*Окончание. Начало – Наноиндустрия, 6/2009.
Во второй части статьи описано российское оборудование для чистых помещений, рассмотрены технические решения, которые позволяют небольшой фирме «НПО «Инженеры электросвязи» выпускать изделия, не уступающие по параметрам лучшим зарубежным образцам.

sitemap

Разработка: студия Green Art