eng
Около двух лет назад компания Intertech Corporation (США), более 15 лет успешно представляющая на российском рынке продукцию корпорации ThermoFischer Scientific, стала эксклюзивным дистрибьютором метрологического оборудования американской компании Veeco – мирового лидера в области производства оборудования для исследования поверхности на наноуровне: сканирующих зондовых микроскопов, механических профилометров и интерференционных микроскопов (оптических профилометров).
Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) Veeco ведут свою историю от первого сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) Nanoscope I, выпущенного в продажу в 1987 г. фирмой Digital Instruments, впоследствии вошедшей в состав Veeco.
Специалисты Digital Instruments/Veeco внесли значительный вклад в развитие техники зондовой микроскопии. Ими изобретены и запатентованы режимы прерывистого контакта TappingModeTM (называемого также полуконтактным или резонансным режимом) и режим регистрации фазы PhaseImagingTM, без которых большинство достижений СЗМ было бы невозможно. Последняя запатентованная Veeco разработка – режим торсионного резонанса.
В мире работает более восьми тысяч сканирующих зондовых микроскопов Veeco. Эта продукция ориентирована на широкий круг приложений: материаловедение, изучение и создание полупроводников и полимерных материалов, медико-биологические исследования.
Наиболее универсальный СЗМ Veeco, применяемый во всех областях исследований, – микроскоп самого высокого разрешения MultiMode, до недавнего времени работавший с блоком управляющей электроники Nanoscope IIIa. Этот прибор – своего рода бестселлер. По количеству статей, опубликованных по результатам, полученным на нем, MultiMode намного опережает все остальные СЗМ.
В прошлом году на рынке появилось новое поколение – самый мощный на сегодняшний день контроллер Nanoscope V.
Специально для исследований полупроводниковых материалов разработана серия СЗМ Dimension. Приборы имеют специальный вакуумный держатель для пластин, а также моторизованное и программируемое основание.
На СЗМ Dimension устанавливаются дополнительные электронные модули, при помощи которых реализуются методы сканирующей емкостной микроскопии, микроскопии сопротивления растекания, туннельной атомно-силовой микроскопии.
Для нанолитографии выпускается специальный гибридный сканер с системой датчиков и обратной связи, обеспечивающей высокую степень линеаризации по трем осям, причем для нанолитографии и наноманипуляций разработано специальное программное обеспечение.
Для работы в условиях контролируемой среды выпускается СЗМ Enviroscope, снабженный камерой для создания вакуума (до 10-5 Торр).
Для медико-биологических исследований выпущен атомно-силовой микроскоп принципиально нового дизайна Bioscope II, позволяющий совмещать СЗМ практически со всеми оптическими методиками без ущерба для последних.
CP-P и Caliber — приборы нижней ценовой категории – также отвечают высочайшим стандартам качества и рассчитаны на широкий спектр приложений.
Несмотря на свои преимущества, сканирующие зондовые микроскопы имеют одно ограничение – диапазон менее 150 мкм. Поэтому при необходимости работать на больших полях на помощь экспериментатору приходят профилометры.
Простейший механический профилометр – ближайший родственник граммофона, с той лишь разницей, что сигнал не преобразуется в звуковой, а выводится на дисплей в виде профиля; образец не вращается, а перемещается прямолинейно. Состыковка отдельных профилей с помощью программного обеспечения дает возможность получать 3D изображение поверхности.
Механические профилометры серии Dektak предназначены для измерения шероховатости поверхности, высоты ступенек, планарности и прогиба пластин, деформаций, возникающих при нанесении тонких пленок, контроля качества микросхем и мелкотраншейной изоляции. Автоматизированное и программируемое основание позволяет собирать статистику со множества точек на образце, что в сочетании со специальными вакуумными держателями делает профилометры Dektak незаменимыми для производителей полупроводниковых пластин, микросхем и МЭМС.
Важным преимуществом оптических профилометров (интерференционных микроскопов) является то, что они создают 3D изображение без контакта с исследуемой поверхностью. Это позволяет работать с образцами вне зависимости от жесткости поверхности: мягкими пленками, лакокрасочными покрытиями, смазками, тканями, биологическими объектами. Метод позволяет регистрировать особенности рельефа, начиная от шероховатости нанометрового масштаба до ступенек миллиметровой высоты. Разрешение по нормали к образцу для метода интерферометрии фазового контраста составляет десятые доли нанометра.
Оптические профилометры Wyko NT могут исследовать практически любые образцы с коэффициентом отражения от 1 до 100%. Специально разработанное программное обеспечение позволяет определять толщину толстых (3-25 мкм) и тонких (0,05-3 мкм) полупрозрачных пленок.
Информация о региональных представительствах (Санкт-Петербург, Екатеринбург, Новосибирск, Самара, Казань, Волжский, Киев, Минск):
www.intertech-corp.ru
РОССИЯ
Москва
Тел.: (495) 232-42-25 ; факс: (495) 956-84-79;
e-mail: info@intertech-corp.ru
Красноярск
Тел.: (3912) 58-09-23 ; тел./факс: (3912) 58-09-24
e-mail: sibir@intertech-corp.ru
УКРАИНА
Донецк
Тел: (062) 337-24-56; факс: (062) 337-24-56;
e-mail: intdon@intertechdonetsk.ua
КАЗАХСТАН
Алма-Ата
Тел: (3272) 54-32-28; факс: (3272) 93-51-30;
e-mail: centas@intertech-corp.ru
Специалисты Digital Instruments/Veeco внесли значительный вклад в развитие техники зондовой микроскопии. Ими изобретены и запатентованы режимы прерывистого контакта TappingModeTM (называемого также полуконтактным или резонансным режимом) и режим регистрации фазы PhaseImagingTM, без которых большинство достижений СЗМ было бы невозможно. Последняя запатентованная Veeco разработка – режим торсионного резонанса.
В мире работает более восьми тысяч сканирующих зондовых микроскопов Veeco. Эта продукция ориентирована на широкий круг приложений: материаловедение, изучение и создание полупроводников и полимерных материалов, медико-биологические исследования.
Наиболее универсальный СЗМ Veeco, применяемый во всех областях исследований, – микроскоп самого высокого разрешения MultiMode, до недавнего времени работавший с блоком управляющей электроники Nanoscope IIIa. Этот прибор – своего рода бестселлер. По количеству статей, опубликованных по результатам, полученным на нем, MultiMode намного опережает все остальные СЗМ.
В прошлом году на рынке появилось новое поколение – самый мощный на сегодняшний день контроллер Nanoscope V.
Специально для исследований полупроводниковых материалов разработана серия СЗМ Dimension. Приборы имеют специальный вакуумный держатель для пластин, а также моторизованное и программируемое основание.
На СЗМ Dimension устанавливаются дополнительные электронные модули, при помощи которых реализуются методы сканирующей емкостной микроскопии, микроскопии сопротивления растекания, туннельной атомно-силовой микроскопии.
Для нанолитографии выпускается специальный гибридный сканер с системой датчиков и обратной связи, обеспечивающей высокую степень линеаризации по трем осям, причем для нанолитографии и наноманипуляций разработано специальное программное обеспечение.
Для работы в условиях контролируемой среды выпускается СЗМ Enviroscope, снабженный камерой для создания вакуума (до 10-5 Торр).
Для медико-биологических исследований выпущен атомно-силовой микроскоп принципиально нового дизайна Bioscope II, позволяющий совмещать СЗМ практически со всеми оптическими методиками без ущерба для последних.
CP-P и Caliber — приборы нижней ценовой категории – также отвечают высочайшим стандартам качества и рассчитаны на широкий спектр приложений.
Несмотря на свои преимущества, сканирующие зондовые микроскопы имеют одно ограничение – диапазон менее 150 мкм. Поэтому при необходимости работать на больших полях на помощь экспериментатору приходят профилометры.
Простейший механический профилометр – ближайший родственник граммофона, с той лишь разницей, что сигнал не преобразуется в звуковой, а выводится на дисплей в виде профиля; образец не вращается, а перемещается прямолинейно. Состыковка отдельных профилей с помощью программного обеспечения дает возможность получать 3D изображение поверхности.
Механические профилометры серии Dektak предназначены для измерения шероховатости поверхности, высоты ступенек, планарности и прогиба пластин, деформаций, возникающих при нанесении тонких пленок, контроля качества микросхем и мелкотраншейной изоляции. Автоматизированное и программируемое основание позволяет собирать статистику со множества точек на образце, что в сочетании со специальными вакуумными держателями делает профилометры Dektak незаменимыми для производителей полупроводниковых пластин, микросхем и МЭМС.
Важным преимуществом оптических профилометров (интерференционных микроскопов) является то, что они создают 3D изображение без контакта с исследуемой поверхностью. Это позволяет работать с образцами вне зависимости от жесткости поверхности: мягкими пленками, лакокрасочными покрытиями, смазками, тканями, биологическими объектами. Метод позволяет регистрировать особенности рельефа, начиная от шероховатости нанометрового масштаба до ступенек миллиметровой высоты. Разрешение по нормали к образцу для метода интерферометрии фазового контраста составляет десятые доли нанометра.
Оптические профилометры Wyko NT могут исследовать практически любые образцы с коэффициентом отражения от 1 до 100%. Специально разработанное программное обеспечение позволяет определять толщину толстых (3-25 мкм) и тонких (0,05-3 мкм) полупрозрачных пленок.
Информация о региональных представительствах (Санкт-Петербург, Екатеринбург, Новосибирск, Самара, Казань, Волжский, Киев, Минск):
www.intertech-corp.ru
РОССИЯ
Москва
Тел.: (495) 232-42-25 ; факс: (495) 956-84-79;
e-mail: info@intertech-corp.ru
Красноярск
Тел.: (3912) 58-09-23 ; тел./факс: (3912) 58-09-24
e-mail: sibir@intertech-corp.ru
УКРАИНА
Донецк
Тел: (062) 337-24-56; факс: (062) 337-24-56;
e-mail: intdon@intertechdonetsk.ua
КАЗАХСТАН
Алма-Ата
Тел: (3272) 54-32-28; факс: (3272) 93-51-30;
e-mail: centas@intertech-corp.ru
Отзывы читателей
