eng
Выпуск #1/2012
K.Gogolinskiy, A.Useinov, A.Kuznetsov, V.Reshetov, S.Golubev
Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Просмотры: 4325
В работе обсуждается задача обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне сканирующей зондовой микроскопией (СЗМ) к первичному эталону метра. Описывается сканирующий зондовый микроскоп "НаноСкан-3Di" с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром. Рассмотрены особенности применения сверхострых алмазных наконечников для получения профиля поверхности методами СЗМ в сравнении со стандартными кремниевыми кантилеверами.
Теги: laser interferometer linear displacements measurements measure for height and period metrological support metrological traceability scanning probe microscopy лазерная интерферометрия линейные измерения меры высоты и периода метрологическое обеспечение прослеживаемость сканирующая зондовая микроскопия
При создании метрологического обеспечения измерений в наномасштабе заложены основы эталонной, методической и нормативной базы метрологии и стандартизации в нанотехнологиях [1], однако остался ряд нерешенных проблем для конкретного измерительного оборудования и методик измерений. Пока не существует замкнутой системы метрологического обеспечения измерений линейных размеров от 1 до 1000 нм.
В основе такого обеспечения лежит понятие прослеживаемости, определение которой дано в [2, п.2.41]: "Метрологическая прослеживаемость: свойство результата измерения быть отнесенным к значениям установленных единиц измерения путем непрерывной цепи калибровок, с учетом вкладов каждой из неопределенностей". В рамках Государственной системы обеспечения единства измерений РФ этот параметр определяется поверочными схемами [3], утвержденными ГОСТ или рекомендациями (МИ). Поверочные схемы устанавливают последовательность и способы передачи единицы физической величины от государственного эталона рабочим средствам измерений.
В 2010 году в РФ утвержден Государственный первичный эталон единицы длины – метра ГЭТ 2-2010, рабочий диапазон 1 · 10-9 – 30 м, расширенная неопределенность 1,16 · 10-11. В качестве источника используется He-Ne/I2 лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127. Номинальное значение длины излучения ~0,633 мкм.
Ранее Государственная поверочная схема для средств измерений длины была изложена в рекомендации МИ 2060-90 [4] и распространялась на диапазон от 1 · 10-6 до 50 м. В разработке находится такая схема для средств измерений длины от 1 · 10-9 до 50 м и длин волн от 0,2 до 50 мкм. Пока не утверждены типы средств измерений – рабочих эталонов для передачи размеров единиц длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона средствам измерений. Ниже обсуждаются пути обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне методами зондовой микроскопии.
Различные рельефные меры длины, например, TGZ, МШПС, остаются единственным возможным средством калибровки СЗМ конечных пользователей. Другие решения, в частности, атомные периодические структуры и "динамические меры" не получили широкого применения. Изначально данные о метрологических характеристиках нанометровых линейных мер были связаны с параметрами технологических процессов. Этот подход давал удовлетворительный результат, однако такая калибровка мер, достаточная для большинства научных исследований, не может удовлетворять задачам обеспечения единства измерений для технологических процессов, а также контроля качества и сертификации нанопродукции. Для поверки и калибровки линейных мер необходима привязка их метрологических характеристик к единице длины через длину волны лазерного излучения, которая может быть обеспечена лазерным интерферометром.
На основе нормативной, методической и приборной базы может быть предложена схема передачи единицы длины от эталона метра к рабочим средствам измерения длин в нанодиапазоне (рис.1). Номинальные диапазоны измеряемых значений и неопределенности для каждого звена представленной цепочки должны быть уточнены в процессе испытаний применяемых методик и средств измерений.
По такой схеме с помощью СЗМ Solver PRO (ГРСИ №28666-10) осуществляется поверка мер серий TGZ, TDG, TGQ, TGG и TGT. Обеспечивается прослеживаемость к немецкому национальному эталону PTB #5.15 по базе Международного бюро мер и весов, успешно участвовавшему в ряде международных сличений [5]. Предложенный подход допускается согласно [6]. В то же время калибровка мер конечного пользователя непосредственно на приборе с интерферометрическим контролем перемещений сканера при доступной цене процедуры предпочтительнее с точки зрения минимизации суммарной погрешности конечных измерений. Необходимо сокращение схемы на рис.1 посредством создания и внесения в ГРСИ эталонного СЗМ с интерферометром и прямой калибровки на нем рабочих мер. ТИСНУМ совместно с НИЯУ на базе СЗМ "НаноСкан-3D" [7, 8] создан прибор с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром (рис.2).
Отличие приборов "НаноСкан" от традиционных СЗМ – применение пьезорезонансного датчика-кантилевера камертонной конструкции с высокой изгибной жесткостью консоли (~20 кН/м) [9]. Конструкция зонда позволяет использовать алмазные наконечники разных типов. Перемещение исследуемых объектов осуществляется с помощью трехкоординатного пьезоэлектрического наноманипулятора. Контроль перемещения проводится с помощью интегрированных в него емкостных датчиков [10]. Для расширения спектра методик измерения и получения дополнительной информации об образцах прибор со встроенным интерферометром оснащается оптическим микроскопом с цифровой камерой и модулем СЗМ. Система линейных трансляторов позволяет перемещать различные измерительные головки с точностью до нескольких микрометров и исследовать одну и ту же область образца разными методами.
Интерферометр разработан для измерений в реальном времени и состоит из двух модулей: оптического на раме микроскопа и электронного, вынесенного за пределы термостатирующего и виброизолирующего бокса. Оптические элементы интерферометра собраны на массивной плите (рис.3). Источником излучения служит одночастотный стабилизированный He-Ne–лазер мощностью 1 мВт (длина волны λ = 632,991084 нм, относительная нестабильность оптической частоты за 8 ч работы не более 3 · 10-9). Лазер заключен в алюминиевый радиатор и удален от интерферометра.
Интерферометр (см. рис.3) работает следующим образом. Лазерное излучение, пройдя через расширитель пучка, попадает в акусто – оптический модулятор (АОМ), расщепляющий лазерный пучок на опорный и измерительный и обеспечивающий сдвиг частоты f между ними в интерферометре (f = 36 МГц). Зеркала М1 – М7 делят излучение на шесть пучков, образующих три независимых пространственно ортогональных канала. Поляризация излучений опорного и измерительного плеч согласуется полуволновой фазовой пластинкой ( λ / 2 ) ФП. В качестве отражателей, смещение которых измеряет интерферометр, служат триппель-призмы, жестко закрепленные на пьезоэлектрическом сканере. Это позволяет контролировать его перемещение по трем ортогональных координатам. После смешения оптических полей измерительного и опорного плеч на зеркалах М8 – М10 излучение через коллиматоры вводится в оптоволоконные кабели. Усиленные и прошедшие полосовую фильтрацию сигналы с трех каналов интерферометра подаются на входы разрядных АЦП (частота дискретизации 144 МГц).
В основу обработки сигналов положена квадратурная схема прямого аналого-цифрового преобразования фазомодулированного сигнала с последующей цифровой обработкой информативных отсчетов в программируемой логической интегральной схеме (ПЛИС). Основные характеристики интерферометра и блока электроники:
Диапазон измерений по осям XY,
не менее ±500 мкм
Диапазон измерений по оси Z, не менее ±50 мкм
Разрешение по всем трем осям, не хуже 0,01 нм
Собственные шумы интерферометра
в полосе 1 Гц – 1 кГц, не более 1 нм
Неортогональность осей измерения
перемещений 0,01 рад
Диапазон измеряемых сдвигов фаз ±1 · 104 рад
Разрешение системы измерения
сдвига фазы 1 · 10-4 рад
Временное разрешение измерений 1 мс
Максимальная скорость сканирования 300 мкм/с
Тепловыделение в рабочей области, не более 5 Вт
На измерения линейных размеров существенное влияние оказывают взаимодействие зонда СЗМ с поверхностью и форма острия наконечника. При сканировании кремниевыми кантилеверами адсорбированный вязкий слой, покрывающий любую поверхность на открытом воздухе, может препятствовать проникновению острия в "провалы" тестовой периодической структуры, внося существенную погрешность в измерения. В отличие от традиционных СЗМ, в приборах "НаноСкан" применяются пьезорезонансные зонды с высокой изгибной жесткостью консоли и алмазными наконечниками. Использование режима резонансных колебаний позволяет контролировать контакт острия наконечника зонда с поверхностью по двум параметрам: изменению амплитуды и частоте колебаний зонда. Это дает возможность разделить вязкую и упругую компоненты силы взаимодействия зонда с поверхностью и различать упругую поверхность и вязкое загрязнение на ней, измерять механические свойства поверхностей. Высокая изгибная жесткость консоли зонда позволяет проникать сквозь вязкий слой до контакта с упругой поверхностью. Пример сканирования одного и того же участка линейной меры в режиме постоянных частоты колебаний (жесткий контакт) и амплитуды (вязкий контакт, аналогичный сканированию кремниевым кантилевером) представлены на рис.4.
Алмазные наконечники исключают износ острия, характерный для кремниевых кантилеверов, а чувствительность зонда обеспечивает сканирование поверхности твердых материалов без разрушения. Важным параметром наконечника зонда для сканирования поверхности является форма и эффективный радиус закругления острия. При исследованиях физико-механических свойств поверхности в нанометровом масштабе традиционно применяются алмазные наконечники в форме трехгранной пирамиды с различными углами при вершине. На практике используются два вида алмазных наконечников: пирамида Берковича с углом при вершине 65° и угол куба в 35° (между высотой пирамиды и прилежащей гранью). В СЗМ "НаноСкан" применяются алмазные наконечники с углами при вершине 65, 35 и 20° и эффективными размерами острия в диапазоне 5–100 нм, изготавливаемые из синтетических высокочистых монокристаллов алмаза. Исследование их геометрических параметров осуществляется методами электронной и атомно-силовой микроскопии.
Для демонстрации возможностей разных наконечников при сканировании поверхности использована линейная меры TGZ3 с шагом 3 мкм и высотой ступенек ~500 нм. На рис.5 приведены профили меры, полученные кремниевым кантилевером и с помощью наконечников с разными углами при вершине. Алмазный индентор с углом 20° позволяет измерять размеры различных структур на поверхности с довольно высоким аспектным отношением, что практически не уступает кремниевым кантилеверам.
Исследование метрологических характеристик измерительного комплекса [11] проведено с помощью линейных мер TGZ1, TGZ2, TGZ3, калиброванных в Физико-техническом федеральном институте (Германия) на метрологическом зондовом микроскопе. Сравнение полученных результатов и измерений на СЗМ "НаноСкан-3Di" приведено в таблице. Значения попали в 95%-ный доверительный интервал, приведенный по результатам измерений в Германии. Среднеквадратичное отклонение значений высот ступенек менее 1 нм. Данные о периоде исследованных структур на "НаноСкан-3Di", также совпали с результатами, полученными за рубежом. Рассогласование данных о среднем значении периода решеток не превысило 2 нм.
Результаты калибровки позволяют утверждать, что созданный прибор может быть использован в качестве рабочего эталона для измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне при условии обеспечения его поверки непосредственно от Государственного первичного эталона метра. Разработка и утверждение соответствующей поверочной схемы позволит обеспечить прослеживаемость измерений линейных размеров наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии.
Работа проводилась при поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках госконтрактов № 16.523.12.3003, №16.552.11.7014 и № 14.740.11.0948.
Литература
Тодуа П.А. Метрология и стандартизация в нанотехнологиях. – Наноиндустрия, 2010, №5, с.42–52.
International Vocabulary of Metrology – Basic and General Concepts and Associated Terms VIM, 3rd ed., JCGM 200:2008.
ГОСТ 8.061-80. Государственная система обеспечения единства измерений. Поверочные схемы. Содержание и построение.
МИ 2060-90 Рекомендация. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне
1×10-6 – 50 м и длин волн в диапазоне 0,2–50 мкм.
Голубев С.С., Голубев С.Н. Прослеживаемость результатов измерений в нанометровом диапазоне к единицам Международной системы единиц физических величин. – Измерительная техника, 2010, №11, с.13–17.
Российская Федерация. Федеральный закон от 26 июня 2008 года № 102-ФЗ "Об обеспечении единства измерений".
Гоголинский К.В., Львова Н.А., Усеинов А.С. Применение сканирующих зондовых микроскопов и нанотвердомеров для изучения механических свойств твердых материалов на наноуровне. – Заводская лаборатория, 2007, т.73, №6, с.28–36.
Усеинов C., Соловьев В., Гоголинский К., Усеинов А., Львова Н. Измерение механических свойств материалов с нанометровым пространственным разрешением. – Наноиндустрия, 2010, №2 с.30–35.
Баранова Е.О., Круглов Е.В., Решетов В.Н., Гоголинский К.В. Расчет напряженно-деформированного состояния зонда при статических измерениях СЗМ "НаноСкан". – Датчики и системы, март 2010, №3 (130), с.49–52.
Мещеряков В.В., Мещеряков А.В. Измерительные схемы для емкостных датчиков систем нанопозиционирования сканирующих зондовых микроскопов. – Датчики и системы, март 2010, №3 (130) с.46–48.
Соловьев В.В., Лысенко В.Г., Гоголинский К.В., Иванникова Н.В. и др. Метрологический комплекс для измерения параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне. – Законодательная и прикладная метрология, 2010, №5, с.30-37.
В основе такого обеспечения лежит понятие прослеживаемости, определение которой дано в [2, п.2.41]: "Метрологическая прослеживаемость: свойство результата измерения быть отнесенным к значениям установленных единиц измерения путем непрерывной цепи калибровок, с учетом вкладов каждой из неопределенностей". В рамках Государственной системы обеспечения единства измерений РФ этот параметр определяется поверочными схемами [3], утвержденными ГОСТ или рекомендациями (МИ). Поверочные схемы устанавливают последовательность и способы передачи единицы физической величины от государственного эталона рабочим средствам измерений.
В 2010 году в РФ утвержден Государственный первичный эталон единицы длины – метра ГЭТ 2-2010, рабочий диапазон 1 · 10-9 – 30 м, расширенная неопределенность 1,16 · 10-11. В качестве источника используется He-Ne/I2 лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127. Номинальное значение длины излучения ~0,633 мкм.
Ранее Государственная поверочная схема для средств измерений длины была изложена в рекомендации МИ 2060-90 [4] и распространялась на диапазон от 1 · 10-6 до 50 м. В разработке находится такая схема для средств измерений длины от 1 · 10-9 до 50 м и длин волн от 0,2 до 50 мкм. Пока не утверждены типы средств измерений – рабочих эталонов для передачи размеров единиц длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона средствам измерений. Ниже обсуждаются пути обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне методами зондовой микроскопии.
Различные рельефные меры длины, например, TGZ, МШПС, остаются единственным возможным средством калибровки СЗМ конечных пользователей. Другие решения, в частности, атомные периодические структуры и "динамические меры" не получили широкого применения. Изначально данные о метрологических характеристиках нанометровых линейных мер были связаны с параметрами технологических процессов. Этот подход давал удовлетворительный результат, однако такая калибровка мер, достаточная для большинства научных исследований, не может удовлетворять задачам обеспечения единства измерений для технологических процессов, а также контроля качества и сертификации нанопродукции. Для поверки и калибровки линейных мер необходима привязка их метрологических характеристик к единице длины через длину волны лазерного излучения, которая может быть обеспечена лазерным интерферометром.
На основе нормативной, методической и приборной базы может быть предложена схема передачи единицы длины от эталона метра к рабочим средствам измерения длин в нанодиапазоне (рис.1). Номинальные диапазоны измеряемых значений и неопределенности для каждого звена представленной цепочки должны быть уточнены в процессе испытаний применяемых методик и средств измерений.
По такой схеме с помощью СЗМ Solver PRO (ГРСИ №28666-10) осуществляется поверка мер серий TGZ, TDG, TGQ, TGG и TGT. Обеспечивается прослеживаемость к немецкому национальному эталону PTB #5.15 по базе Международного бюро мер и весов, успешно участвовавшему в ряде международных сличений [5]. Предложенный подход допускается согласно [6]. В то же время калибровка мер конечного пользователя непосредственно на приборе с интерферометрическим контролем перемещений сканера при доступной цене процедуры предпочтительнее с точки зрения минимизации суммарной погрешности конечных измерений. Необходимо сокращение схемы на рис.1 посредством создания и внесения в ГРСИ эталонного СЗМ с интерферометром и прямой калибровки на нем рабочих мер. ТИСНУМ совместно с НИЯУ на базе СЗМ "НаноСкан-3D" [7, 8] создан прибор с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром (рис.2).
Отличие приборов "НаноСкан" от традиционных СЗМ – применение пьезорезонансного датчика-кантилевера камертонной конструкции с высокой изгибной жесткостью консоли (~20 кН/м) [9]. Конструкция зонда позволяет использовать алмазные наконечники разных типов. Перемещение исследуемых объектов осуществляется с помощью трехкоординатного пьезоэлектрического наноманипулятора. Контроль перемещения проводится с помощью интегрированных в него емкостных датчиков [10]. Для расширения спектра методик измерения и получения дополнительной информации об образцах прибор со встроенным интерферометром оснащается оптическим микроскопом с цифровой камерой и модулем СЗМ. Система линейных трансляторов позволяет перемещать различные измерительные головки с точностью до нескольких микрометров и исследовать одну и ту же область образца разными методами.
Интерферометр разработан для измерений в реальном времени и состоит из двух модулей: оптического на раме микроскопа и электронного, вынесенного за пределы термостатирующего и виброизолирующего бокса. Оптические элементы интерферометра собраны на массивной плите (рис.3). Источником излучения служит одночастотный стабилизированный He-Ne–лазер мощностью 1 мВт (длина волны λ = 632,991084 нм, относительная нестабильность оптической частоты за 8 ч работы не более 3 · 10-9). Лазер заключен в алюминиевый радиатор и удален от интерферометра.
Интерферометр (см. рис.3) работает следующим образом. Лазерное излучение, пройдя через расширитель пучка, попадает в акусто – оптический модулятор (АОМ), расщепляющий лазерный пучок на опорный и измерительный и обеспечивающий сдвиг частоты f между ними в интерферометре (f = 36 МГц). Зеркала М1 – М7 делят излучение на шесть пучков, образующих три независимых пространственно ортогональных канала. Поляризация излучений опорного и измерительного плеч согласуется полуволновой фазовой пластинкой ( λ / 2 ) ФП. В качестве отражателей, смещение которых измеряет интерферометр, служат триппель-призмы, жестко закрепленные на пьезоэлектрическом сканере. Это позволяет контролировать его перемещение по трем ортогональных координатам. После смешения оптических полей измерительного и опорного плеч на зеркалах М8 – М10 излучение через коллиматоры вводится в оптоволоконные кабели. Усиленные и прошедшие полосовую фильтрацию сигналы с трех каналов интерферометра подаются на входы разрядных АЦП (частота дискретизации 144 МГц).
В основу обработки сигналов положена квадратурная схема прямого аналого-цифрового преобразования фазомодулированного сигнала с последующей цифровой обработкой информативных отсчетов в программируемой логической интегральной схеме (ПЛИС). Основные характеристики интерферометра и блока электроники:
Диапазон измерений по осям XY,
не менее ±500 мкм
Диапазон измерений по оси Z, не менее ±50 мкм
Разрешение по всем трем осям, не хуже 0,01 нм
Собственные шумы интерферометра
в полосе 1 Гц – 1 кГц, не более 1 нм
Неортогональность осей измерения
перемещений 0,01 рад
Диапазон измеряемых сдвигов фаз ±1 · 104 рад
Разрешение системы измерения
сдвига фазы 1 · 10-4 рад
Временное разрешение измерений 1 мс
Максимальная скорость сканирования 300 мкм/с
Тепловыделение в рабочей области, не более 5 Вт
На измерения линейных размеров существенное влияние оказывают взаимодействие зонда СЗМ с поверхностью и форма острия наконечника. При сканировании кремниевыми кантилеверами адсорбированный вязкий слой, покрывающий любую поверхность на открытом воздухе, может препятствовать проникновению острия в "провалы" тестовой периодической структуры, внося существенную погрешность в измерения. В отличие от традиционных СЗМ, в приборах "НаноСкан" применяются пьезорезонансные зонды с высокой изгибной жесткостью консоли и алмазными наконечниками. Использование режима резонансных колебаний позволяет контролировать контакт острия наконечника зонда с поверхностью по двум параметрам: изменению амплитуды и частоте колебаний зонда. Это дает возможность разделить вязкую и упругую компоненты силы взаимодействия зонда с поверхностью и различать упругую поверхность и вязкое загрязнение на ней, измерять механические свойства поверхностей. Высокая изгибная жесткость консоли зонда позволяет проникать сквозь вязкий слой до контакта с упругой поверхностью. Пример сканирования одного и того же участка линейной меры в режиме постоянных частоты колебаний (жесткий контакт) и амплитуды (вязкий контакт, аналогичный сканированию кремниевым кантилевером) представлены на рис.4.
Алмазные наконечники исключают износ острия, характерный для кремниевых кантилеверов, а чувствительность зонда обеспечивает сканирование поверхности твердых материалов без разрушения. Важным параметром наконечника зонда для сканирования поверхности является форма и эффективный радиус закругления острия. При исследованиях физико-механических свойств поверхности в нанометровом масштабе традиционно применяются алмазные наконечники в форме трехгранной пирамиды с различными углами при вершине. На практике используются два вида алмазных наконечников: пирамида Берковича с углом при вершине 65° и угол куба в 35° (между высотой пирамиды и прилежащей гранью). В СЗМ "НаноСкан" применяются алмазные наконечники с углами при вершине 65, 35 и 20° и эффективными размерами острия в диапазоне 5–100 нм, изготавливаемые из синтетических высокочистых монокристаллов алмаза. Исследование их геометрических параметров осуществляется методами электронной и атомно-силовой микроскопии.
Для демонстрации возможностей разных наконечников при сканировании поверхности использована линейная меры TGZ3 с шагом 3 мкм и высотой ступенек ~500 нм. На рис.5 приведены профили меры, полученные кремниевым кантилевером и с помощью наконечников с разными углами при вершине. Алмазный индентор с углом 20° позволяет измерять размеры различных структур на поверхности с довольно высоким аспектным отношением, что практически не уступает кремниевым кантилеверам.
Исследование метрологических характеристик измерительного комплекса [11] проведено с помощью линейных мер TGZ1, TGZ2, TGZ3, калиброванных в Физико-техническом федеральном институте (Германия) на метрологическом зондовом микроскопе. Сравнение полученных результатов и измерений на СЗМ "НаноСкан-3Di" приведено в таблице. Значения попали в 95%-ный доверительный интервал, приведенный по результатам измерений в Германии. Среднеквадратичное отклонение значений высот ступенек менее 1 нм. Данные о периоде исследованных структур на "НаноСкан-3Di", также совпали с результатами, полученными за рубежом. Рассогласование данных о среднем значении периода решеток не превысило 2 нм.
Результаты калибровки позволяют утверждать, что созданный прибор может быть использован в качестве рабочего эталона для измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне при условии обеспечения его поверки непосредственно от Государственного первичного эталона метра. Разработка и утверждение соответствующей поверочной схемы позволит обеспечить прослеживаемость измерений линейных размеров наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии.
Работа проводилась при поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках госконтрактов № 16.523.12.3003, №16.552.11.7014 и № 14.740.11.0948.
Литература
Тодуа П.А. Метрология и стандартизация в нанотехнологиях. – Наноиндустрия, 2010, №5, с.42–52.
International Vocabulary of Metrology – Basic and General Concepts and Associated Terms VIM, 3rd ed., JCGM 200:2008.
ГОСТ 8.061-80. Государственная система обеспечения единства измерений. Поверочные схемы. Содержание и построение.
МИ 2060-90 Рекомендация. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне
1×10-6 – 50 м и длин волн в диапазоне 0,2–50 мкм.
Голубев С.С., Голубев С.Н. Прослеживаемость результатов измерений в нанометровом диапазоне к единицам Международной системы единиц физических величин. – Измерительная техника, 2010, №11, с.13–17.
Российская Федерация. Федеральный закон от 26 июня 2008 года № 102-ФЗ "Об обеспечении единства измерений".
Гоголинский К.В., Львова Н.А., Усеинов А.С. Применение сканирующих зондовых микроскопов и нанотвердомеров для изучения механических свойств твердых материалов на наноуровне. – Заводская лаборатория, 2007, т.73, №6, с.28–36.
Усеинов C., Соловьев В., Гоголинский К., Усеинов А., Львова Н. Измерение механических свойств материалов с нанометровым пространственным разрешением. – Наноиндустрия, 2010, №2 с.30–35.
Баранова Е.О., Круглов Е.В., Решетов В.Н., Гоголинский К.В. Расчет напряженно-деформированного состояния зонда при статических измерениях СЗМ "НаноСкан". – Датчики и системы, март 2010, №3 (130), с.49–52.
Мещеряков В.В., Мещеряков А.В. Измерительные схемы для емкостных датчиков систем нанопозиционирования сканирующих зондовых микроскопов. – Датчики и системы, март 2010, №3 (130) с.46–48.
Соловьев В.В., Лысенко В.Г., Гоголинский К.В., Иванникова Н.В. и др. Метрологический комплекс для измерения параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне. – Законодательная и прикладная метрология, 2010, №5, с.30-37.
Отзывы читателей
