eng
Выпуск #7/2013
А.Усеинов, К.Кравчук, И.Маслеников
Индентирование. Измерение твердости и трещиностойкости покрытий
Индентирование. Измерение твердости и трещиностойкости покрытий
Просмотры: 5204
Свойства алмазоподобных пленок углерода – эпитаксиальных слоев микро- и нанокристаллического алмаза, а также аморфных пленок углерода зависят от состава и структуры и могут изменяться в широких пределах. Алмазоподобные углеродные покрытия обладают рядом уникальных свойств: высокой твердостью и износостойкостью, низким коэффициентом трения, коррозионной стойкостью. Интерес к гетероструктурам алмазоподобных пленок углерода обусловлен перспективами использования их в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. В статье рассматриваются способы определения механических характеристик тонкопленочных покрытий с применением индентирования и склерометрии. Выполнено сравнение адекватности различных моделей для оценки результатов измерений.
Теги: diamond-like carbon indentation sclerometry thin film coating алмазоподобные углероды индентирование склерометрия тонкопленочное покрытие
Свойства алмазоподобных пленок углерода – эпитаксиальных слоев микро- и нанокристаллического алмаза, а также аморфных пленок углерода зависят от состава и структуры и могут изменяться в широких пределах. Алмазоподобные углеродные (АПУ) покрытия с высоким содержанием sp3-связанного углерода обладают высокой твердостью и износостойкостью, низким коэффициентом трения, коррозионной стойкостью [1].
Интерес к гетероструктурам АПП углерода обусловлен их перспективами в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. Исследования показывают, что коэффициент трения, твердость и величина внутреннего механического напряжения в них зависят от условий осаждения, толщины пленки, материала подложки. Ведутся работы по улучшению контроля эксплуатационных свойств покрытий [2].
Существует множество способов изучения разрушения и трещиностойкости покрытий. В качестве меры сопротивления хрупкому разрушению используется критический коэффициент интенсивности напряжения KC – "вязкость разрушения" или трещиностойкость [3]. Вязкость разрушения – один из важнейших параметров покрытия, определяющий его износостойкость [4, 5]. Распространенный способ изучения хрупкости – разрушение материала при вдавливании твердого наконечника, способного вызвать появление трещин нескольких разновидностей.
Другая важнейшая характеристика механических свойств АПУ-покрытий – их твердость. Наиболее распространенный метод ее определения – измерительное индентирование, положенное в основу стандарта ISO 14577. Основная проблема псостоит в исключении влияния подложки на механические свойства тонких покрытий. Предложены многочисленные способы и математические модели, обеспечивающие различные подходы при использовании измерительного индентирования для разделения вкладов пленки и подложки в результирующие значения твердости и модуля упругости.
Авторами систематизированы подходы и модели оценки вязкости разрушения, определены твердость и модуль упругости покрытий с использованием различных методов, проведены измерения с применением индентирования и склерометрии, а также дано сравнение численных значений, получаемых с помощью распространенных моделей.
В качестве объекта было выбрано DLC-покрытие толщиной около 200 нм, полученное фильтрованным пульсирующим дуговым разрядом (FPAD) [6] на кремниевой подложке. Работа выполнена с использованием разработанного в ТИСНУМ сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-3D" [7, 8]. Этот многофункциональный измерительный комплекс позволяет исследовать механические свойства поверхностей измерительным индентированием, микроиндентированием, склерометрией, силовой спектроскопией; проводить испытания на износ; получать изображение рельефа поверхности в режиме сканирующей зондовой микроскопии.
Вязкость разрушения
Существует более 30 формул, связывающих KC с нагрузкой и длиной образующихся трещин [9]. Наиболее активно развиваются методы определения KC тонких покрытий [10].
При вдавливании индентора на небольшую глубину образуются радиальные или полудисковые (полупенсовые) трещины вдоль ребер индентора (формулы 1–4, табл.1) [11–14]. При увеличении нагрузки покрытие отслаивается от подложки, и образуются канальные трещины, приводящие к разрушению подложки с ее отрывом [19] (рис.1с, формулы 5 и 6, табл.1). При отслоении покрытия в расчете трещиностойкости используется энергия отрыва при образовании кольцевой трещины, определенная из кривой нагрузка–разгрузка (рис.1b) [10]. Трещиностойкость материала можно определить при царапании. Пороговая ширина царапины, при достижении которой разрушение материала меняется с пластического на хрупкое, зависит от KC [17, 18] (формула 7, табл.1).
Измерения вязкости разрушения проводились с применением пирамидальных алмазных инденторов типа "угол куба". Вдавливание осуществлялось в диапазоне нагрузок до 300 мН (до достижения различного типа разрушения покрытия).
Расчет KC приведен в табл.1. Большой разброс значений обусловлен случайным характером разрушения, поэтому расчет KC требует статистической обработки данных. Определение KC по радиальным и полупенсовым трещинам возможно при условии, что их длина меньше, чем толщина покрытия. Короткие трещины могут быть получены с помощью острых инденторов, которые позволяют создать трещину при внедрении в материал на небольшую глубину. Следует принять во внимание, что использование острых инденторов при испытании сверхтвердых (H>20 ГПа) покрытий сопряжено с высокой вероятностью разрушения острия наконечника. Оценка трещиностойкости по канальным трещинам требует точного определения толщины покрытия. При откалывании покрытия по кольцевой трещине необходимо измерение его толщины и определение энергии образования скола из кривой нагрузка–разгрузка.
Твердость
При определении механических свойств слоистых структур методами измерения объемных материалов, твердость и модуль упругости представляют собой характеристику системы в целом и лишь в определенных случаях соответствуют таковым для материала покрытия или подложки. Так, при измерении механических свойств измерительным наноиндентированием с увеличивающейся нагрузкой зависимость плавно переходит от упругости и твердости покрытия к таковым для подложки.
Зависимость существенно отличается для систем с различным отношением твердости и модуля упругости пленки и подложки. В случае мягкого покрытия на твердой подложке пластическая деформация будет происходить только в пленке практически до начала проникновения индентора в подложку, а значит, и измеряемая твердость не будет меняться. В то же время модуль упругости (Юнга) будет иметь различные значения во всем диапазоне глубин индентирования. Данные особенности определяют правила аппроксимации эксперимента для оценки механических свойств покрытий. Рекомендации, наряду с требованиями к измерениям, обусловленными такими характеристиками материала, как трещиностойкость, представлены в [20].
Существует ряд моделей, описывающих поведение слоистых структур при вдавливании индентора, которые позволяют получить численные значения механических свойств покрытия. Соответствующий обзор можно найти в [21]. Еще в 1984 году предложена модель [22], в которой твердость системы H рассматривалась в виде суммы двух слагаемых, учитывающих относительную площадь поверхности пленки Af/A, на которую действует давление, равное твердости пленки Hf, а также слагаемое с аналогичными параметрами для подложки. В дальнейшем предложена модель [23], учитывающая относительные величины объемов пленки и подложки, в которых давление равно твердостям материалов. Эта модель модифицирована в [24, 25]. Отмечено [26], что первая из моделей при аппроксимации результатов дает плохое соответствие в области глубин, где существенно влияют параметры покрытия или подложки, а вторая модель чувствительна к качеству полученных данных. В результате предложена модель:
где представляет собой отношение глубины индентирования к толщине пленки. Коэффициент k зависит от характера деформации пленки (образование трещин или пластическая деформация).
Существуют эмпирические зависимости [27] для измерения мягкой пленки на твердой подложке:
и для твердой пленки на пластичной подложке:
Аналогичная зависимость предложена и для измерений модуля упругости [28]:
Соотношение является эмпирическим и определено на основе численного эксперимента. Оно выведено для идеального индентора, поэтому глубину h следует заменить эффективной величиной
где A – площадь контакта, соответствующая этой глубине.
Для экспериментальной проверки проведено исследование двух покрытий: АПУ на кремнии (Si) и платины (Pt) на Si. Данные пары моделируют измерения твердой и жесткой пленки на пластичной и мягкой подложке (DLC на Si) и обратный случай (Pt на Si).
Измерения проводились с помощью сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-3D". Прибор позволяет проводить испытания по отслаиванию пленок, измерять толщину покрытия по СЗМ-изображению поверхности в области отслоения, выполнять индентирование в интересующую область образца с высокой степенью локальности (рис.2,3). Рис.4,5 показывают зависимости твердости от глубины индентирования для двух исследуемых систем.
В область аппроксимации данных по ISO попадает небольшое количество точек, и, согласно табл.1, ошибка при измерении данных по стандарту оказывается больше, чем ошибка при измерении твердости покрытия согласно модели [26]. В то же время модель [27], дающая наибольший разброс значений твердого покрытия на пластичной подложке (уравнение 10), обеспечивает наиболее точный результат в случае пластичного покрытия на твердой подложке (уравнение 9). Экспоненциальная зависимость (11) модуля упругости от глубины индентирования дает больший разброс, чем аналогичное измерение в случае мякого покрытия на твердой подложке и в противоположном случае (табл.2).
Зависимости твердости и модуля упругости от контактной глубины представлены на рис.6, 7. Экспериментальные результаты обработаны с использованием зависимостей 8–11. Механические параметры покрытий вычислены по стандарту ISO 14577. Следуя инструкциям, данные твердости и модуля упругости представлены в зависимости от отношения контактного радиуса к толщине пленки. Дополнительно показана ось абсцисс, по которой отложена контактная глубина. При маленьких глубинах изменение глубины перестает быть пропорциональным изменению площади, что обусловлено отличием формы индентора от идеальной.
Таким образом, корректное измерение твердости и модуля упругости покрытий возможно при использовании достаточно точного оборудования, позволяющего выполнять индентирование на глубинах меньших толщины пленки. Использование специальных моделей и стандартов, которые могут давать взаимодополняющие результаты, позволяет увеличить точность измерения.
Исследование подтвердило, что миниатюризация изделий и применение тонкопленочных материалов приводят к сложности оценки свойств отдельных элементов изделий. Даже современное высокоточное оборудование не всегда позволяет проводить испытания в полном соответствии со стандартами. Данная проблема часто решается с помощью нескольких методов с учетом влияния внешних факторов для каждого испытания. Весьма полезен аналитический анализ экспери-
ментальных данных с применением моделирования. Подбор адекватной модели для системы позволяет получать адекватную оценку при высоком статистическом разбросе данных.
Литература
1.Asakawa R., Nagashima S., Nakamura Y., et al. Surface & Coating Technology, 2011, 206, p. 676–685.
2.Тарала В.А., Синельников Б.М. Неорганические материалы, 2012, т.48, №9, с. 1011–1016.
3.Головин Ю.И. Наноиндентирование и его возможности. М.: Машиностроеине, 2009.
4.Kodali P., Walter K.C., Nastasi M.Tribology International , 1997, Vol.30, No.8, p. 591–598.
5.Gargos M. N., Hardisty R.G. Tribology Transactions, 1993, Vol. 36, No.4, pp. 652–660.
6.Antilla, A., Tiainen, V. M., Kiuru, M. et al. Surface Engineering, 2003, 19, p. 425–428.
7.Useinov A.S., Useinov S.S. Philosophical Magazine, 2012, Vol.92, No.25–27, pp.3188–3198.
8.Useinov A., Gogolinskiy K. and Reshetov V. International J. of Mater. Research, 2009, Vol.2009, No.7, p.968–972.
9.Michel M.D., Muhlen L.V., Achete C.A., Lepienski C.M. Thin Solid Film, 2006, 496, p. 481–488.
10.Jungk J.M., Boyce B.L., Buchheit T.E. et al. Acta Materialia, 2006, 54, p. 4043–4052.
11.Lawn B.R., Evans A.G. and Marshall D.B. J. Am. Ceram. Soc., 1980, 63, p.574.
12.Jang Jae-il, Pharr G.M. Acta Materialia, 2008, 56, p. 4458–44469.
13.Niihara K. J. Mater. Sci. Lett., 1983, 2, p.221.
14.Lauger M.T. J. Mater. Sci. Lett., 1987, 6, p. 355–356.
15.Thurn J., Cook R.F. J. Mater. Sci., 2004, 39, p. 4809–4819,
16.Jungk J.M. et al. Acta Materialia, 2006, 54, p. 4043–4052.
17.Сошников А.И., Львова Н.А., Гоголин-
ский В.К., Кулибаба В.Ф. Нанотехника, 2006, №1, с. 64–67.
18.Williams J.A. Tribology International, 1996, Vol.29, No.8, p. 675_694.
19.Xiaodong Li, Dongfeng D., Bhushan B. Acta Materialia, 1997, Vol.45, No.11, p. 4453–4461.
20.ISO 14577–4 Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters. Part 4: Test method for metallic and non-metallic coatings.
21.Fischer-Cripps A.C. Nanoindentation. New York: Springer-Verlag, 2011.
22.Jönsson B., Hogmark S. Thin Solid Films, 1984, Vol.4, p. 257–269.
23.Sargent P.M. Astm Spec. Tech. Publ. Philadelphia, PA, 1986, p. 160–174.
24.Burnett P., Rickerby D. Thin Solid Films. 1987.
25.Rickerby D., Bull S. Surf. Coatings Technol. 1989.
26.Korsunsky A. et al. Surf. Coatings, 1998, Vol.99, p. 171–183.
27.Bhattacharya A., Nix W. Int. J. Solids Struct., 1988.
28.Doerner M., Nix W. J. Mater. Res., 1986.
* Технологический институт сверхтвердых
и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Троицк
Интерес к гетероструктурам АПП углерода обусловлен их перспективами в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. Исследования показывают, что коэффициент трения, твердость и величина внутреннего механического напряжения в них зависят от условий осаждения, толщины пленки, материала подложки. Ведутся работы по улучшению контроля эксплуатационных свойств покрытий [2].
Существует множество способов изучения разрушения и трещиностойкости покрытий. В качестве меры сопротивления хрупкому разрушению используется критический коэффициент интенсивности напряжения KC – "вязкость разрушения" или трещиностойкость [3]. Вязкость разрушения – один из важнейших параметров покрытия, определяющий его износостойкость [4, 5]. Распространенный способ изучения хрупкости – разрушение материала при вдавливании твердого наконечника, способного вызвать появление трещин нескольких разновидностей.
Другая важнейшая характеристика механических свойств АПУ-покрытий – их твердость. Наиболее распространенный метод ее определения – измерительное индентирование, положенное в основу стандарта ISO 14577. Основная проблема псостоит в исключении влияния подложки на механические свойства тонких покрытий. Предложены многочисленные способы и математические модели, обеспечивающие различные подходы при использовании измерительного индентирования для разделения вкладов пленки и подложки в результирующие значения твердости и модуля упругости.
Авторами систематизированы подходы и модели оценки вязкости разрушения, определены твердость и модуль упругости покрытий с использованием различных методов, проведены измерения с применением индентирования и склерометрии, а также дано сравнение численных значений, получаемых с помощью распространенных моделей.
В качестве объекта было выбрано DLC-покрытие толщиной около 200 нм, полученное фильтрованным пульсирующим дуговым разрядом (FPAD) [6] на кремниевой подложке. Работа выполнена с использованием разработанного в ТИСНУМ сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-3D" [7, 8]. Этот многофункциональный измерительный комплекс позволяет исследовать механические свойства поверхностей измерительным индентированием, микроиндентированием, склерометрией, силовой спектроскопией; проводить испытания на износ; получать изображение рельефа поверхности в режиме сканирующей зондовой микроскопии.
Вязкость разрушения
Существует более 30 формул, связывающих KC с нагрузкой и длиной образующихся трещин [9]. Наиболее активно развиваются методы определения KC тонких покрытий [10].
При вдавливании индентора на небольшую глубину образуются радиальные или полудисковые (полупенсовые) трещины вдоль ребер индентора (формулы 1–4, табл.1) [11–14]. При увеличении нагрузки покрытие отслаивается от подложки, и образуются канальные трещины, приводящие к разрушению подложки с ее отрывом [19] (рис.1с, формулы 5 и 6, табл.1). При отслоении покрытия в расчете трещиностойкости используется энергия отрыва при образовании кольцевой трещины, определенная из кривой нагрузка–разгрузка (рис.1b) [10]. Трещиностойкость материала можно определить при царапании. Пороговая ширина царапины, при достижении которой разрушение материала меняется с пластического на хрупкое, зависит от KC [17, 18] (формула 7, табл.1).
Измерения вязкости разрушения проводились с применением пирамидальных алмазных инденторов типа "угол куба". Вдавливание осуществлялось в диапазоне нагрузок до 300 мН (до достижения различного типа разрушения покрытия).
Расчет KC приведен в табл.1. Большой разброс значений обусловлен случайным характером разрушения, поэтому расчет KC требует статистической обработки данных. Определение KC по радиальным и полупенсовым трещинам возможно при условии, что их длина меньше, чем толщина покрытия. Короткие трещины могут быть получены с помощью острых инденторов, которые позволяют создать трещину при внедрении в материал на небольшую глубину. Следует принять во внимание, что использование острых инденторов при испытании сверхтвердых (H>20 ГПа) покрытий сопряжено с высокой вероятностью разрушения острия наконечника. Оценка трещиностойкости по канальным трещинам требует точного определения толщины покрытия. При откалывании покрытия по кольцевой трещине необходимо измерение его толщины и определение энергии образования скола из кривой нагрузка–разгрузка.
Твердость
При определении механических свойств слоистых структур методами измерения объемных материалов, твердость и модуль упругости представляют собой характеристику системы в целом и лишь в определенных случаях соответствуют таковым для материала покрытия или подложки. Так, при измерении механических свойств измерительным наноиндентированием с увеличивающейся нагрузкой зависимость плавно переходит от упругости и твердости покрытия к таковым для подложки.
Зависимость существенно отличается для систем с различным отношением твердости и модуля упругости пленки и подложки. В случае мягкого покрытия на твердой подложке пластическая деформация будет происходить только в пленке практически до начала проникновения индентора в подложку, а значит, и измеряемая твердость не будет меняться. В то же время модуль упругости (Юнга) будет иметь различные значения во всем диапазоне глубин индентирования. Данные особенности определяют правила аппроксимации эксперимента для оценки механических свойств покрытий. Рекомендации, наряду с требованиями к измерениям, обусловленными такими характеристиками материала, как трещиностойкость, представлены в [20].
Существует ряд моделей, описывающих поведение слоистых структур при вдавливании индентора, которые позволяют получить численные значения механических свойств покрытия. Соответствующий обзор можно найти в [21]. Еще в 1984 году предложена модель [22], в которой твердость системы H рассматривалась в виде суммы двух слагаемых, учитывающих относительную площадь поверхности пленки Af/A, на которую действует давление, равное твердости пленки Hf, а также слагаемое с аналогичными параметрами для подложки. В дальнейшем предложена модель [23], учитывающая относительные величины объемов пленки и подложки, в которых давление равно твердостям материалов. Эта модель модифицирована в [24, 25]. Отмечено [26], что первая из моделей при аппроксимации результатов дает плохое соответствие в области глубин, где существенно влияют параметры покрытия или подложки, а вторая модель чувствительна к качеству полученных данных. В результате предложена модель:
где представляет собой отношение глубины индентирования к толщине пленки. Коэффициент k зависит от характера деформации пленки (образование трещин или пластическая деформация).
Существуют эмпирические зависимости [27] для измерения мягкой пленки на твердой подложке:
и для твердой пленки на пластичной подложке:
Аналогичная зависимость предложена и для измерений модуля упругости [28]:
Соотношение является эмпирическим и определено на основе численного эксперимента. Оно выведено для идеального индентора, поэтому глубину h следует заменить эффективной величиной
где A – площадь контакта, соответствующая этой глубине.
Для экспериментальной проверки проведено исследование двух покрытий: АПУ на кремнии (Si) и платины (Pt) на Si. Данные пары моделируют измерения твердой и жесткой пленки на пластичной и мягкой подложке (DLC на Si) и обратный случай (Pt на Si).
Измерения проводились с помощью сканирующего нанотвердомера "НаноСкан-3D". Прибор позволяет проводить испытания по отслаиванию пленок, измерять толщину покрытия по СЗМ-изображению поверхности в области отслоения, выполнять индентирование в интересующую область образца с высокой степенью локальности (рис.2,3). Рис.4,5 показывают зависимости твердости от глубины индентирования для двух исследуемых систем.
В область аппроксимации данных по ISO попадает небольшое количество точек, и, согласно табл.1, ошибка при измерении данных по стандарту оказывается больше, чем ошибка при измерении твердости покрытия согласно модели [26]. В то же время модель [27], дающая наибольший разброс значений твердого покрытия на пластичной подложке (уравнение 10), обеспечивает наиболее точный результат в случае пластичного покрытия на твердой подложке (уравнение 9). Экспоненциальная зависимость (11) модуля упругости от глубины индентирования дает больший разброс, чем аналогичное измерение в случае мякого покрытия на твердой подложке и в противоположном случае (табл.2).
Зависимости твердости и модуля упругости от контактной глубины представлены на рис.6, 7. Экспериментальные результаты обработаны с использованием зависимостей 8–11. Механические параметры покрытий вычислены по стандарту ISO 14577. Следуя инструкциям, данные твердости и модуля упругости представлены в зависимости от отношения контактного радиуса к толщине пленки. Дополнительно показана ось абсцисс, по которой отложена контактная глубина. При маленьких глубинах изменение глубины перестает быть пропорциональным изменению площади, что обусловлено отличием формы индентора от идеальной.
Таким образом, корректное измерение твердости и модуля упругости покрытий возможно при использовании достаточно точного оборудования, позволяющего выполнять индентирование на глубинах меньших толщины пленки. Использование специальных моделей и стандартов, которые могут давать взаимодополняющие результаты, позволяет увеличить точность измерения.
Исследование подтвердило, что миниатюризация изделий и применение тонкопленочных материалов приводят к сложности оценки свойств отдельных элементов изделий. Даже современное высокоточное оборудование не всегда позволяет проводить испытания в полном соответствии со стандартами. Данная проблема часто решается с помощью нескольких методов с учетом влияния внешних факторов для каждого испытания. Весьма полезен аналитический анализ экспери-
ментальных данных с применением моделирования. Подбор адекватной модели для системы позволяет получать адекватную оценку при высоком статистическом разбросе данных.
Литература
1.Asakawa R., Nagashima S., Nakamura Y., et al. Surface & Coating Technology, 2011, 206, p. 676–685.
2.Тарала В.А., Синельников Б.М. Неорганические материалы, 2012, т.48, №9, с. 1011–1016.
3.Головин Ю.И. Наноиндентирование и его возможности. М.: Машиностроеине, 2009.
4.Kodali P., Walter K.C., Nastasi M.Tribology International , 1997, Vol.30, No.8, p. 591–598.
5.Gargos M. N., Hardisty R.G. Tribology Transactions, 1993, Vol. 36, No.4, pp. 652–660.
6.Antilla, A., Tiainen, V. M., Kiuru, M. et al. Surface Engineering, 2003, 19, p. 425–428.
7.Useinov A.S., Useinov S.S. Philosophical Magazine, 2012, Vol.92, No.25–27, pp.3188–3198.
8.Useinov A., Gogolinskiy K. and Reshetov V. International J. of Mater. Research, 2009, Vol.2009, No.7, p.968–972.
9.Michel M.D., Muhlen L.V., Achete C.A., Lepienski C.M. Thin Solid Film, 2006, 496, p. 481–488.
10.Jungk J.M., Boyce B.L., Buchheit T.E. et al. Acta Materialia, 2006, 54, p. 4043–4052.
11.Lawn B.R., Evans A.G. and Marshall D.B. J. Am. Ceram. Soc., 1980, 63, p.574.
12.Jang Jae-il, Pharr G.M. Acta Materialia, 2008, 56, p. 4458–44469.
13.Niihara K. J. Mater. Sci. Lett., 1983, 2, p.221.
14.Lauger M.T. J. Mater. Sci. Lett., 1987, 6, p. 355–356.
15.Thurn J., Cook R.F. J. Mater. Sci., 2004, 39, p. 4809–4819,
16.Jungk J.M. et al. Acta Materialia, 2006, 54, p. 4043–4052.
17.Сошников А.И., Львова Н.А., Гоголин-
ский В.К., Кулибаба В.Ф. Нанотехника, 2006, №1, с. 64–67.
18.Williams J.A. Tribology International, 1996, Vol.29, No.8, p. 675_694.
19.Xiaodong Li, Dongfeng D., Bhushan B. Acta Materialia, 1997, Vol.45, No.11, p. 4453–4461.
20.ISO 14577–4 Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters. Part 4: Test method for metallic and non-metallic coatings.
21.Fischer-Cripps A.C. Nanoindentation. New York: Springer-Verlag, 2011.
22.Jönsson B., Hogmark S. Thin Solid Films, 1984, Vol.4, p. 257–269.
23.Sargent P.M. Astm Spec. Tech. Publ. Philadelphia, PA, 1986, p. 160–174.
24.Burnett P., Rickerby D. Thin Solid Films. 1987.
25.Rickerby D., Bull S. Surf. Coatings Technol. 1989.
26.Korsunsky A. et al. Surf. Coatings, 1998, Vol.99, p. 171–183.
27.Bhattacharya A., Nix W. Int. J. Solids Struct., 1988.
28.Doerner M., Nix W. J. Mater. Res., 1986.
* Технологический институт сверхтвердых
и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Троицк
Отзывы читателей
