DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.3-4.200.206

В данной статье описано устройство для оперативного контроля углов наклона и углов между гранями прозрачных в диапазоне видимого излучения пластин. Рассчитан диапазон значений углов, которые позволяет измерять данная установка. Измерения и расчеты коэффициентов отражения образцов из кремния, сапфира, кварца и полиметилметакрилата, поверхности которых имеют различную шероховатость, позволили сформулировать ограничение на качество исследуемой поверхности: среднеквадратичная шероховатость не должна превышать 50 нм.