Development and manufacture of vacuum Equipment – the large-scale task of the modern domestic engineering DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.88.93
The research and production company "Electrovacuum Technologies" LLC specializes in solving problems in the field of electronic engineering, from designing, manufacturing
and supplying specialized vacuum equipment to customers, to developing technological processes and applying protective coatings. The company has its own design bureau
and a staff of highly qualified specialists, two employees have a scientific degree, and leading employees have a higher specialized education. Senior students of Bauman Moscow State Technical University working under the guidance of personal mentors.
Разработка и производство вакуумного оборудования – масштабная задача современного отечественного машиностроения DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.88.93
Научно-производственная компания ООО "Электровакуумные технологии" специализируется на решении задач в области электронного машиностроения: от проектирования, изготовления и поставки специализированного вакуумного
оборудования заказчикам до отработки технологических процессов и нанесения защитных покрытий. Компания имеет собственное конструкторское бюро и штат
высококвалифицированных специалистов – два сотрудника имеют ученую степень, а ведущие сотрудники – высшее профильное образование. Привлекаются к работе и студенты старших курсов МГТУ им. Н.Э.Баумана, работающие под руководством персональных наставников.
Heidelberg Instruments and new Nano department DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.94.98
In February 2018, Heidelberg Instruments acquired a 70% stake in Swiss high-tech company SwissLitho AG. Nowadays, SwissLitho will be called Heidelberg Instruments Nano, and in connection with the transfer
of the company’s website, Heidelberg Instruments has changed the company logo, corporate design
and website. With over 3 years of experience in direct laser recording, Heidelberg Instruments is a worldrecognized direct recording laser lithography company that has successfully integrated many sophisticated technological solutions into its instruments. However, expanding beyond the current smallest element size of 300 nm is more than just an engineering task.
Heidelberg Instruments и новое подразделение Nano DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.94.98
В феврале 2018 года Heidelberg Instruments приобрела 70% акций швейцарской высокотехнологичной компании SwissLitho AG. Отныне SwissLitho будет называться Heidelberg Instruments Nano, а в связи с передачей сайта компании Heidelberg Instruments изменила логотип компании, фирменный дизайн и сайт. Обладая более чем трехдесятилетним опытом в области прямой лазерной записи, Heidelberg Instruments является признанной в мире компанией, занимающейся лазерной литографией с прямой записью, успешно внедрившей множество сложных технологических решений в свои инструменты. Однако расширение возможностей за пределы нынешнего наименьшего размера элементов 300 нм – это больше, чем просто инженерная задача.
Formation of the contact-metallization systems with improved technological parameters DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.122.125
Considered are the technological approaches that provide improved metallization adhesion, reduced structural stresses in the film during deposition and reduced electrical migration at the formation of contact-metallization systems when producing integrated electronics elements.
Формирование контактно-металлизационных систем с улучшенными технологическими параметрами DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.122.125
Показаны технологические подходы, улучшающие адгезию металлизации, уменьшающие структурные напряжения в пленке при осаждении и электромиграцию при формировании контактно-металлизационных систем элементов ИЭ.
Nanostructure of protein crystals of bacteria Brevibacillus laterosporus DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.126.131
The article provides information about bacterium Brevibacillus laterosporus capable to form protein crystals, toxic to some insects, which allows us to consider these crystals as safe and environmentally friendly product in the fight against mosquitoes. A fine structure of protein crystals was studied and experimental data of the electron microscopy images were obtained.
Наноструктура белковых кристаллов бактерий Brevibacillus laterosporus DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.126.131
В работе представлена информация о бактерии B. laterosporus, способной образовывать белковые кристаллы, токсичные для некоторых насекомых, что делает данные кристаллы безопасным и экологичным средством для борьбы с москитами. Исследована тонкая структура белковых кристаллов, приведены экспериментальные данные о полученных изображениях методом электронной микроскопии.
Scanning probe microscopy of transition metal dichalcogenides DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.132.134
Scanning probe microscopy is a tool for taking measurements of the promising materials. Simplicity of the method allows of obtaining an impressive scope of information pertaining to morphology and surface structure, conductivity, study of material properties at heating.
Сканирующая зондовая микроскопия дихалькогенидов переходных металлов DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.132.134
С помощью зондовой микроскопии проводились измерения перспективных материалов. Простота метода позволяет узнать морфологию и структуру поверхности, проводимость, исследовать свойства материала при нагреве.
Riboflavin test for washing/cleaning validation of process equipment DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.144.147
The article is devoted to the validation of process equipment washing/cleaning procedures in accordance with the VDMA manual.
Проведение рибофлавинового теста для валидации мойки/очистки технологического оборудования DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.144.147
Статья посвящена валидации процедур мойки/очистки технологического оборудования в соответствии с руководством VDMA.
Biosafety of nanodrugs used in livestock and poultry breeding DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.150.156
The use of nanotechnologies enabled the creation of products: Sky-Force, Pentacycline, Rifomast and Endosuper having previously unattainable properties. New properties and methods for producing new materials are determined by the unique properties of nanoparticles and the peculiarities of handling with them.
Биобезопасность нанопрепаратов при применении в животноводстве и птицеводстве DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.150.156
Созданы нанопрепараты "Скай-Форс", "Пентациклин", "Рифомаст" и "Эндосупер" с ранее недостижимыми свойствами. Новые свойства и способы их получения определяются уникальными свойствами наночастиц и особенностями операций с ними.
For more than 12 years, the company "Pharm Engineering" has been engaged in the production of building envelopes, design and construction of turnkey cleanrooms. The organization has accumulated considerable experience working with government agencies and commercial enterprises in the framework of projects in the field of pharmaceuticals, healthcare, microelectronics, food, cosmetics and space industries.
Более 12-ти лет "ФармИнжиниринг" занимается производством ограждающих конструкций, проектированием и строительством чистых помещений "под ключ". Мы накопили значительный опыт работы с государственными структурами и коммерческими предприятиями в рамках выполнения проектов в области фармацевтики, здравоохранения, микроэлектроники, ЦОД, пищевой, косметической и космической промышленности.
Element-technological and constructive integration when creating microelectronic instrument structures DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.108.112
In the technological process of manufacturing microelectronic device structures (MDS), especially in production with submicron minimum dimensions, the relationship between the parameters of device structures and the technology for their manufacture is strengthened. Physical and technological modeling allows predicting the characteristics of MDS structures and establishing correlations of technological and electrical parameters of elements, the possibility of their optimal design.
Элементно-технологическая и конструктивная интеграции при создании микроэлектронных приборных структур DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.108.112
При изготовлении микроэлектронных приборных структур (МПС) с субмикронными размерами усиливается связь между их параметрами и технологией изготовления. Физико-технологическое моделирование позволяет прогнозировать характеристики МПС и устанавливать корреляции технологических и электрических параметров элементов, оптимально их проектировать.
Reliability assessment of the one-time programmable read-only memory devices produced on the basis of jumpers programmable with the use of the electromigration mechanism (eFuse) DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.114.121
In this work the reliability of the one-time read-only memory devices (OPROM) implemented on the HCMOS8D technology with topological standards of 180 nm and designed to be integrated into the base crystal of the 5521TP series is evaluated. With the use of the base layers of HCMOS8D technology, the structure and design of the programmed by the electromigration mechanism of the elements of the EEPROM – jumpers (eFuse), on the basis of layers of n+-polysilicon and nickel silicide were developed. A technique has been developed to assess the reliability of eFuse intended for use as a part of memory cells in the 5521TP series base crystal. eFuse guarantees the preservation of residual resistance within specified limits throughout the life of the microcircuit.
Оценка надежности однократно программируемых постоянно запоминающих устройств, созданных на основе программируемых с помощью механизма электромиграции перемычек (eFuse) DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.114.121
Оценивается надежность однократно программируемых постоянно запоминающих устройств (ОППЗУ), реализованных на технологии HCMOS8D с топологическими нормами 180 нм, разработанных для интеграции в базовый кристалл серии 5521ТР. На основе базовых слоев технологии HCMOS8D разработана структура и конструкция программируемых с помощью механизма электромиграции элементов ОППЗУ – перемычек (eFuse) на основе слоев n+-поликремния и силицида никеля. Разработана методика оценки надежности разработанных eFuse для ячеек памяти базового кристалла серии 5521ТР. Показано, что eFuse сохраняет остаточное сопротивление в заданных пределах в течение всего срока эксплуатации.
Climate-2020 exhibition: overview of equipment for clean rooms DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.140.143
The Climate-2020 exhibition brought together leading manufacturers of equipment for climate systems, air conditioning, ventilation and clean rooms. We focused on the equipment for clean rooms presented at the exhibition and interviewed representatives of companies that made themselves known in this market segment.
Выставка "Климат-2020": обзор оборудования для чистых помещений DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.140.143
Выставка "Климат-2020" собрала ведущих производителей оборудования для климат-систем, кондиционирования, вентиляции и чистых помещений. Мы освещаем оборудование для чистых помещений, представленное на выставке, и беседуем с представителями компаний, заявивших о себе на этом сегменте рынка.
Technologies for creating plasmon nanolasers with unique characteristics are patented at the FMN Laboratory DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.158.159
Team of FMN laboratory of Bauman MSTU and Dukhov Automatics Research Institute (VNIIA) received patents for a multi-stage technology for manufacturing plasmon lasers (spazers) and sensors with unique characteristics. The new method was a breakthrough solution in the field of plasmonics and allowed the creation of a spaser with record spectral characteristics and a high sensitive biosensor .
НОЦ ФМН запатентовал технологии создания плазмонных нанолазеров с уникальными характеристиками DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.158.159
В НОЦ Функциональные микро/наносистемы МГТУ им. Н.Э.Баумана и ФГУП "ВНИИА им. Н.Л.Духова" получены патенты на многоэтапную технологию изготовления плазмонных лазеров (спазеров) и биосенсоров. Новый метод – прорывное решение в плазмонике, позволяющее создать спазер с рекордными спектральными характеристиками и биосенсор рекордной чувствительности.
Biosafe nanostructured building materials with desired properties DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.136.139
Nanotechnologies facilitate producing materials with unique physical and chemical properties and qualities. In order to study GOST characteristics, experimental samples of nanostructured mortar with different concentrations of modifying additives were manufactured.
Биобезопасные наноструктурированные строительные материалы с заданными свойствами DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.136.139
Нанотехнологии позволяют изготавливать материалы с уникальными физико-химическими характеристиками и потребительскими качествами. Для исследования гостовских характеристик по авторской технологии изготавливались образцы наноструктурированного строительного раствора с разной концентрацией модифицирующих добавок.
Center for collective use of scientific equipment in Derzhavin Tambov state university: opportunities and prospects DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.100.105
An indispensable condition for scientific progress is the reliability of the experimental results achieved using high-tech scientific equipment. Centers for the collective use of scientific equipment (CCU) are modern "access points" to expensive research facilities.
Центр коллективного пользования научным оборудованием ТГУ имени Г.Р.Державина: возможности и перспективы DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.100.105
Непременное условие научного прогресса – достоверность результатов эксперимента, достигаемая использованием высокотехнологичного оборудования. Центры коллективного пользования – "точки доступа" к таким исследованиям.