С 26 по 29 мая 2010 года в Институте проблем химической физики РАН (Черноголовка) проведена 3-я школа “Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии”, организованная РОСНАНО и Федеральным агентством по техниче­скому регулированию и метрологии.

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #4/2010
Л.Раткин.
Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии
Просмотры: 3358
С 26 по 29 мая 2010 года в Институте проблем химической физики РАН (Черноголовка) проведена 3-я школа “Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии”, организованная РОСНАНО и Федеральным агентством по техниче­скому регулированию и метрологии.
Во вступительном слове чл.-кор. РАН В.Иванов (Метроло­гический центр РОСНАНО) отметил, что приоритетными направлениями в работе 3-й школы, ориентированной на ознакомление участников с перспективными разработками, стандартами и системами обеспечения единства измерений в наноиндустрии и нанотехнологиях с требованиями к методам испытаний, являются наноматериалы, нанофотоника и наноэлектроника. Выступающий подчеркнул, что среди 69 поддержанных РОСНАНО проектов, общий бюджет которых составляет 197 млрд. руб., а инвестиции Госкорпорации – 83 млрд.руб., к производству средств измерений относятся 8 проектов на сумму 6,3 млрд.руб. (инвестиции РОСНАНО – 3,3 млрд.руб).
Мировым достижениям и современным тенденциям развития наноэлектроники был посвящен доклад директора Института СВЧ полупроводниковой электроники РАН, д.т.н., проф. П.Мальцева.
Докладчик отметил, в частности, что в отличие от обычного многокаскадного полупроводникового лазера лазер на фотонных кристаллах с сечением излучателя 50 мкм и взвешенными в растворителе и нанесенными на кремниевую подложку наночастицами полупроводника при подаче напряжения без фокусировки в заданном направлении в режиме управления излучает ИК-сигнал с длиной волны 1,5 мкм.

В средствах и системах боевого обеспечения используются НЭМС, в частности, для управления боеприпасами и минными полями, охраны объектов и навигации, мониторинга и защиты от химического, ядерного и бактериологического оружия, картографирования и управления боевыми роботами, а также для разведки, слежения, наведения и целеуказания.
Прецизионные измерения в нанометровом диапазоне рассматривались в выступлении заместителя директора Института физики полупроводни­ков (ИФП) им. А.В.Ржанова СО РАН чл.-кор. РАН, д.ф.-м.н. А.Латышева.
Особое внимание было уделе­но управляемому синтезу полупроводниковых многослойных квантово-размерных наноструктур на установках молекулярной и мокулярно-лучевой эпитаксии гетеросистем и наноструктур. Отмечено, что созданный в СО РАН Центр коллективного пользования (ЦКП) “Нано­структуры” обеспечивает раз­витие и совершенствование экспериментальных методов ди­агностик и литографии для систем пониженной размерности, определение с использованием оже-спектроскопии элементного и химического состава поверхности твердых тел.
В ЦКП доступна также вторичная ионная масс-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, изучение атомной структуры, химического состава и морфологии материалов методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии для разных областей фундаментальной и прикладной науки, в том числе для биологии, полупроводникового материаловедения, минералогии и катализа.
Использование возможностей ЦКП также обеспечивает совершенствование структур пониженной размерности для наномеханики и наноэлектроники методами зондовой, оптической, ионной и электронной литографии и оперативный бесконтактный мониторинг атомарных поверхностей методами атомно-силовой микроскопии (АСМ).
Все это, несомненно, будет способствовать реализации дальнейших работ по совершенствованию инфраструктуры Центра метрологического обеспечения, в том числе, по оценке соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии в Сибирском федеральном округе.
В докладе отмечено, что в ИФП СО РАН создана технология разработки тест-объектов для субнанометрового диапазона, сформулированы основные положения методики характеризации наноструктур и спроектирован макет атомно-гладкого зеркала для интерференционной микроскопии.
Роли промышленности в реформе системы технического регулирования был посвящен доклад ответственного секретаря Комитета РСПП по техническому регулированию, стандартизации и оценке соответствия М.Шевелева. Он, в частности, отметил, что внедрение 17 первоочередных регламентов предполагает разработку или обновление свыше 6000 стандартов и принятие 85 постановлений Правитель­ства РФ.
Было показано, что Россия существенно отстает от ведущих индустриальных стран в темпах совершенствования стандартов и технического регулирования в промышленности.
Так, средний срок обновления стандартов в России составляет 12 лет, в США – 5 лет, в Японии и ФРГ – 4 года. Соответственно в ФРГ ежегодно пересматривается 2500 стандартов, тогда как в РФ – 800–900.
В выступлении генерального директора Научно-исследовательского центра по изучению свойств поверхности и вакуума, д.ф.-м.н., проф. П.Тодуа затрагивались проблемы стандартизации в России системы измерений для наноиндустрии, теоретические и практические аспекты нанометрологии.
Отмечено, что метрологическое сопровождение нанотехнологических процессов и методов калибровки параметров средств измерений и эталонов единиц физических величин и стандартных образцов позволило ввести в действие первую группу российских стандартов в сфере нанотехнологий, подготовить четыре межгосударственных и два национальных стандарта, разработать и стандартизировать средства и методы поверки/калибровки РЭМ и АСМ, сформулировать концепцию специализированного эталона единицы длины нанометрового диапазона.
Созданы также стандартные методы измерений в нанодиапазоне:
• межплоскостных расстояний в кристаллах,
• размерных параметров наночастиц и тонких пленок,
• эффективной высоты шероховатости поверхности.
Технологии и оборудование для работ в сфере нанофизики и наноэлектроники были представлены в докладе генерального директора ЗАО “НТ-МДТ”, д.т.н. В.Быкова.
Он подчеркнул, что особенностью деятельности компании является диверсификация производственных процессов с предоставлением комплексных решений для оснащения промышленных центров.
Такой подход обусловил необходимость широкого научного сотрудничества с Национальной лабораторией нанотехнологии РНЦ “Курчатовский институт” и зеленоградским НИИФП им. Ф.В. Лукина.
Проблемы и перспективы развития кремниевой наноэлектроники были темой выступления директора Физико-технологического института РАН, акад. РАН А.Орликов­ского.
Им рассмотрены особенности реализации технологий двойного экспонирования и нанолитографии для поколения интегральных схем с минимальным характеристическим размером 22 нм. Среди квантовых эффектов в нанотранзисторе отмечены, в частности, туннелирование между истоком и стоком, поперечное квантование носителей в канале транзистора, статистика Ферми-Дирака в контактах, квантово-механическое отражение и интерференция в канале.
По мнению докладчика, решению проблем многоуровневых соединений способствует создание нанометрологических методов и средств, промышленное внедрение новых материалов, обеспечение надежности соединений в контактах и минимизация потерь и задержек в соединениях.
В рамках работы 3-й школы также были представлены другие доклады, в частности, посвященные использованию электронных и ионно-лучевых методов для метрологии топологических структур в микромеханике и наноэлектронике, характеризации атомной структуры полупроводниковых систем и структур углеродных нанотрубок с применением высокоразрешающей электронной микроскопии, использованию синхротронного излучения для исследования характеристик многослойных наноструктур.

Суммируя основные выводы докладчиков, можно отметить следующее:
• Важнейшими мероприятиями РОСНАНО в сфере стандартизации и метрологии в 2010 году являются создание Метрологического центра, принятие Программы стандартизации и Концепции системы метрологического обеспечения.
• В числе приоритетных нанометрологических объектов изучения – внедряемые Центрами нанометрологии и нанодиагностики эталоны, метрологические приборы и оборудование для нанометрового диапазона.
• Проблема метрологического обеспечения измерений состоит в привязке измерительной шкалы устройств к эталону метра. В этой связи, разработанные тест–объекты можно использовать для организации внутреннего аудита качества измерений, обеспечения единства измерений, разработки новых методик измерений и прецизионной калибровки сканеров и микромеханических устройств.
• Среди основных недостатков системы стандартизации и технического регулирования в России можно отметить отсутствие межведомственного плана внедрения большинства проектов технических регламентов и существенное превышение сроков формирования комплекта стандартов и сводов правил по сравнению с подобными европейскими документами.
• За рубежом наметился устойчивый рост капиталовложений в развитие не только гражданской, но и военной нанотехнологической продукции, например, при создании перспективной боевой системы Future Combat Systems – прототипа электронного поля боя, нанополимеров для дисплеев спецтехники, «квантовых точек» для приборов ночного видения и лазерной подсветки, причем уже к 2015 году, как отмечают эксперты, планируется завершение первого этапа перевооружения стран НАТО с использованием нанотехнологических достижений.

Фото: Л.Раткин
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art