eng
Competent opinion
Компетентное мнение
M.Kruse
New developments in field of dicing For more than 40 years of work in the semiconductor industry DISCO has become a leader in the field of solutions for thinning, polishing and dicing and continues to offer new developments that change this fairly conservative field of microelectronics technology
New developments in field of dicing For more than 40 years of work in the semiconductor industry DISCO has become a leader in the field of solutions for thinning, polishing and dicing and continues to offer new developments that change this fairly conservative field of microelectronics technology
М.Крузе
Новые разработки в области разделения кристаллов За более чем 40 лет работы в полупроводниковой промышленности DISCO стала лидером в области решений для утонения, полировки и разделения пластин и продолжает предлагать все новые разработки, изменяющие эту довольно консервативную область технологических процессов микроэлектроники.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.96.98
Новые разработки в области разделения кристаллов За более чем 40 лет работы в полупроводниковой промышленности DISCO стала лидером в области решений для утонения, полировки и разделения пластин и продолжает предлагать все новые разработки, изменяющие эту довольно консервативную область технологических процессов микроэлектроники.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.96.98
T.Lazerand
Innovative plasma-processing systems Innovations in the field of deposition, etching, stripping, photomask etching, dicing and other areas.
Innovative plasma-processing systems Innovations in the field of deposition, etching, stripping, photomask etching, dicing and other areas.
Т.Лазеранд
Инновационные плазмохимические системы Инновации в сфере осаждения и травления покрытий, очистки фоторезиста, травления фотошаблонов, разделения кристаллов и других областях.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.100.106
Инновационные плазмохимические системы Инновации в сфере осаждения и травления покрытий, очистки фоторезиста, травления фотошаблонов, разделения кристаллов и других областях.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.100.106
S.Kanev
To understand customer is our main principle The MPI Corporation (Taiwan) presents probe systems for monitoring devices on semiconductor wafers.
To understand customer is our main principle The MPI Corporation (Taiwan) presents probe systems for monitoring devices on semiconductor wafers.
С.Канев
Понимать клиента – наш главный принцип Тайваньская корпорация MPI представляет зондовые установки для контроля приборов на полупроводниковых пластинах.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.108.110
Понимать клиента – наш главный принцип Тайваньская корпорация MPI представляет зондовые установки для контроля приборов на полупроводниковых пластинах.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.108.110
Nanotechnology
Нанотехнологии
D.Wuensch, L.Purwin, L.Biittner, R.Martinka, I.Schubert, R.Junghans, M.Baum, M.Wiemer, T.Otto
Temporary wafer bonding – key technologogy for MEMS devices Back thinning after temporary wafer bonding is a key technology for 3D integration of sensors and electronic components to obtain miniaturized systems. Ultrathin silicon wafers are difficult to handle therefore various temporary bonding approaches have been developed to stabilize and protect them during the subsequent fabrication steps.
Temporary wafer bonding – key technologogy for MEMS devices Back thinning after temporary wafer bonding is a key technology for 3D integration of sensors and electronic components to obtain miniaturized systems. Ultrathin silicon wafers are difficult to handle therefore various temporary bonding approaches have been developed to stabilize and protect them during the subsequent fabrication steps.
Д.Вюнш, Л.Пурвин, Р.Мартинка, И.Шуберт, Р.Юнганс, М.Баум, М.Вимер, Т.Отто
Временное сращивание пластин – ключевая технология для МЭМС-устройств Утонение после временного сращивания пластин – ключевая технология 3D-интеграции датчиков и электронных компонентов для получения миниатюрных систем. Обработка ультратонких кремниевых пластин является сложным процессом, поэтому были разработаны различные технологии их временного сращивания с носителем для стабилизации и защиты пластин во время производственных операций.
УДК 621.382.2 /.3; ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.144.154
Временное сращивание пластин – ключевая технология для МЭМС-устройств Утонение после временного сращивания пластин – ключевая технология 3D-интеграции датчиков и электронных компонентов для получения миниатюрных систем. Обработка ультратонких кремниевых пластин является сложным процессом, поэтому были разработаны различные технологии их временного сращивания с носителем для стабилизации и защиты пластин во время производственных операций.
УДК 621.382.2 /.3; ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.144.154
V.Luchinin
National technological priorities. Diamond extreme electronics Unlike other technological challenges, the Russian material science base has now provided the opportunity to form a completely domestic innovative technological route for the production of diamond electronics with previously unattainable energy-frequency characteristics, temperature and radiation conditions of operation. This became possible due to the availability in Russia of the technology for growing large synthetic diamond single crystals and the development of processes for obtaining doped epitaxial diamond layers, including nano-layer compositions.
National technological priorities. Diamond extreme electronics Unlike other technological challenges, the Russian material science base has now provided the opportunity to form a completely domestic innovative technological route for the production of diamond electronics with previously unattainable energy-frequency characteristics, temperature and radiation conditions of operation. This became possible due to the availability in Russia of the technology for growing large synthetic diamond single crystals and the development of processes for obtaining doped epitaxial diamond layers, including nano-layer compositions.
В.Лучинин
Национальные технологические приоритеты. Алмазная экстремальная электроника В отличие от других технологических вызовов, российская материаловедческая база обеспечила в настоящее время возможность формирования полностью отечественного инновационного технологического маршрута производства алмазной электроники с ранее недостижимыми энерго-частотными характеристиками, температурными и радиационными условиями эксплуатации. Это стало возможным благодаря постановке в России технологии выращивания крупных синтетических монокристаллов алмаза и разработке процессов получения легированных эпитаксиальных алмазных слоев, в том числе нанослоевых композиций.
УДК 621.382, ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.156.169
Национальные технологические приоритеты. Алмазная экстремальная электроника В отличие от других технологических вызовов, российская материаловедческая база обеспечила в настоящее время возможность формирования полностью отечественного инновационного технологического маршрута производства алмазной электроники с ранее недостижимыми энерго-частотными характеристиками, температурными и радиационными условиями эксплуатации. Это стало возможным благодаря постановке в России технологии выращивания крупных синтетических монокристаллов алмаза и разработке процессов получения легированных эпитаксиальных алмазных слоев, в том числе нанослоевых композиций.
УДК 621.382, ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.156.169
Теги: carbon electronics diamond electronic components extreme modes алмаз углеродная электроника экстремальные режимы электронная компонентная база
Test & Measurement
Контроль и измерения
I.Yaminsky
Routes of biomedical scanning probe microscopy The review of the latest achievements of scanning probe microscopy in solving practical problems in the field of biology and medicine is presented. The unique capabilities of scanning capillary microscopy are demonstrated in observing the morphology of single cells and studying the conductivity of the ion channels of the cell membrane. Particular attention is paid to the description of the principle of molecular printing using the technique of scanning capillary microscopy. Data on the creation of capillary biononosensors are presented.
Routes of biomedical scanning probe microscopy The review of the latest achievements of scanning probe microscopy in solving practical problems in the field of biology and medicine is presented. The unique capabilities of scanning capillary microscopy are demonstrated in observing the morphology of single cells and studying the conductivity of the ion channels of the cell membrane. Particular attention is paid to the description of the principle of molecular printing using the technique of scanning capillary microscopy. Data on the creation of capillary biononosensors are presented.
И.Яминский
Маршруты биомедицинской сканирующей зондовой микроскопии Представлен обзор последних достижений сканирующей зондовой микроскопии в решении практических задач в области биологии и медицины. Продемонстрированы уникальные возможности сканирующей капиллярной микроскопии при наблюдении морфологии единичных клеток и изучении проводимости ионных каналов мембраны клеток. Особое внимание уделено описанию принципа молекулярной печати с помощью техники сканирующей капиллярной микроскопии. Приведены данные о создании капиллярных бионаносенсоров.
УДК 621.385.833; ВАК 05.11.13; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.132.136
Маршруты биомедицинской сканирующей зондовой микроскопии Представлен обзор последних достижений сканирующей зондовой микроскопии в решении практических задач в области биологии и медицины. Продемонстрированы уникальные возможности сканирующей капиллярной микроскопии при наблюдении морфологии единичных клеток и изучении проводимости ионных каналов мембраны клеток. Особое внимание уделено описанию принципа молекулярной печати с помощью техники сканирующей капиллярной микроскопии. Приведены данные о создании капиллярных бионаносенсоров.
УДК 621.385.833; ВАК 05.11.13; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.132.136
Теги: atomic force microscopy biosensors scanning capillary microscopy stereolithography атомно-силовая микроскопия биосенсоры сканирующая капиллярная микроскопия стереолитография
S.Stepanov, S.Tarasov, A.Petrov, S.Stepanov
Determination of absolute error of M-050-03 electronic level A calibration technique has been developed to determine the actual error of electronic levels. It is determined that the M-050-03 electronic level can be used in the local scheme as standard of the 1st category.
Determination of absolute error of M-050-03 electronic level A calibration technique has been developed to determine the actual error of electronic levels. It is determined that the M-050-03 electronic level can be used in the local scheme as standard of the 1st category.
С.Степанов, С.Тарасов, А.Петров, С.Степанов
Определение предела абсолютной погрешности электронного уровня модели М-050-03 Разработана методика калибровки для определения фактической погрешности электронных уровней. Установлено, что электронные уровни модели М-050-03 могут быть использованы в локальной схеме как эталоны 1-го разряда.
УДК 621.923; ВАК 05.11.01; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.138.142
Определение предела абсолютной погрешности электронного уровня модели М-050-03 Разработана методика калибровки для определения фактической погрешности электронных уровней. Установлено, что электронные уровни модели М-050-03 могут быть использованы в локальной схеме как эталоны 1-го разряда.
УДК 621.923; ВАК 05.11.01; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.138.142
Conferences, Exhibitions, Seminars
Конференции, выставки, семинары
D.Georgiev
Nanoindustry in Moscow: composites, MEMS, medicines RUSNANO organized a press tour, presenting four nanoindustry enterprises located in the Technopolis Moscow: Technology Center NovaMedica Innotech, Mapper, Nanotechnology Center of Composites and Prepreg-ACM.
Nanoindustry in Moscow: composites, MEMS, medicines RUSNANO organized a press tour, presenting four nanoindustry enterprises located in the Technopolis Moscow: Technology Center NovaMedica Innotech, Mapper, Nanotechnology Center of Composites and Prepreg-ACM.
Д.Георгиев
Московская наноиндустрия: композиты, МЭМС, лекарственные препараты РОСНАНО организовала пресс-тур, представив четыре предприятия наноиндустрии, размещенные в технополисе "Москва": технологический центр "НоваМедика Иннотех", компанию "Маппер", Нанотехнологический центр композитов и "Препрег-СКМ".
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.112.115
Московская наноиндустрия: композиты, МЭМС, лекарственные препараты РОСНАНО организовала пресс-тур, представив четыре предприятия наноиндустрии, размещенные в технополисе "Москва": технологический центр "НоваМедика Иннотех", компанию "Маппер", Нанотехнологический центр композитов и "Препрег-СКМ".
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.112.115
L.Ratkin
Modern industrial nanotechnology for RFID based on silicon and plastic RUSNANO management company held a technology seminar on the use of nanotechnology in RFID. The RFID technology on the basis of silicon and plastic was considered.
Modern industrial nanotechnology for RFID based on silicon and plastic RUSNANO management company held a technology seminar on the use of nanotechnology in RFID. The RFID technology on the basis of silicon and plastic was considered.
Л.Раткин
Современные производственные нанотехнологии для RFID на базе кремния и пластика УК РОСНАНО провела технологический семинар, посвященный применению нанотехнологий в RFID. Рассматривались производственные технологии RFID на базе кремния и пластика.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.116.118
Современные производственные нанотехнологии для RFID на базе кремния и пластика УК РОСНАНО провела технологический семинар, посвященный применению нанотехнологий в RFID. Рассматривались производственные технологии RFID на базе кремния и пластика.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.116.118
Education
Образование
B.Loginov
Probe microscopy: new opportunities for universities and schools The new teaching methods developed and tested by the author, which are implemented on the basis of the CMM-2000 serial microscope, make it possible to conduct interesting and understandable training courses in probe microscopy and nanotechnology.
Probe microscopy: new opportunities for universities and schools The new teaching methods developed and tested by the author, which are implemented on the basis of the CMM-2000 serial microscope, make it possible to conduct interesting and understandable training courses in probe microscopy and nanotechnology.
Б.Логинов
Зондовая микроскопия: новые возможности для вузов и школ Разработанные и апробированные автором новые методики преподавания, которые реализованы на базе серийного микроскопа СММ-2000, позволяют проводить интересные и понятные учебные курсы по зондовой микроскопии и нанотехнологиям.
УДК 620.187; ВАК 01.04.01; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.174.179
Зондовая микроскопия: новые возможности для вузов и школ Разработанные и апробированные автором новые методики преподавания, которые реализованы на базе серийного микроскопа СММ-2000, позволяют проводить интересные и понятные учебные курсы по зондовой микроскопии и нанотехнологиям.
УДК 620.187; ВАК 01.04.01; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.174.179
Теги: atomic resolution cканирующая зондовая микроскопия scanning probe microscopy vocational guidance атомное разрешение профессиональная ориентация
V.Sharoshchenko
Project and research activity of future teachers of physics in field of nanotechnologies Research and design activities of school students is a basis of achievement of metasubject educational results in the conditions of introduction of the Federal state educational standard.
Project and research activity of future teachers of physics in field of nanotechnologies Research and design activities of school students is a basis of achievement of metasubject educational results in the conditions of introduction of the Federal state educational standard.
В.Шарощенко
Проектная и исследовательская деятельность будущих учителей физики в области нанотехнологий Исследовательская и проектная деятельность школьников – основа достижения метапредметных образовательных результатов в условиях введения ФГОС.
УДК: 372.862; ВАК: 13.00.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.180.183
Проектная и исследовательская деятельность будущих учителей физики в области нанотехнологий Исследовательская и проектная деятельность школьников – основа достижения метапредметных образовательных результатов в условиях введения ФГОС.
УДК: 372.862; ВАК: 13.00.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.180.183
Nanomaterials
Наноматериалы
O.Sinitsyna, A.Ahmetova, G.Meshkov, T.Goncharova, I.Pylev, M.Smirnova, Yu.Belov, I.Yaminsky
Influence of microstructure of graphite precursor on formation of graphite oxide Graphite oxide is a compound, promising for different applications. Graphite basis plays an important role in synthesis process of graphite oxide.
Influence of microstructure of graphite precursor on formation of graphite oxide Graphite oxide is a compound, promising for different applications. Graphite basis plays an important role in synthesis process of graphite oxide.
О.Синицына, А.Ахметова, Г.Мешков, Т.Гончарова, И.Пылев, М.Смирнова, Ю.Белов, И.Яминский
Влияние микроструктуры графита-прекурсора на процесс образования оксида графита Оксид графита – перспективный материал для различных применений. Ключевую роль в процессе синтеза оксида играет тип графита.
УДК 661.666.2, ВАК 05.16.09; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.170.172
Влияние микроструктуры графита-прекурсора на процесс образования оксида графита Оксид графита – перспективный материал для различных применений. Ключевую роль в процессе синтеза оксида играет тип графита.
УДК 661.666.2, ВАК 05.16.09; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.170.172
Теги: cканирующая зондовая микроскопия graphite intercalation compounds graphite oxide highly annealed pyrolythic graphite scanning probe microscopy высокосовершенный графит оксид графита
Reportage from laboratory
Репортаж из лаборатории
D.Gudilin
DISCO’s innovations in real production In addition to the supply of equipment, as well as technical and service support, DISCO HI-TEC EUROPE has its own experienced production, which serves about 500 customers from around the world.
DISCO’s innovations in real production In addition to the supply of equipment, as well as technical and service support, DISCO HI-TEC EUROPE has its own experienced production, which serves about 500 customers from around the world.
Д.Гудилин
Инновации DISCO в реальном производстве Помимо организации поставок оборудования, а также оказания технической и сервисной поддержки, DISCO HI-TEC EUROPE располагает собственным опытным производством, которое обслуживает около 500 заказчиков со всего мира.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.120.125
Инновации DISCO в реальном производстве Помимо организации поставок оборудования, а также оказания технической и сервисной поддержки, DISCO HI-TEC EUROPE располагает собственным опытным производством, которое обслуживает около 500 заказчиков со всего мира.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.120.125
D.Gudilin
Traditions and innovations in production of Russian process equipment NIITM develops research and industrial equipment for nano- and microelectronics, MEMS, photonics, photovoltaics and other advanced fields of science and industry.
Traditions and innovations in production of Russian process equipment NIITM develops research and industrial equipment for nano- and microelectronics, MEMS, photonics, photovoltaics and other advanced fields of science and industry.
Д.Гудилин
Традиции и инновации в производстве российского технологического оборудования НИИТМ разрабатывает исследовательское и промышленное технологическое оборудование для нано- и микроэлектроники, МЭМС, фотоники, фотовольтаики и других передовых направлений.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.126.130
Традиции и инновации в производстве российского технологического оборудования НИИТМ разрабатывает исследовательское и промышленное технологическое оборудование для нано- и микроэлектроники, МЭМС, фотоники, фотовольтаики и других передовых направлений.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.126.130