На электрические параметры резонаторов значительное влияние оказывает точность обеспечения геометрических размеров при нанесении электродных покрытий на кварцевые элементы, что особенно важно при изготовлении микроминиатюрных, высокочастотных и прецизионных изделий. Следует учитывать, что напыление дополнительного слоя металла на электрод пьезоэлемента приводит к ухудшению параметров резонаторов, увеличивает долговременную нестабильность их частоты, искажает температурно-частотные характеристики (ТЧХ), повышает неравномерность измерений динамического сопротивления в широком интервале температур. Для исключения таких эффектов с помощью кварцевого датчика проводится контроль толщины формируемой пленки [1].

sitemap

Разработка: студия Green Art