eng
Выпуск #6/2024
С.В.Сидорова, А.Д.Купцов, О.В.Новикова, И.В.Кушнарев, А.А.Епихин, Е.Э.Гусев
ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ НА ВЕЛИЧИНУ ОСТАТОЧНЫХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В AL2O3/Si
ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ НА ВЕЛИЧИНУ ОСТАТОЧНЫХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В AL2O3/Si
Просмотры: 117
https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.6.372.381.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
