eng
Вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий. Тематика докладов IX Международной конференции, которая прошла в 2014 году в Москве, полностью соответствовала этому девизу.
Теги: carbon films nanofluidics nanostructures vacuum equipment вакуумное оборудование наноструктуры нанофлюидика углеродные пленки
В материалы конференции включены 68 докладов 189 авторов, представляющих 56 организаций из 19 городов шести стран мира. В контексте тематики журнала "Наноиндустрия" остановимся на сообщениях, сделанных в секции "Нанотехнологии и биотехнологии".
В докладе А.Белянина с соавторами (ЦНИТИ "Техномаш") рассмотрены условия формирования углеродных пленок с использованием тлеющего разряда. Изучены состав и строение углеродных пленок методами электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света (КР), ИК-спектроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Показано влияние термообработки на строение углеродных пленок.
Уникальные физико-химические свойства различных фаз углерода – кристаллических (графит, алмаз и др.) и некристаллических упорядоченных (графен, фуллерен и аналогичные) – создают основу для использования таких материалов в устройствах электронной техники. Наибольшие перспективы связывают с использованием пленок на основе углерода в микроэлектронике для создания радиационностойких полупроводниковых приборов, высокотемпературной электроники, интегральных схем с сверхвысокой плотностью элементов; сверхбыстродействующих интегральных схем, плоских дисплеев. В настоящее время применяются десятки методов формирования углеродных пленок. Наиболее технологичными, например, при создании автоэмиссионных катодов, считаются углеродные пленки, сформированные преимущественно пластинчатыми формами кристаллитов графита. Такие пленки, как правило, многофазны и содержат кристаллические и рентгеноаморфные фазы.
В ходе исследования на кремниевых подложках методом тлеющего разряда были сформированы многофазные углеродные пленки, состоящие из кристаллических и рентгеноаморфных фаз. Установлено, что пленки, образованные кристаллитами больших размеров, приближаются по своим свойствам к поликристаллическим системам, а пленки, образованные небольшими кластерами, – к рентгеноаморфным. Отмечено, что доли различных типов кластеров и их объединений, а также кристаллитов в пленке, в зависимости от условий получения, могут значительно отличаться. Варьируя условия синтеза, можно менять фазовый состав и строение фаз углеродных пленок, оцениваемых по рентгеновским дифрактограммам, спектрам ИК и КР. Функциональные свойства в значительной степени зависят от состава и морфологии углеродных пленок. Возможность изменения концентрации фаз связана с тем, что при формировании углеродных пленок плазменными методами имеет место покластерное строение (в отличие от поатомарного роста монокристаллов). Использование спектроскопии КР позволяет контролировать функциональные свойства рентгеноаморфных углеродных пленок, определяющие эксплуатационные характеристики устройств на их основе.
Сообщение А.Белянина, В.Борисова, М.Самойловича было посвящено влиянию термообработки на строение углеродных пленок и вольтамперные характеристики автоэмиссионных катодов на их основе. Одной из задач эмиссионной электроники является снижение барьера эмиссии с поверхности катодов. Автоэмиссия означает существенное снижение (до 1–10 В/мкм) напряженности электрического поля, требуемого для возникновения полевой эмиссии электронов. Перспективы обладающих улучшенными характеристиками устройств эмиссионной электроники связаны с разработкой слоистых ненакаливаемых (автоэмиссионных) катодов на основе углеродных материалов, включающих кристаллические и некристаллические упорядоченные фазы углерода. Докладчики указали на взаимосвязь условий формирования (синтез и последующий отжиг) различных пленок углеродных материалов с характеристиками автоэмиссионных катодов на их основе. Использование спектроскопии КР позволяет проводить неразрушающий контроль углеродных пленок и диагностику деградации эксплуатационных характеристик эмитирующих углеродных слоев таких катодов.
В.Елинсон с соавторами (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циолковского) представила результаты исследования антимикробной активности полиэтилентерефталата с наноструктурированной поверхностью в отношении клинических штаммов микроорганизмов. Анализ количественных данных микробного роста после экспозиции на различных полимерных образцах показал, что антимикробный эффект зависит от времени экспозиции культур штаммов с полимерными пленками и условий модифицирования поверхности полимера. В результате проведенных исследований получено подтверждение наличия статистически достоверной антимикробной активности модифицированных полимеров в отношении ряда возбудителей госпитальных инфекций. Исследования в этом направлении будут продолжены как в отношении расширения спектра полимеров с различными функциональными характеристиками, так и более подробного рассмотрения механизма воздействия сформированных в различных условиях наноматериалов на микроорганизмы. Это позволит разрабатывать новые изделия медицинского назначения, модифицировать существующие, а также активно бороться с госпитальными инфекциями.
В сообщении С.Федорова и соавторов рассмотрены закономерности формирования приповерхностного слоя на металлокерамике, модифицированного при микролегировании низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком. Установлено, что в большинстве случаев разрушение системы покрытие-подложка начинается с пластической деформации подложки вблизи границы раздела, когда эта система подвергается нагружению. Изменить напряженное состояние в приповерхностном слое инструмента позволяет комплексная обработка поверхности с последовательным применением двух технологий изготовления слоистого композита. Получаемый новый материал композиционного типа характеризуется сочетанием высоких физико-химических свойств поверхностного слоя и необходимых свойств основы.
Л.Кравец и коллеги отметили, что в последнее десятилетие существенно возрос интерес к проблеме создания устройств для нанофлюидики – науки, изучающей поведение, способы контроля и управления движением жидкости в каналах нанометрового размера. Такие устройства востребованы, когда исследуемые объекты могут быть взяты в очень малых количествах, например в счетчиках Культера, при аналитическом разделении и определении биомолекул, в частности, белков и ДНК. Наиболее перспективной областью применения нанофлюидных устройств считаются устройства логики, которые используются для направленного переноса ионов – нанофлюидные диоды, полевые и биполярные транзисторы. На современном этапе одной из основных задач нанофлюидики является создание технологии получения наноканалов и поиск необходимых для этого материалов.
Разработанный способ создания композитных мембран с асимметрией проводимости на основе синтезируемых в плазме полимеров уникален и эффективен, так как только он позволяет формировать на одной из поверхностей трековых мембран слой, толщину которого можно легко контролировать изменением параметров разряда и длительности воздействия плазмы. Варьирование материала исходной мембраны и мономеров для формирования на ее поверхности слоя полимера, а также возможность его модифицирования путем допирования или фотоокисления в случае электропроводящих полимеров позволяет получать большое разнообразие композитных "подобных диодам" (diode-like) мембран с широким спектром характеристик.
Н.Татаринова и Н.Гаврилов из МИФИ экспериментально установили ухудшение электрической прочности вакуумного промежутка при наличии различного рода включений и пленок на поверхности электродов. Существующие гипотезы не могут объяснить наблюдаемые характеристики предпробойной проводимости вакуумного промежутка. Предлагается рассматривать границу соприкосновения включений с металлом в виде поры, процессы в которой поддерживают Таунсендовский разряд в вакуумном промежутке.
Группа ученых МГМСУ им. А.И.Евдокимова, фирмы "Русская стоматология" и НИИВТ им. С.А.Векшинского разработала новое покрытие из карбида кремния для защиты зубных протезов от биодеструкции. В настоящее время в ортопедической стоматологии остро стоит вопрос о защите от разрушения микроорганизмами базисов съемных зубных протезов, изготовленных из полимерных материалов. Экспериментальное исследование защитных свойств покрытия из карбида кремния "Панцирь", нанесенного на образцы пластмассы "Фторакс", показало возможность защиты полимерных материалов от микроорганизмов, в частности, стафилококков. Покрытие на 100% безопасно для человека.
Коллектив ученых из МГТУ им. Н.Э.Баумана под руководством Ю.Панфилова представил лабораторное вакуумное нанотехнологическое оборудование, предназначенное для обучения студентов и проведения исследовательских работ аспирантами, обучающимися по специальностям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 152200 "Наноинженерия". На кафедре имеется технологическое и аналитическое оборудование: малогабаритная вакуумная установка модульного типа, корпускулярно-лучевая вакуумная установка, вакуумная установка для нанесения наноструктурированных упрочняющих покрытий, сканирующий зондовый микроскоп Solver Next, акустооптический спектрофотометр, пикоамперметр.
М.Булыгина из МГТУ им. Н.Э.Баумана рассмотрела особенности измерения микротвердости тонких пленок различными методами и проанализировала факторы, влияющие на точность оценки. В частности, проведено сравнение двух методов измерения микротвердости тонкопленочных покрытий: классического микроиндентирования и наноиндентирования.
Н.Смоланов с коллегами из Мордовского государственного университета им. Н.П.Огарева исследовал элементный, гранулометрический и фазовый состав частиц, полученных из низкотемпературной плазмы дугового разряда при распылении титанового катода в вакуумной камере. Установлена зависимость массовой доли частиц от размеров в диапазоне 20–180 мкм. Показано, что порошки, полученные при осаждении из низкотемпературной металлической плазмы, по большинству признаков обладают свойствами, присущими нанокристаллическим материалам. На основании исследования структур и свойств осажденных вдоль плазменного потока материалов (конденсата около катода, тонких пленок на подложке, пылевых структур на стенках вакуумной камеры), в работе рассмотрены возможные механизмы эволюции плазмы от катодного пятна до ее рекомбинации на подложке и стенках вакуумной камеры в условиях наложения электрического и магнитного полей.
В.Елинсон, А.Лямин (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циол-ковского) и Л.Кравец (ОИЯИ им. Г.Н.Флерова) привели результаты исследования физико-химических характеристик поверхности полиэтилентерефталатных трековых мембран (ПЭТФ ТМ) с наноструктурированной поверхностью, в частности, топологии поверхности, параметров рельефа и энергии поверхности, а также ее антимикробных свойств в отношении музейных штаммов микроорганизмов. В результате проведенных исследований установлено, что при наноструктурировании поверхности ПЭТФ ТМ и нанесении пленки а-С:Н (формировании нанокомпозитного материала на поверхности) ионно-плазменная обработка оказывает воздействие в основном на поверхность ПЭТФ ТМ, незначительно влияя на внутренний диаметр треков и не изменяя их симметричность. Это увеличивает ресурс трековых мембран, например, при очистке воды, затрудняя образование биопленок на их поверхности, где концентрируются выделенные из воды микроорганизмы. Наноструктурированный ПЭТФ ТМ характеризуется антимикробной активностью в отношении музейных штаммов грамположительных и грамотрицательных микроорганизмов и условно-патогенных грибов. Антимикробная активность в отношении грамположительных микроорганизмов и грибов вписывается по величине в зависимость полной поверхностной энергии и ее дисперсионной составляющей от толщины пленки а-С:Н, причем для грамположительных микроорганизмов она наблюдается также при толщине пленки до 100 нм. Антимикробная зависимость ПЭТФ ТМ в отношении грамотрицательных микроорганизмов наблюдается при меньшем времени наноструктурирования, чем для ПЭТФ.
Ученые из Поволжского государственного технологического университета под руководством Н.Сушенцова представили проект по созданию универсального автоматизированного вакуумного комплекса, совмещающего методы магнетронного распыления и дугового испарения, с целью формирования многокомпонентных пленок нанокристаллического строения различного назначения, обладающих заданным стехиометрическим составом и свойствами. Универсальность создаваемого комплекса определяется, с одной стороны, огромным количеством возможных комбинаций отдельных компонентов в формируемом пленочном покрытии, и, таким образом, большим количеством разновидностей таких покрытий, с другой стороны – интеграцией различных методов формирования покрытий в одном технологическом цикле. Кроме того, данный комплекс позволяет вести формирование пленок в автоматизированном режиме с большим набором технологических схем, что облегчает оптимизацию технологического процесса.
В.Слепцов (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циолковского) представил технологический комплекс для металлизации рулонных суперпористых материалов. Цель технологии состоит в формировании сверхпористых слоев вентильных металлов, которые используются в качестве электродных материалов, а также для формирования слоя диэлектрика с высокими диэлектрической проницаемостью и пробивным напряжением. Формирование сверхпористого наноструктурированного слоя вентильного металла (Al, Ti, Ta, и т.д.), стабильно сохраняющего свои параметры в условиях работы электролитических конденсаторов, достигается путем осаждения паров металла на рулонный носитель (алюминиевую фольгу, полимер и т.д.) в среде активного и инертного газов при среднем вакууме (10-2–10-3 Торр). Технология апробирована в условиях серийного производства электролитических конденсаторов на заводе "Катион" (Хмельницкий), а также на опытно-промышленном производстве НИИВТ им. С.А.Векшинского.
Х Международная выставка "ВакуумТехЭкспо-2015" и конференция "Вакуумная техника, материалы и технология" состоятся 14–16 апреля 2015 года. ■
В докладе А.Белянина с соавторами (ЦНИТИ "Техномаш") рассмотрены условия формирования углеродных пленок с использованием тлеющего разряда. Изучены состав и строение углеродных пленок методами электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света (КР), ИК-спектроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Показано влияние термообработки на строение углеродных пленок.
Уникальные физико-химические свойства различных фаз углерода – кристаллических (графит, алмаз и др.) и некристаллических упорядоченных (графен, фуллерен и аналогичные) – создают основу для использования таких материалов в устройствах электронной техники. Наибольшие перспективы связывают с использованием пленок на основе углерода в микроэлектронике для создания радиационностойких полупроводниковых приборов, высокотемпературной электроники, интегральных схем с сверхвысокой плотностью элементов; сверхбыстродействующих интегральных схем, плоских дисплеев. В настоящее время применяются десятки методов формирования углеродных пленок. Наиболее технологичными, например, при создании автоэмиссионных катодов, считаются углеродные пленки, сформированные преимущественно пластинчатыми формами кристаллитов графита. Такие пленки, как правило, многофазны и содержат кристаллические и рентгеноаморфные фазы.
В ходе исследования на кремниевых подложках методом тлеющего разряда были сформированы многофазные углеродные пленки, состоящие из кристаллических и рентгеноаморфных фаз. Установлено, что пленки, образованные кристаллитами больших размеров, приближаются по своим свойствам к поликристаллическим системам, а пленки, образованные небольшими кластерами, – к рентгеноаморфным. Отмечено, что доли различных типов кластеров и их объединений, а также кристаллитов в пленке, в зависимости от условий получения, могут значительно отличаться. Варьируя условия синтеза, можно менять фазовый состав и строение фаз углеродных пленок, оцениваемых по рентгеновским дифрактограммам, спектрам ИК и КР. Функциональные свойства в значительной степени зависят от состава и морфологии углеродных пленок. Возможность изменения концентрации фаз связана с тем, что при формировании углеродных пленок плазменными методами имеет место покластерное строение (в отличие от поатомарного роста монокристаллов). Использование спектроскопии КР позволяет контролировать функциональные свойства рентгеноаморфных углеродных пленок, определяющие эксплуатационные характеристики устройств на их основе.
Сообщение А.Белянина, В.Борисова, М.Самойловича было посвящено влиянию термообработки на строение углеродных пленок и вольтамперные характеристики автоэмиссионных катодов на их основе. Одной из задач эмиссионной электроники является снижение барьера эмиссии с поверхности катодов. Автоэмиссия означает существенное снижение (до 1–10 В/мкм) напряженности электрического поля, требуемого для возникновения полевой эмиссии электронов. Перспективы обладающих улучшенными характеристиками устройств эмиссионной электроники связаны с разработкой слоистых ненакаливаемых (автоэмиссионных) катодов на основе углеродных материалов, включающих кристаллические и некристаллические упорядоченные фазы углерода. Докладчики указали на взаимосвязь условий формирования (синтез и последующий отжиг) различных пленок углеродных материалов с характеристиками автоэмиссионных катодов на их основе. Использование спектроскопии КР позволяет проводить неразрушающий контроль углеродных пленок и диагностику деградации эксплуатационных характеристик эмитирующих углеродных слоев таких катодов.
В.Елинсон с соавторами (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циолковского) представила результаты исследования антимикробной активности полиэтилентерефталата с наноструктурированной поверхностью в отношении клинических штаммов микроорганизмов. Анализ количественных данных микробного роста после экспозиции на различных полимерных образцах показал, что антимикробный эффект зависит от времени экспозиции культур штаммов с полимерными пленками и условий модифицирования поверхности полимера. В результате проведенных исследований получено подтверждение наличия статистически достоверной антимикробной активности модифицированных полимеров в отношении ряда возбудителей госпитальных инфекций. Исследования в этом направлении будут продолжены как в отношении расширения спектра полимеров с различными функциональными характеристиками, так и более подробного рассмотрения механизма воздействия сформированных в различных условиях наноматериалов на микроорганизмы. Это позволит разрабатывать новые изделия медицинского назначения, модифицировать существующие, а также активно бороться с госпитальными инфекциями.
В сообщении С.Федорова и соавторов рассмотрены закономерности формирования приповерхностного слоя на металлокерамике, модифицированного при микролегировании низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком. Установлено, что в большинстве случаев разрушение системы покрытие-подложка начинается с пластической деформации подложки вблизи границы раздела, когда эта система подвергается нагружению. Изменить напряженное состояние в приповерхностном слое инструмента позволяет комплексная обработка поверхности с последовательным применением двух технологий изготовления слоистого композита. Получаемый новый материал композиционного типа характеризуется сочетанием высоких физико-химических свойств поверхностного слоя и необходимых свойств основы.
Л.Кравец и коллеги отметили, что в последнее десятилетие существенно возрос интерес к проблеме создания устройств для нанофлюидики – науки, изучающей поведение, способы контроля и управления движением жидкости в каналах нанометрового размера. Такие устройства востребованы, когда исследуемые объекты могут быть взяты в очень малых количествах, например в счетчиках Культера, при аналитическом разделении и определении биомолекул, в частности, белков и ДНК. Наиболее перспективной областью применения нанофлюидных устройств считаются устройства логики, которые используются для направленного переноса ионов – нанофлюидные диоды, полевые и биполярные транзисторы. На современном этапе одной из основных задач нанофлюидики является создание технологии получения наноканалов и поиск необходимых для этого материалов.
Разработанный способ создания композитных мембран с асимметрией проводимости на основе синтезируемых в плазме полимеров уникален и эффективен, так как только он позволяет формировать на одной из поверхностей трековых мембран слой, толщину которого можно легко контролировать изменением параметров разряда и длительности воздействия плазмы. Варьирование материала исходной мембраны и мономеров для формирования на ее поверхности слоя полимера, а также возможность его модифицирования путем допирования или фотоокисления в случае электропроводящих полимеров позволяет получать большое разнообразие композитных "подобных диодам" (diode-like) мембран с широким спектром характеристик.
Н.Татаринова и Н.Гаврилов из МИФИ экспериментально установили ухудшение электрической прочности вакуумного промежутка при наличии различного рода включений и пленок на поверхности электродов. Существующие гипотезы не могут объяснить наблюдаемые характеристики предпробойной проводимости вакуумного промежутка. Предлагается рассматривать границу соприкосновения включений с металлом в виде поры, процессы в которой поддерживают Таунсендовский разряд в вакуумном промежутке.
Группа ученых МГМСУ им. А.И.Евдокимова, фирмы "Русская стоматология" и НИИВТ им. С.А.Векшинского разработала новое покрытие из карбида кремния для защиты зубных протезов от биодеструкции. В настоящее время в ортопедической стоматологии остро стоит вопрос о защите от разрушения микроорганизмами базисов съемных зубных протезов, изготовленных из полимерных материалов. Экспериментальное исследование защитных свойств покрытия из карбида кремния "Панцирь", нанесенного на образцы пластмассы "Фторакс", показало возможность защиты полимерных материалов от микроорганизмов, в частности, стафилококков. Покрытие на 100% безопасно для человека.
Коллектив ученых из МГТУ им. Н.Э.Баумана под руководством Ю.Панфилова представил лабораторное вакуумное нанотехнологическое оборудование, предназначенное для обучения студентов и проведения исследовательских работ аспирантами, обучающимися по специальностям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 152200 "Наноинженерия". На кафедре имеется технологическое и аналитическое оборудование: малогабаритная вакуумная установка модульного типа, корпускулярно-лучевая вакуумная установка, вакуумная установка для нанесения наноструктурированных упрочняющих покрытий, сканирующий зондовый микроскоп Solver Next, акустооптический спектрофотометр, пикоамперметр.
М.Булыгина из МГТУ им. Н.Э.Баумана рассмотрела особенности измерения микротвердости тонких пленок различными методами и проанализировала факторы, влияющие на точность оценки. В частности, проведено сравнение двух методов измерения микротвердости тонкопленочных покрытий: классического микроиндентирования и наноиндентирования.
Н.Смоланов с коллегами из Мордовского государственного университета им. Н.П.Огарева исследовал элементный, гранулометрический и фазовый состав частиц, полученных из низкотемпературной плазмы дугового разряда при распылении титанового катода в вакуумной камере. Установлена зависимость массовой доли частиц от размеров в диапазоне 20–180 мкм. Показано, что порошки, полученные при осаждении из низкотемпературной металлической плазмы, по большинству признаков обладают свойствами, присущими нанокристаллическим материалам. На основании исследования структур и свойств осажденных вдоль плазменного потока материалов (конденсата около катода, тонких пленок на подложке, пылевых структур на стенках вакуумной камеры), в работе рассмотрены возможные механизмы эволюции плазмы от катодного пятна до ее рекомбинации на подложке и стенках вакуумной камеры в условиях наложения электрического и магнитного полей.
В.Елинсон, А.Лямин (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циол-ковского) и Л.Кравец (ОИЯИ им. Г.Н.Флерова) привели результаты исследования физико-химических характеристик поверхности полиэтилентерефталатных трековых мембран (ПЭТФ ТМ) с наноструктурированной поверхностью, в частности, топологии поверхности, параметров рельефа и энергии поверхности, а также ее антимикробных свойств в отношении музейных штаммов микроорганизмов. В результате проведенных исследований установлено, что при наноструктурировании поверхности ПЭТФ ТМ и нанесении пленки а-С:Н (формировании нанокомпозитного материала на поверхности) ионно-плазменная обработка оказывает воздействие в основном на поверхность ПЭТФ ТМ, незначительно влияя на внутренний диаметр треков и не изменяя их симметричность. Это увеличивает ресурс трековых мембран, например, при очистке воды, затрудняя образование биопленок на их поверхности, где концентрируются выделенные из воды микроорганизмы. Наноструктурированный ПЭТФ ТМ характеризуется антимикробной активностью в отношении музейных штаммов грамположительных и грамотрицательных микроорганизмов и условно-патогенных грибов. Антимикробная активность в отношении грамположительных микроорганизмов и грибов вписывается по величине в зависимость полной поверхностной энергии и ее дисперсионной составляющей от толщины пленки а-С:Н, причем для грамположительных микроорганизмов она наблюдается также при толщине пленки до 100 нм. Антимикробная зависимость ПЭТФ ТМ в отношении грамотрицательных микроорганизмов наблюдается при меньшем времени наноструктурирования, чем для ПЭТФ.
Ученые из Поволжского государственного технологического университета под руководством Н.Сушенцова представили проект по созданию универсального автоматизированного вакуумного комплекса, совмещающего методы магнетронного распыления и дугового испарения, с целью формирования многокомпонентных пленок нанокристаллического строения различного назначения, обладающих заданным стехиометрическим составом и свойствами. Универсальность создаваемого комплекса определяется, с одной стороны, огромным количеством возможных комбинаций отдельных компонентов в формируемом пленочном покрытии, и, таким образом, большим количеством разновидностей таких покрытий, с другой стороны – интеграцией различных методов формирования покрытий в одном технологическом цикле. Кроме того, данный комплекс позволяет вести формирование пленок в автоматизированном режиме с большим набором технологических схем, что облегчает оптимизацию технологического процесса.
В.Слепцов (МАТИ – РГТУ им. К.Э.Циолковского) представил технологический комплекс для металлизации рулонных суперпористых материалов. Цель технологии состоит в формировании сверхпористых слоев вентильных металлов, которые используются в качестве электродных материалов, а также для формирования слоя диэлектрика с высокими диэлектрической проницаемостью и пробивным напряжением. Формирование сверхпористого наноструктурированного слоя вентильного металла (Al, Ti, Ta, и т.д.), стабильно сохраняющего свои параметры в условиях работы электролитических конденсаторов, достигается путем осаждения паров металла на рулонный носитель (алюминиевую фольгу, полимер и т.д.) в среде активного и инертного газов при среднем вакууме (10-2–10-3 Торр). Технология апробирована в условиях серийного производства электролитических конденсаторов на заводе "Катион" (Хмельницкий), а также на опытно-промышленном производстве НИИВТ им. С.А.Векшинского.
Х Международная выставка "ВакуумТехЭкспо-2015" и конференция "Вакуумная техника, материалы и технология" состоятся 14–16 апреля 2015 года. ■
Отзывы читателей
