DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.6.370.377

Запуск безнакальных магнетронов в режим генерации обусловлен током автоэлектронной эмиссии с вискеров, формирующихся на дисклокациях поверхности танталовых автокатодов в процессе активирования катодно-подогревательного узла (КПУ). При уровне тока автоэлектронной эмиссии, не достаточном для запуска магнетрона, катоды проходят дополнительную диодную тренировку, которая увеличивает временной цикл обработки лампы и включает в себя использование дополнительных произ­водственных ресурсов. В представленной работе отражены результаты исследований влияния дефектов поверхности танталовых шайб, искусственно созданных посредством ионного и химического травления, на процессы роста нановискеров. Рассмотрена возможность использования вольфрамовых и ниобиевых шайб в качестве автокатодов для магнетронов с "холодным" катодом.

sitemap

Разработка: студия Green Art