using the System of Management Full Lifecycle Innovational Project (SMFLIP).
NTSR and Transfer of World Technologies management company – implementation of priority, strategic, innovative projects for Russian economy In order to ensure effective interaction of the consortium participants, implemented
under the auspices of the Nanotechnological Society of Russia (NTSR), the Transfer
of World Technologies (TWT) management company was created, which manages
the innovative projects using the System of Management Full Lifecycle Innovational Project (SMFLIP).
Б.Павлов
НОР и управляющая компания "Transfer of World Technologies" – реализация приоритетных, стратегических, инновационных проектов для российской экономики В целях обеспечения эффективного взаимодействия участников консорциумов, реализуемых под эгидой Нанотехнологического общества России (НОР), создана управляющая компания "Трансферт мировых технологий" – Transfer of World Technologies (TWT) management company, – которая осуществляет управление полным жизненным циклом инновационных проектов (System of Management Full Lifecycle Innovational Project, SMFLIP).
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.28.39
НОР и управляющая компания "Transfer of World Technologies" – реализация приоритетных, стратегических, инновационных проектов для российской экономики В целях обеспечения эффективного взаимодействия участников консорциумов, реализуемых под эгидой Нанотехнологического общества России (НОР), создана управляющая компания "Трансферт мировых технологий" – Transfer of World Technologies (TWT) management company, – которая осуществляет управление полным жизненным циклом инновационных проектов (System of Management Full Lifecycle Innovational Project, SMFLIP).
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.28.39
Nanotechnology
Нанотехнологии
S.Odinokov, G.Sagatelyan, K.Bugorkov, E.Drozdova
Regularities and features of two-sided plasma-chemical etching of optical glass parts The simultaneous formation of the functional reliefs on both of the two working surfaces of optical plane-parallel wafers is considered in relation to manufacturing of diffractive and holographic optical elements. The technological possibilities of plasma-chemical etching of glass are investigated for the case of placement the workpiece in the plasma volume and using the diode type device with an outboard planar inductor. It is shown that the quality-limiting factor is the withdrawal of products of chemical reactions from the treated surface.
Regularities and features of two-sided plasma-chemical etching of optical glass parts The simultaneous formation of the functional reliefs on both of the two working surfaces of optical plane-parallel wafers is considered in relation to manufacturing of diffractive and holographic optical elements. The technological possibilities of plasma-chemical etching of glass are investigated for the case of placement the workpiece in the plasma volume and using the diode type device with an outboard planar inductor. It is shown that the quality-limiting factor is the withdrawal of products of chemical reactions from the treated surface.
С.Одиноков, Г.Сагателян, К.Бугорков, Е.Дроздова
Закономерности и особенности двухстороннего плазмохимического травления деталей из оптического стекла Рассмотрено одновременное формирование функционального рельефа на обеих рабочих поверхностях оптических плоскопараллельных пластин при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов. Исследованы технологические возможности плазмохимического травления стекла с размещением заготовки в объеме плазмы и применением установки диодного типа с вынесенным планарным индуктором. Показано, что ограничивающим качество травления фактором является отвод продуктов химических реакций от обрабатываемой поверхности.
УДК 533.924, 621.7-4, 621.9, 67.02, 681.7.026.5; ВАК 05.16.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.50.62
Закономерности и особенности двухстороннего плазмохимического травления деталей из оптического стекла Рассмотрено одновременное формирование функционального рельефа на обеих рабочих поверхностях оптических плоскопараллельных пластин при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов. Исследованы технологические возможности плазмохимического травления стекла с размещением заготовки в объеме плазмы и применением установки диодного типа с вынесенным планарным индуктором. Показано, что ограничивающим качество травления фактором является отвод продуктов химических реакций от обрабатываемой поверхности.
УДК 533.924, 621.7-4, 621.9, 67.02, 681.7.026.5; ВАК 05.16.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.50.62
Теги: functional relief inductively coupled plasma optical glass plasma-chemical etching the performance of the etching индуктивно связанная плазма оптическое стекло плазмохимическое травление производительность травления функциональный рельеф
M.Tarasov, I.Chicherin, I.Pogorelsky
Selective effect of nanostructured preparations on pathogenic bacteria Complex multidisciplinary research on the interaction of nanostructured preparations with intestinal microbiota and intestinal infections was recognized by the International academy of authors of scientific discoveries and inventions by scientific discovery with priority on the date of filing the application No.A-652 of December 27, 2016.
Selective effect of nanostructured preparations on pathogenic bacteria Complex multidisciplinary research on the interaction of nanostructured preparations with intestinal microbiota and intestinal infections was recognized by the International academy of authors of scientific discoveries and inventions by scientific discovery with priority on the date of filing the application No.A-652 of December 27, 2016.
М.Тарасов, И.Чичерин, И.Погорельский
Селективное воздействие наноструктурных препаратов на патогенные бактерии Комплексные разноплановые исследования по изучению взаимодействия наноструктурных препаратов с представителями кишечной микробиоты и возбудителями кишечных инфекций признаны Международной академией авторов научных открытий и изобретений открытием с приоритетом по дате подачи заявки от 27.12.2016 г. № А-652.
УДК 615.24; ВАК 14.04.02; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.64.66
Селективное воздействие наноструктурных препаратов на патогенные бактерии Комплексные разноплановые исследования по изучению взаимодействия наноструктурных препаратов с представителями кишечной микробиоты и возбудителями кишечных инфекций признаны Международной академией авторов научных открытий и изобретений открытием с приоритетом по дате подачи заявки от 27.12.2016 г. № А-652.
УДК 615.24; ВАК 14.04.02; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.64.66
Теги: intestinal infections intestinal microbiota nano-therapy кишечная микробиота кишечные инфекции нанотерапия
Nanomaterials
Наноматериалы
A.Terekhov
Dynamics and structure of patenting carbon nanostructures Patent analysis of the carbon direction of nanotechnology has been performed. The publication and patent activity in this direction as well as the thematic structure of publications and patented inventions were compared. The features of the thematic structure of Russian inventions and also possible directions and difficulties of their commercialization are considered. The initial information was obtained from the databases of Rospatent, US PTO, WIPO PATENTSCope, and Science Citation
Index Expanded.
Dynamics and structure of patenting carbon nanostructures Patent analysis of the carbon direction of nanotechnology has been performed. The publication and patent activity in this direction as well as the thematic structure of publications and patented inventions were compared. The features of the thematic structure of Russian inventions and also possible directions and difficulties of their commercialization are considered. The initial information was obtained from the databases of Rospatent, US PTO, WIPO PATENTSCope, and Science Citation
Index Expanded.
А.Терехов
Динамика и структура патентования углеродных наноструктур Выполнен патентный анализ углеродного направления нанотехнологий. Сопоставлены публикационная и патентная активность в данной области, а также тематическая структура публикаций и патентуемых изобретений. Рассмотрены особенности тематической структуры российских изобретений, возможные направления и трудности их коммерциализации. Исходная информация получена из баз данных Роспатента, USPTO, WIPO PATENTSCope, а также Science Citation Index Expanded.
УДК 661.66; ВАК 05.16.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.74.83
Динамика и структура патентования углеродных наноструктур Выполнен патентный анализ углеродного направления нанотехнологий. Сопоставлены публикационная и патентная активность в данной области, а также тематическая структура публикаций и патентуемых изобретений. Рассмотрены особенности тематической структуры российских изобретений, возможные направления и трудности их коммерциализации. Исходная информация получена из баз данных Роспатента, USPTO, WIPO PATENTSCope, а также Science Citation Index Expanded.
УДК 661.66; ВАК 05.16.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.74.83
Теги: carbon nanostructures commercialization patents publications коммерциализация патенты публикации углеродные наноструктуры
Test & Measurement
Контроль и измерения
I.Yaminsky, A.Ahmetova, G.Meshkov, F.Salehi
Combined capillary and probe microscopy The results of the first year of cooperation of scientists of the Lomonosov Moscow State University and Sharif University of Technology (Tehran, Iran) are presented. The purpose of the project "Initiation of local chemical reactions in deposited thin films using scanning probe microscopy" is to determine the effect of the environment on the nature of the surface local reactions.
Combined capillary and probe microscopy The results of the first year of cooperation of scientists of the Lomonosov Moscow State University and Sharif University of Technology (Tehran, Iran) are presented. The purpose of the project "Initiation of local chemical reactions in deposited thin films using scanning probe microscopy" is to determine the effect of the environment on the nature of the surface local reactions.
И.Яминский, А.Ахметова, Г.Мешков, Ф.Салехи
Совмещенная капиллярная и зондовая микроскопия Приведены результаты первого года сотрудничества ученых МГУ им. М.В.Ломоносова и Шарифского технологического университета (Тегеран, Иран). Цель проекта "Инициация локальных химических реакций в осажденных тонких пленках с использованием сканирующей зондовой микроскопии" – определить влияние окружающей среды на характер протекания поверхностных локальных реакций.
УДК 621.385.833; ВАК 05.11.13; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.44.48
Совмещенная капиллярная и зондовая микроскопия Приведены результаты первого года сотрудничества ученых МГУ им. М.В.Ломоносова и Шарифского технологического университета (Тегеран, Иран). Цель проекта "Инициация локальных химических реакций в осажденных тонких пленках с использованием сканирующей зондовой микроскопии" – определить влияние окружающей среды на характер протекания поверхностных локальных реакций.
УДК 621.385.833; ВАК 05.11.13; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.44.48
Теги: capillary probe electrochemical oxidation nanolithography scanning tunneling microscope капиллярный зонд нанолитография сканирующий туннельный микроскоп электрохимическое окисление
Conferences, Exhibitions, Seminars
Конференции, выставки, семинары
L.Ratkin
Future of quantum computing: from monoatomic solid elements to steganographic systems In the fall of 2017, an international conference Russian Supercomputing Days was held in Moscow, within the framework of which a seminar on quantum computing was held.
Future of quantum computing: from monoatomic solid elements to steganographic systems In the fall of 2017, an international conference Russian Supercomputing Days was held in Moscow, within the framework of which a seminar on quantum computing was held.
Л.Раткин
Будущее квантовых вычислений: от одноатомных твердотельных элементов до стеганографических систем Осенью 2017 года в Москве прошла международная конференция Russian Supercomputing Days, в рамках которой был проведен семинар по квантовым вычислениям.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.40.43
Будущее квантовых вычислений: от одноатомных твердотельных элементов до стеганографических систем Осенью 2017 года в Москве прошла международная конференция Russian Supercomputing Days, в рамках которой был проведен семинар по квантовым вычислениям.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.40.43
История успеха
I.Yaminsky
Ideas and innovations, factories and plants To apply what has been learned in practice, is there anything more exciting? Creative activity brings joy. Innovative activity, as a result of which a real useful product is obtained, brings joy doubly. The happy way of an idea is a movement from birth through factories and plants to a finished product. Advanced Technologies Center is being built as a place to put new ideas into practice – from design to technology, prototype and finished product.
Ideas and innovations, factories and plants To apply what has been learned in practice, is there anything more exciting? Creative activity brings joy. Innovative activity, as a result of which a real useful product is obtained, brings joy doubly. The happy way of an idea is a movement from birth through factories and plants to a finished product. Advanced Technologies Center is being built as a place to put new ideas into practice – from design to technology, prototype and finished product.
И.Яминский
Идеи и инновации, фабрики и заводы Применять на практике изученное, разве есть что-нибудь более увлекательное? Творческая деятельность приносит радость. Инновационная деятельность, в результате которой получается реальный полезный продукт, приносит радость вдвойне. Счастливый путь идеи – это движение от рождения через фабрики и заводы к готовому изделию. "Центр перспективных технологий" строится как место для воплощения на практике новых идей – от замысла к технологии, прототипу и готовому изделию.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.84.86
Идеи и инновации, фабрики и заводы Применять на практике изученное, разве есть что-нибудь более увлекательное? Творческая деятельность приносит радость. Инновационная деятельность, в результате которой получается реальный полезный продукт, приносит радость вдвойне. Счастливый путь идеи – это движение от рождения через фабрики и заводы к готовому изделию. "Центр перспективных технологий" строится как место для воплощения на практике новых идей – от замысла к технологии, прототипу и готовому изделию.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.84.86
Nanomaterials
Наноматериалы
B.Taussarova, Ye.Takey
Sol-gel technology for providing flame-retardant properties of cellulose textile materials The article considers the use of sodium silicate and phosphorus-containing flame retardants to impart flame retardant properties to cellulose textile materials. The effect of the concentration of the initial components, the temperature and the time of heat treatment on the flame retardant properties was studied.
Sol-gel technology for providing flame-retardant properties of cellulose textile materials The article considers the use of sodium silicate and phosphorus-containing flame retardants to impart flame retardant properties to cellulose textile materials. The effect of the concentration of the initial components, the temperature and the time of heat treatment on the flame retardant properties was studied.
Б.Таусарова, Е.Такей
Золь-гель технология придания огнезащитных свойств целлюлозным текстильным материалам Рассмотрено применение силиката натрия и фосфорсодержащих антипиренов для придания огнезащитных свойств целлюлозным текстильным материалам. Исследовано влияние концентрации исходных компонентов, температуры и времени термообработки на огнезащитные свойства.
УДК 677.027.625; ВАК 05.16.09; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.68.73
Золь-гель технология придания огнезащитных свойств целлюлозным текстильным материалам Рассмотрено применение силиката натрия и фосфорсодержащих антипиренов для придания огнезащитных свойств целлюлозным текстильным материалам. Исследовано влияние концентрации исходных компонентов, температуры и времени термообработки на огнезащитные свойства.
УДК 677.027.625; ВАК 05.16.09; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.68.73