eng
Выпуск #5/2009
П.Мальцев.
Международная конференция по микро- и наноэлектронике и микросистемной технике
Международная конференция по микро- и наноэлектронике и микросистемной технике
Просмотры: 2989
9 октября 2009 года в Технологическом центре (ТЦ) МИЭТ (Зеленоград) состоялась международная конференция “Технологии микро- и наноэлектроники и микросистемной техники”. Мероприятие проводилось при поддержке Федерального агентства по науке и инновациям с участием Института нанотехнологий микроэлектроники РАН и МИЭТ.
В конференции приняли участие ученые, специализирующиеся в следующих областях:
Теория и моделирование нанотехнологии: самоорганизация в полупроводниковых структурах; квантовые точки и нити, наноразмерные кластеры, образование, разрушение, легирование, в том числе одноатомное; термодинамика образования кластеров и комплексов; кинетика кластеризации и преципитации в неупорядоченных полупроводниковых структурах: кинетика эпитаксиального роста пленок, квантовых нитей и точек.
Нанотрубки и пористые материалы: структура, механические, электронные и магнитные свойства, процессы роста, явления переноса, спектроскопия, люминесценция, комбинационное рассеяние света, приборы на основе квантовых проволок: сенсоры, полевые транзисторы, биосенсоры, тензодатчики, МЭМС.
Наноэлектроника: принципы конструирования нанообъектов, одноэлектронные и однофотонные приборы, приборы с квантовыми ямами, особенности диагностики и контроля качества; влияние процессов разупорядочения.
Наносенсоры: новые материалы, фуллерены и сенсоры на их основе, среды с упорядоченными наноразмерными включениями, датчики давления, вибрации и ускорений.
МЭМС и наноустройства: перемещения, движения, перекачки жидкости, позиционирования.
Биотехнологии, медицина и здравоохранение: биочипы, молекулярные кластеры, сенсоры для биоструктур; наноразмерные объекты в медицине, здравоохранении, других областях науки и техники.
Радиационные материалы: дефектообразование, кластеризация, дислокации, изменение под воздействием излучений механических и электрических свойств полупроводников, полупроводниковых структур и других материалов.
В состав Программного комитета вошли: В.Вернер – Председатель программного комитета, д.ф.-м.н., проф., председатель НТС ТЦ МИЭТ; Ю.Гуляев – акад. РАН, директор-организатор ИНМЭ РАН; О.Косичкин – к.т.н., зам. директора ИНМЭ РАН; В.Кузнецов – д.т.н., директор науки и развития ASM (Голландия); В.Лабунов – акад. НАНБ, гл. научн. сотр., БГУ информатики и радиоэлектроники (Белоруссия); С.Никитов – чл.-кор. РАН, зам. директора ИРЭ РАН; А.Резнёв – д.т.н., проф., директор НИИ ФСБ; А.Сауров – чл.-кор. РАН, директор ТЦ МИЭТ; Ю.Чаплыгин – чл.-кор. РАН, ректор МИЭТ; Н.Шелепин – д.т.н., зам. генерального директора по науке ОАО “НИИМЭ и завод “Микрон”.
Значительный интерес участников вызвало концептуальное выступление Н.Герасименко (“Наноинженерия – воплощение нанотехнологии в реальной продукции”, авторы С.Гаврилов, Н.Герасименко, Б.Рыгалин, С.Тимошенков – МИЭТ).
Докладчик отметил, что практически любое приборное решение с использованием нанотехнологии является достаточно сложным сочетанием различных конструктивных подходов с учетом принципиально новых свойств материалов и элементов, проявляющихся при переходе в наноразмерную область. Это требует решения инженерных задач, связанных с измерением параметров, привлечением новых технологических процессов, необходимости сочетания принципиально новых свойств отдельных компонентов и устройств. Во всех этих случаях речь идет о самостоятельном направлении под общим названием “наноинженерия”, под которой в наиболее лаконичной форме можно понимать систему технических методов и средств создания наносистем, включая наноматериалы, наноустройства и наносистемную технику.
Эти термины применяются в соответствии с определениями, предложенными в Концепции развития в России работ в области нанотехнологий на период до 2010 года, которая была в основном одобрена Правительством РФ 18 ноября 2004 года, а также в Программе развития наноиндустрии в стране до 2015 года (принята 17 января 2008 г.).
Общим направлением наноинженерии следует считать создание приборов и устройств, в состав которых входят компоненты, конструктивные элементы, детали и другие составляющие, построенные на использовании наноструктурных материалов (нанокристаллов, гетероструктур, тонких пленок, пористых материалов) и реализующие принципиально новые свойства, обусловленные переходом в наноразмерную область.
Принципиальная особенность функциональных наносистем – необходимость решения проблем, связанных с сочетанием наноразмерных элементов и применением наноинженерии.
Типичные примеры микро- и наносистемной техники – различные наноустройства и прежде всего НЭМС и МЭМС. В наносистемную технику могут быть, в частности, встроены компоненты, разработанные с использованием квантово-размерных эффектов электронного характера. При этом должны учитываться эффекты, определяющие механические, тепловые, химические свойства не только самих компонентов, но и инженерной (приборной) системы в целом. В этом случае наноинженерия в качестве самостоятельного направления должна базироваться на специфических подходах, связанных как с необходимостью конструктивного сочетания компонентов, так и с потребностью в разработке новых методов расчета и моделирования.
Рабочие параметры НЭМС и МЭМС определяются не только конструкционными особенностями, но и в большой степени зависят от выбора используемых для их создания материалов и технологии. В частности, как ожидается, благодаря повышенной износостойкости, быстродействие микромеханических механизмов (ключей, акселерометров) в скором времени может достигнуть гигагерцевых частот.
Термин «наноинженерия» проиллюстрирован, прежде всего, на примерах, связанных с электронными приборами и системами. Это направление наиболее близко авторам доклада и включает яркие примеры с точки зрения использования новых принципов и критериев, определяющих понятия «наноматериалы», «нанотехнологии». Кроме того, оно свидетельствует о появлении принципиально новых классов приборов и устройств и об их достаточно широком внедрении в современную практику. Прежде всего следует отметить, что микроэлектроника с переходом на проектные нормы 45–65 нм становится наноэлектроникой.
В выступлении отмечено, что Государственной корпорацией “Российская корпорация нанотехнологий” (ГК "Роснанотех") сформирован проект Программы стандартизаций в наноиндустрии по тематическим направлениям, определенным в ФЦП “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008–2010 гг.”. Основа проекта – предложения, представленные техническими комитетами по стандартизации, осуществляющими работы в сфере нанотехнологий, головными организациями отраслей по направлениям развития нанотехнологий в составе национальной нанотехнологической сети, другими организациями, применяющими наноматериалы и нанотехнологии.
Головная организация раздела проекта Программы стандартизации в наноиндустрии по тематическому направлению “Наноинженерия” – МИЭТ. В качестве приоритетных в Программе выбраны задания в соответствии с тематической направленностью национальной нанотехнологической сети и проектов в области нанотехнологий и продукции наноиндустрии, принятых к инвестированию из средств ГК “Роснанотех”.
Учитывая комплексный характер Программы, для целей стандартизации устанавливается обобщенная классификация объектов, включающая внутренние градации нанотехнологий с подвидами для каждого конкретного направления, что обусловливает структуру и содержание ее разделов:
Наноэлектроника и нанофотоника:
материалы наноэлектроники, в том числе: полупроводниковые материалы и наногетероструктуры; нанотрубки и нанопроволоки; нанокомпозиты, молекулы и био-
структуры;
наноэлектронные приборы, в том числе: запоминающие устройства с наноразмерами элементов; логические переключатели с нанопотреблением энергии; нанофотоника; нанофотовольтаика; СВЧ-наносистемы; квантовые процессоры.
Наноинженерия:
наноинженерия в приборостроении и машиностроении;
микро- и наносистемная техника: МЭМС и НЭМС; нанооптика; наносенсоры;
интерфейсы и транспорты наносистем;
технология формирования наноструктур;
комплекс методов контроля наносистем: метрологическое обеспечение; микроскопия; испытания; сертификация.
Функциональные материалы и высокочистые вещества:
наноструктурированные металлы и сплавы с особыми механическими свойствами;
особо чистые металлы и сплавы;
наноструктурированные керамические и композиционные материалы и покрытия;
сенсорные нанокомпозиты;
водородабсорбирующие наноматериалы, интеркаляционные материалы и твердые электролиты;
катализаторы;
особо чистые вещества и порошки.
В Программе имеются и другие разделы: функциональные материалы для энергетики; функциональные материалы для космической нанобиотехнологии; конструкционные наноматериалы; нанотехнологии для систем безопасности.
Следует отметить, что к видам деятельности по развитию и реализации наноиндустрии относится производство наноэлектронных компонентов (наноэлектроника, нанофотоника, нанофотовольтаика и СВЧ-наносистемы) и наносистемной техники (МЭМС, наносенсоры, нанооптика).
Работа конференции завершилась выступлениями победителей конкурса молодых ученых НАНОФОРУМА-2008
и НАНОФОРУМА-2009 по секции “Наноэлектромеханические
системы”.
По решению Оргкомитета конференции наиболее интересные доклады в виде статей будут представлены в журнале “Нано- и микросистемная техника” (2009, № 12).
Теория и моделирование нанотехнологии: самоорганизация в полупроводниковых структурах; квантовые точки и нити, наноразмерные кластеры, образование, разрушение, легирование, в том числе одноатомное; термодинамика образования кластеров и комплексов; кинетика кластеризации и преципитации в неупорядоченных полупроводниковых структурах: кинетика эпитаксиального роста пленок, квантовых нитей и точек.
Нанотрубки и пористые материалы: структура, механические, электронные и магнитные свойства, процессы роста, явления переноса, спектроскопия, люминесценция, комбинационное рассеяние света, приборы на основе квантовых проволок: сенсоры, полевые транзисторы, биосенсоры, тензодатчики, МЭМС.
Наноэлектроника: принципы конструирования нанообъектов, одноэлектронные и однофотонные приборы, приборы с квантовыми ямами, особенности диагностики и контроля качества; влияние процессов разупорядочения.
Наносенсоры: новые материалы, фуллерены и сенсоры на их основе, среды с упорядоченными наноразмерными включениями, датчики давления, вибрации и ускорений.
МЭМС и наноустройства: перемещения, движения, перекачки жидкости, позиционирования.
Биотехнологии, медицина и здравоохранение: биочипы, молекулярные кластеры, сенсоры для биоструктур; наноразмерные объекты в медицине, здравоохранении, других областях науки и техники.
Радиационные материалы: дефектообразование, кластеризация, дислокации, изменение под воздействием излучений механических и электрических свойств полупроводников, полупроводниковых структур и других материалов.
В состав Программного комитета вошли: В.Вернер – Председатель программного комитета, д.ф.-м.н., проф., председатель НТС ТЦ МИЭТ; Ю.Гуляев – акад. РАН, директор-организатор ИНМЭ РАН; О.Косичкин – к.т.н., зам. директора ИНМЭ РАН; В.Кузнецов – д.т.н., директор науки и развития ASM (Голландия); В.Лабунов – акад. НАНБ, гл. научн. сотр., БГУ информатики и радиоэлектроники (Белоруссия); С.Никитов – чл.-кор. РАН, зам. директора ИРЭ РАН; А.Резнёв – д.т.н., проф., директор НИИ ФСБ; А.Сауров – чл.-кор. РАН, директор ТЦ МИЭТ; Ю.Чаплыгин – чл.-кор. РАН, ректор МИЭТ; Н.Шелепин – д.т.н., зам. генерального директора по науке ОАО “НИИМЭ и завод “Микрон”.
Значительный интерес участников вызвало концептуальное выступление Н.Герасименко (“Наноинженерия – воплощение нанотехнологии в реальной продукции”, авторы С.Гаврилов, Н.Герасименко, Б.Рыгалин, С.Тимошенков – МИЭТ).
Докладчик отметил, что практически любое приборное решение с использованием нанотехнологии является достаточно сложным сочетанием различных конструктивных подходов с учетом принципиально новых свойств материалов и элементов, проявляющихся при переходе в наноразмерную область. Это требует решения инженерных задач, связанных с измерением параметров, привлечением новых технологических процессов, необходимости сочетания принципиально новых свойств отдельных компонентов и устройств. Во всех этих случаях речь идет о самостоятельном направлении под общим названием “наноинженерия”, под которой в наиболее лаконичной форме можно понимать систему технических методов и средств создания наносистем, включая наноматериалы, наноустройства и наносистемную технику.
Эти термины применяются в соответствии с определениями, предложенными в Концепции развития в России работ в области нанотехнологий на период до 2010 года, которая была в основном одобрена Правительством РФ 18 ноября 2004 года, а также в Программе развития наноиндустрии в стране до 2015 года (принята 17 января 2008 г.).
Общим направлением наноинженерии следует считать создание приборов и устройств, в состав которых входят компоненты, конструктивные элементы, детали и другие составляющие, построенные на использовании наноструктурных материалов (нанокристаллов, гетероструктур, тонких пленок, пористых материалов) и реализующие принципиально новые свойства, обусловленные переходом в наноразмерную область.
Принципиальная особенность функциональных наносистем – необходимость решения проблем, связанных с сочетанием наноразмерных элементов и применением наноинженерии.
Типичные примеры микро- и наносистемной техники – различные наноустройства и прежде всего НЭМС и МЭМС. В наносистемную технику могут быть, в частности, встроены компоненты, разработанные с использованием квантово-размерных эффектов электронного характера. При этом должны учитываться эффекты, определяющие механические, тепловые, химические свойства не только самих компонентов, но и инженерной (приборной) системы в целом. В этом случае наноинженерия в качестве самостоятельного направления должна базироваться на специфических подходах, связанных как с необходимостью конструктивного сочетания компонентов, так и с потребностью в разработке новых методов расчета и моделирования.
Рабочие параметры НЭМС и МЭМС определяются не только конструкционными особенностями, но и в большой степени зависят от выбора используемых для их создания материалов и технологии. В частности, как ожидается, благодаря повышенной износостойкости, быстродействие микромеханических механизмов (ключей, акселерометров) в скором времени может достигнуть гигагерцевых частот.
Термин «наноинженерия» проиллюстрирован, прежде всего, на примерах, связанных с электронными приборами и системами. Это направление наиболее близко авторам доклада и включает яркие примеры с точки зрения использования новых принципов и критериев, определяющих понятия «наноматериалы», «нанотехнологии». Кроме того, оно свидетельствует о появлении принципиально новых классов приборов и устройств и об их достаточно широком внедрении в современную практику. Прежде всего следует отметить, что микроэлектроника с переходом на проектные нормы 45–65 нм становится наноэлектроникой.
В выступлении отмечено, что Государственной корпорацией “Российская корпорация нанотехнологий” (ГК "Роснанотех") сформирован проект Программы стандартизаций в наноиндустрии по тематическим направлениям, определенным в ФЦП “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008–2010 гг.”. Основа проекта – предложения, представленные техническими комитетами по стандартизации, осуществляющими работы в сфере нанотехнологий, головными организациями отраслей по направлениям развития нанотехнологий в составе национальной нанотехнологической сети, другими организациями, применяющими наноматериалы и нанотехнологии.
Головная организация раздела проекта Программы стандартизации в наноиндустрии по тематическому направлению “Наноинженерия” – МИЭТ. В качестве приоритетных в Программе выбраны задания в соответствии с тематической направленностью национальной нанотехнологической сети и проектов в области нанотехнологий и продукции наноиндустрии, принятых к инвестированию из средств ГК “Роснанотех”.
Учитывая комплексный характер Программы, для целей стандартизации устанавливается обобщенная классификация объектов, включающая внутренние градации нанотехнологий с подвидами для каждого конкретного направления, что обусловливает структуру и содержание ее разделов:
Наноэлектроника и нанофотоника:
материалы наноэлектроники, в том числе: полупроводниковые материалы и наногетероструктуры; нанотрубки и нанопроволоки; нанокомпозиты, молекулы и био-
структуры;
наноэлектронные приборы, в том числе: запоминающие устройства с наноразмерами элементов; логические переключатели с нанопотреблением энергии; нанофотоника; нанофотовольтаика; СВЧ-наносистемы; квантовые процессоры.
Наноинженерия:
наноинженерия в приборостроении и машиностроении;
микро- и наносистемная техника: МЭМС и НЭМС; нанооптика; наносенсоры;
интерфейсы и транспорты наносистем;
технология формирования наноструктур;
комплекс методов контроля наносистем: метрологическое обеспечение; микроскопия; испытания; сертификация.
Функциональные материалы и высокочистые вещества:
наноструктурированные металлы и сплавы с особыми механическими свойствами;
особо чистые металлы и сплавы;
наноструктурированные керамические и композиционные материалы и покрытия;
сенсорные нанокомпозиты;
водородабсорбирующие наноматериалы, интеркаляционные материалы и твердые электролиты;
катализаторы;
особо чистые вещества и порошки.
В Программе имеются и другие разделы: функциональные материалы для энергетики; функциональные материалы для космической нанобиотехнологии; конструкционные наноматериалы; нанотехнологии для систем безопасности.
Следует отметить, что к видам деятельности по развитию и реализации наноиндустрии относится производство наноэлектронных компонентов (наноэлектроника, нанофотоника, нанофотовольтаика и СВЧ-наносистемы) и наносистемной техники (МЭМС, наносенсоры, нанооптика).
Работа конференции завершилась выступлениями победителей конкурса молодых ученых НАНОФОРУМА-2008
и НАНОФОРУМА-2009 по секции “Наноэлектромеханические
системы”.
По решению Оргкомитета конференции наиболее интересные доклады в виде статей будут представлены в журнале “Нано- и микросистемная техника” (2009, № 12).
Отзывы читателей
