eng
Выпуск #3/2015
С.Нестеров
Десять лучших инновационных продуктов выставки "ВакуумТехЭкспо 2015"
Десять лучших инновационных продуктов выставки "ВакуумТехЭкспо 2015"
Просмотры: 3911
С 14 по 16 апреля в Москве в КВЦ "Сокольники" проходила X международная выставка вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо 2015". Деловая программа юбилейной выставки включала стендовые презентации оборудования ведущих мировых и отечественных производителей и международную научно-техническую конференцию "Вакуумная техника, материалы и технология". В рамках форума в очередной раз проводился конкурс "За лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий".
DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.24.32
DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.24.32
Инновационный продукт – результат инновационной деятельности, получивший практическую реализацию в виде нового товара, услуги, способа производства (технологии) или иного значимого результата. Победителями конкурса стали 10 инновационных продуктов, которые отражают современный уровень и тенденции развития мирового и отечественного вакуумного оборудования и технологии.
Турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS
Agilent Technologies и ее официальный дистрибьютор компания "Миллаб" представили новый турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS с быстротой действия 80 л/с. В этой модели реализованы молекулярная ступень с запатентованной технологией TwisTorr и технология плавающей подвески Floating Suspension (FS). Конструкторам Agilent удалось снизить массу и длину ротора при сохранении высоких откачных характеристик насоса. Благодаря технологии TwisTorr достигается высокая степень сжатия по легким газам при значительно более компактной молекулярной ступени насоса. Как следствие, минимизированы энергопотребление и нагрев.
Система плавающей подвески FS позволяет снизить шумы и вибрацию, а также обеспечивает оптимальный режим работы и высокий срок службы подшипников. В насосах TwisTorr 84 FS используются уникальные сухие подшипники, которые не требуют смазки и обслуживания, а также позволяют размещать насос в любом положении.
Винтовой вакуумный насос серии GHS VSD+
GHS VSD+ – линейка винтовых вакуумных насосов нового поколения с масляным уплотнением и технологией частотно-регулируемого привода (VSD) от компании Atlas Copco. Разработанные по принципу "подключи и работай", GHS VSD+ характеризуются большей быстротой действия по сравнению со стандартными пластинчато-роторными вакуумными насосами. Инновационная винтовая технология, частотно-регулируемый привод и усовершенствованная конструкция двигателя обеспечивают повышение эффективности. Уровень шума GHS VSD+ примерно вдвое ниже, чем у аналогов. Оптимальное отделение масла при любом рабочем давлении (начиная с атмосферного) снижает воздействие на окружающую среду.
Жюри конкурса отметило следующие инновационные особенности продукта:
•модуляция входного потока;
•регулирование оборотов приводного двигателя в диапазоне давлений от атмосферного до
400 мбар (абс.) для сокращения энерго-
потребления;
•частотное регулирование производительности и управление работой вакуумного насоса по заданной точке давления;
•эффективная система маслоотделения на выпуске;
•специализированные модификации под различные применения.
Течеискатель Phoenix L300i
Портативный многофункциональный гелиевый течеискатель из новой линейки компании Oerlikon Leybold Vacuum (OLV) подходит как для обслуживания вакуумных систем, так и для испытания на герметичность отдельных объектов. Современные беспроводные технологии передачи данных дают возможность дистанционно контролировать процесс течеискания и управлять им. Phoenix L300i позволяет определять величину локальной или суммарной течи и хорошо подходит как для сервисных, так и для серийных испытаний.
Уникальной особенностью течеискателя является принципиально новый пульт управления с информационным сенсорным дисплеем, который имеет интуитивно понятный интерфейс. Возможно хранение массивов данных о проведенных испытаниях и показателях прибора. Течеискатели могут управляться дистанционно с планшета iPad с помощью приложения, разработанного OLV. Программное обеспечение поддерживает все версии моделей Phoenix L300i/L500i. Благодаря технологии Wi-Fi пульт управления может использоваться на расстоянии до 50 метров от оборудования.
Высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF
Высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF компании VAT Vakuumventile (Швейцария) полностью выполнен из нержавеющей стали и предназначен для регулировки небольших газовых потоков. Металлическая конструкция допускает нагрев корпуса до 300°C, а также обеспечивает защиту от коррозии и стойкость к агрессивным газам. Запорный механизм реализован на базе подпружиненной металлической мембраны, что дает возможность использовать натекатель в диапазоне давлений от 1∙10-10 мбар до 10 бар (абс.). Регулировка усилия запирания осуществляется прецизионным шаговым двигателем, управляемым с помощью интегрированного в корпус контроллера, который подключается к ПК по интерфейсу RS-232. Также разработана специальная версия натекателя с ручным приводом. Контроллер с обратной связью имеет порт для подключения вакуумного преобразователя.
Инновационность натекателя заключается в запатентованном механизме передачи усилия привода на подпружиненную мембрану таким образом, что ее уплотнение происходит только при упругой деформации. Прецизионный шаговый двигатель через винтовую передачу точно передает усилие на пружину, которая в свою очередь деформирует подпружиненную мембрану, изменяя диаметр проходного сечения натекателя. Шаговый двигатель управляется интегрированным контроллером с обратной связью с преобразователем давления. Такая конструкция обеспечивает плавную регулировку и высокую воспроизводимость малых величин потока газа для поддержания постоянного давления в системе, а также независимость от температурных воздействий окружающей среды.
Установка для испытаний образцов
на комплексное воздействие факторов эксплуатации в условиях космоса
Томский политехнический университет разработал комплекс испытательного оборудования на основе автоматизированной вакуумной установки для испытаний образцов покрытий на комплексное воздействие космических факторов: вакуума, электронов, протонов, солнечного излучения, температуры. Установка состоит из отсеков загрузки образцов, воздействия факторов космического пространства (ФКП) и оптических измерений.
Отсек для воздействия ФКП включает системы облучения образцов солнечным излучением, протонами, электронами, а также систему термостатирования термостола с образцами. Система облучения образцов электронами укомплектована двумя источниками, генерирующими частицы с энергиями 50 и 100 кэВ, а система облучения образцов протонами оснащена источником частиц с энергией до 50 кэВ. Плотности потоков электронов и протонов составляют 1012–1016м-2∙с-1, неравномерности потоков не превышают 10%.
Имитатор солнечного излучения ИСО-СКМ-1 позволяет проводить облучение образцов в диапазоне длин волн от 200 до 2500 нм с кратностью плотности потока до 10 ЭСО. Спектр излучения соответствует внеатмосферному солнечному с погрешностью не более 5%. Световое пятно – квадрат размером 120 × 120 мм. Неравномерность потока не превышает 10%.
В отсеке оптических измерений контролируются спектральное отражение и коэффициент поглощения солнечной радиации испытываемыми материалами в вакууме в диапазоне излучения 250–2800 нм.
Инновационность установки заключается в возможности проведения в едином цикле комплексных аттестационных испытаний конструкционных материалов на воздействие факторов космоса.
Универсальная компактная система молекулярно-лучевой эпитаксии STE75
Универсальная компактная трехкамерная установка STE75 производства ЗАО "НТО" разработана для выращивания широкого спектра полупроводниковых соединений А3В5 и широкозонных соединений А2В6, а также (в специальном исполнении) – А3N. Система выполнена с учетом последних достижений в области молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводников и предназначена для широкого спектра НИР и НИОКР.
STE75 – наиболее компактная система молекулярно-лучевой эпитаксии, и она не имеет по этому показателю аналогов на рынке. Система специально сконфигурирована для максимальной экономии ресурсов при высоком качестве выращиваемых слоев, что важно при проведении научных исследований и разработок.
Многофункциональная вакуумная установка "ТМ Изофаз 03"
Разработанная НИИ Точного Машиностроения малогабаритная установка предназначена для процессов атомно-слоевого осаждения тонких пленок на подложках диаметром до 100 мм. В состав установки входят следующие устройства:
•реакторная камера, изготовленная из цельнометаллического алюминия;
•высоковакуумная система откачки на базе турбомолекулярного и форвакуумного насосов, а также дроссельной заслонки, которая служит для поддержания заданного давления в рабочей камере установки;
•источник плазмы с устройством согласования ВЧ-генератора с нагрузкой для подачи радикалов в реакционную камеру;
•нагреваемый электрод-подложкодержатель с устройством согласования ВЧ-генератора с нагрузкой для обеспечения заданной температуры и смещения на подложку;
•газовая система для попеременной подачи прекурсоров в рабочую камеру установки;
•микропроцессорная система управления, которая позволяет работать в автоматическом и ручном режимах.
Установка реализует плазмостимулированное атомно-слоевое осаждение (ПАСО) тонких пленок с хорошей воспроизводимостью, обеспечивая их исключительную конформность, высокую однородность и плотность, а также минимальное число дефектов. Установка снабжена системой предварительной ВЧ-очистки и активации поверхности подложки перед ПАСО. Возможность нагрева до 500°С позволяет выполнять термическое атомно-слоевое осаждение.
Установка вакуумного напыления
"Ника 2013 МН"
"Ника 2013 МН" создана компанией "Лаборатория вакуумных технологий" на базе универсального базового поста "Ника 2013" и предназначена для магнетронного напыления пленок различного состава (металлы, диэлектрики, полупроводники) на подложки диаметром до 150 мм. Установка комплектуется линейными магнетронами оригинальной конструкции (до 4-х шт.). Для очистки служит газоразрядный источник с холодным катодом ИИ 400, имеющий малую расходимость ионного пучка.
В рабочей камере из нержавеющей стали расположен барабан, в который могут одновременно загружаться до 48 пластин диаметром 100 мм или более 100 пластин размером 60 × 48 мм. Автоматизированная система управления позволяет в одном цикле наносить любую комбинацию слоев материалов из 4-х мишеней с ионной очисткой и нагревом. Возможен контроль сопротивления напыляемых пленок по свидетелю. Магнетрон, работающий в парах мишени, позволяет напылять медь в барабане со скоростью до 1 мкм/мин при мощности блока питания 5 кВт.
"Ника 2013 МН" – первая российская полностью автоматическая установка для контролируемого нанесения многослойных покрытий из четырех произвольно выбираемых мишеней с применением ионного источника и работающего в парах мишени магнетрона, что обеспечивает высокую скорость напыления меди при низких энергетических затратах.
Вакуумная настольная установка магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы
В настольной вакуумной установке VSE-PVD-DESK-PRO производства компании "Вакуумные системы и электроника" реализована технология магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы. Установка предназначена для отработки конкретных технологий перед переносом их на высокопроизводительные установки, получения опытных образцов и прототипов, мелкосерийного производства небольших изделий, проведения научных исследований в материаловедении, приборостроении, электронике, нанесении оптических покрытий, производстве микромеханических устройств и др., а также оптимальна для учебного процесса.
Уникальной разработкой является вакуумная виброкювета для быстрого перемешивания порошков во время напыления. Виброкювета устанавливается на подложкодержатель так, что привод вращения может помещать ее под выбранным технологическим источником: под ионным источником для очистки поверхности частиц порошка, под первым магнетроном для нанесения подслоя, под вторым магнетроном для нанесения покрытия из основного вещества. Это позволяет создавать и исследовать наноматериалы с внутренней многоуровневой структурой, которые состоят из нескольких слоев наноразмерных пленок различного химического состава и характеризуются большой удельной поверхностью при многофазных анизотропных границах между слоями.
Компактная система вращения с дифференциальной откачкой имеет привод от шагового двигателя и оснащена оптическими датчиками положения подложки. Такой привод позволяет не только вращать подложкодержатель в вакууме с требуемой для обеспечения однородности скоростью, но и позиционировать подложку относительно магнетрона или ионного источника с погрешностью менее 1 мм.
Магнетронное распылительное устройство имеет компактную конструкцию с возможностью подачи газа непосредственно в область мишени.
Новые вакуумные элеваторные электропечи для закалки в масло "НИТТИН"
Модельный ряд новых вакуумных элеваторных электропечей производства НПП "НИТТИН" включает установки СЭВФ-3.3/11,5-ИЗМб-НИТТИН, СЭВФ-5.5/11,5-ИЗМб-НИТТИН, СЭВФ-3.3/11,5-ИЗМф-НИТТИН и СЭВФ-5.5/11,5-ИЗМф-НИТТИН. Электропечи состоят из вертикальной вакуумной камеры и расположенной с трех сторон от нее эстакады (рабочей площадки). Под эстакадой размещены вакуумная система и система водяного охлаждения, шкаф электропитания и управления, а также понижающий печной трансформатор.
Вакуумная камера представляет собой двухстеночный водоохлаждаемый кожух из листовой конструкционной стали. В верхней зоне вакуумной камеры смонтирован футерованный корундом нагревательный модуль. В средней (загрузочной) зоне находится загрузочный люк. В нижней зоне (закалочном баке) происходит охлаждение садки в масле. Вакуумная система предназначена для откачки рабочей камеры электропечи до остаточного давления 0,133 Па (1·10-3мм рт.ст.) и состоит из форвакуумной и бустерной систем.
В новых вакуумных электропечах операции закалки, удаления остатков закалочного масла (вакуумное обезмасливание) и вакуумный отпуск впервые выполняются в одном цикле. Таким образом, после термообработки не надо удалять припуски, а сам процесс стал финишным, поэтому отпадает необходимость в моечной машине, утилизации моечного раствора, а также в дополнительной электропечи для отпуска. Электропечи являются экологически чистым оборудованием, в котором отсутствует выброс химически активных газов, что обеспечивает их взрыво- и пожаробезопасность в процессе эксплуатации.
***
В социально-экономических приоритетах нашего государства особое место занимают вопросы развития наукоемких отраслей производства с высоким уровнем добавленной стоимости. Именно к таким наукоемким отраслям относятся вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология. Не вызывает сомнения, что выставка "ВакуумТехЭкспо" будет содействовать развитию российской инновационной отрасли.
Турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS
Agilent Technologies и ее официальный дистрибьютор компания "Миллаб" представили новый турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS с быстротой действия 80 л/с. В этой модели реализованы молекулярная ступень с запатентованной технологией TwisTorr и технология плавающей подвески Floating Suspension (FS). Конструкторам Agilent удалось снизить массу и длину ротора при сохранении высоких откачных характеристик насоса. Благодаря технологии TwisTorr достигается высокая степень сжатия по легким газам при значительно более компактной молекулярной ступени насоса. Как следствие, минимизированы энергопотребление и нагрев.
Система плавающей подвески FS позволяет снизить шумы и вибрацию, а также обеспечивает оптимальный режим работы и высокий срок службы подшипников. В насосах TwisTorr 84 FS используются уникальные сухие подшипники, которые не требуют смазки и обслуживания, а также позволяют размещать насос в любом положении.
Винтовой вакуумный насос серии GHS VSD+
GHS VSD+ – линейка винтовых вакуумных насосов нового поколения с масляным уплотнением и технологией частотно-регулируемого привода (VSD) от компании Atlas Copco. Разработанные по принципу "подключи и работай", GHS VSD+ характеризуются большей быстротой действия по сравнению со стандартными пластинчато-роторными вакуумными насосами. Инновационная винтовая технология, частотно-регулируемый привод и усовершенствованная конструкция двигателя обеспечивают повышение эффективности. Уровень шума GHS VSD+ примерно вдвое ниже, чем у аналогов. Оптимальное отделение масла при любом рабочем давлении (начиная с атмосферного) снижает воздействие на окружающую среду.
Жюри конкурса отметило следующие инновационные особенности продукта:
•модуляция входного потока;
•регулирование оборотов приводного двигателя в диапазоне давлений от атмосферного до
400 мбар (абс.) для сокращения энерго-
потребления;
•частотное регулирование производительности и управление работой вакуумного насоса по заданной точке давления;
•эффективная система маслоотделения на выпуске;
•специализированные модификации под различные применения.
Течеискатель Phoenix L300i
Портативный многофункциональный гелиевый течеискатель из новой линейки компании Oerlikon Leybold Vacuum (OLV) подходит как для обслуживания вакуумных систем, так и для испытания на герметичность отдельных объектов. Современные беспроводные технологии передачи данных дают возможность дистанционно контролировать процесс течеискания и управлять им. Phoenix L300i позволяет определять величину локальной или суммарной течи и хорошо подходит как для сервисных, так и для серийных испытаний.
Уникальной особенностью течеискателя является принципиально новый пульт управления с информационным сенсорным дисплеем, который имеет интуитивно понятный интерфейс. Возможно хранение массивов данных о проведенных испытаниях и показателях прибора. Течеискатели могут управляться дистанционно с планшета iPad с помощью приложения, разработанного OLV. Программное обеспечение поддерживает все версии моделей Phoenix L300i/L500i. Благодаря технологии Wi-Fi пульт управления может использоваться на расстоянии до 50 метров от оборудования.
Высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF
Высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF компании VAT Vakuumventile (Швейцария) полностью выполнен из нержавеющей стали и предназначен для регулировки небольших газовых потоков. Металлическая конструкция допускает нагрев корпуса до 300°C, а также обеспечивает защиту от коррозии и стойкость к агрессивным газам. Запорный механизм реализован на базе подпружиненной металлической мембраны, что дает возможность использовать натекатель в диапазоне давлений от 1∙10-10 мбар до 10 бар (абс.). Регулировка усилия запирания осуществляется прецизионным шаговым двигателем, управляемым с помощью интегрированного в корпус контроллера, который подключается к ПК по интерфейсу RS-232. Также разработана специальная версия натекателя с ручным приводом. Контроллер с обратной связью имеет порт для подключения вакуумного преобразователя.
Инновационность натекателя заключается в запатентованном механизме передачи усилия привода на подпружиненную мембрану таким образом, что ее уплотнение происходит только при упругой деформации. Прецизионный шаговый двигатель через винтовую передачу точно передает усилие на пружину, которая в свою очередь деформирует подпружиненную мембрану, изменяя диаметр проходного сечения натекателя. Шаговый двигатель управляется интегрированным контроллером с обратной связью с преобразователем давления. Такая конструкция обеспечивает плавную регулировку и высокую воспроизводимость малых величин потока газа для поддержания постоянного давления в системе, а также независимость от температурных воздействий окружающей среды.
Установка для испытаний образцов
на комплексное воздействие факторов эксплуатации в условиях космоса
Томский политехнический университет разработал комплекс испытательного оборудования на основе автоматизированной вакуумной установки для испытаний образцов покрытий на комплексное воздействие космических факторов: вакуума, электронов, протонов, солнечного излучения, температуры. Установка состоит из отсеков загрузки образцов, воздействия факторов космического пространства (ФКП) и оптических измерений.
Отсек для воздействия ФКП включает системы облучения образцов солнечным излучением, протонами, электронами, а также систему термостатирования термостола с образцами. Система облучения образцов электронами укомплектована двумя источниками, генерирующими частицы с энергиями 50 и 100 кэВ, а система облучения образцов протонами оснащена источником частиц с энергией до 50 кэВ. Плотности потоков электронов и протонов составляют 1012–1016м-2∙с-1, неравномерности потоков не превышают 10%.
Имитатор солнечного излучения ИСО-СКМ-1 позволяет проводить облучение образцов в диапазоне длин волн от 200 до 2500 нм с кратностью плотности потока до 10 ЭСО. Спектр излучения соответствует внеатмосферному солнечному с погрешностью не более 5%. Световое пятно – квадрат размером 120 × 120 мм. Неравномерность потока не превышает 10%.
В отсеке оптических измерений контролируются спектральное отражение и коэффициент поглощения солнечной радиации испытываемыми материалами в вакууме в диапазоне излучения 250–2800 нм.
Инновационность установки заключается в возможности проведения в едином цикле комплексных аттестационных испытаний конструкционных материалов на воздействие факторов космоса.
Универсальная компактная система молекулярно-лучевой эпитаксии STE75
Универсальная компактная трехкамерная установка STE75 производства ЗАО "НТО" разработана для выращивания широкого спектра полупроводниковых соединений А3В5 и широкозонных соединений А2В6, а также (в специальном исполнении) – А3N. Система выполнена с учетом последних достижений в области молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводников и предназначена для широкого спектра НИР и НИОКР.
STE75 – наиболее компактная система молекулярно-лучевой эпитаксии, и она не имеет по этому показателю аналогов на рынке. Система специально сконфигурирована для максимальной экономии ресурсов при высоком качестве выращиваемых слоев, что важно при проведении научных исследований и разработок.
Многофункциональная вакуумная установка "ТМ Изофаз 03"
Разработанная НИИ Точного Машиностроения малогабаритная установка предназначена для процессов атомно-слоевого осаждения тонких пленок на подложках диаметром до 100 мм. В состав установки входят следующие устройства:
•реакторная камера, изготовленная из цельнометаллического алюминия;
•высоковакуумная система откачки на базе турбомолекулярного и форвакуумного насосов, а также дроссельной заслонки, которая служит для поддержания заданного давления в рабочей камере установки;
•источник плазмы с устройством согласования ВЧ-генератора с нагрузкой для подачи радикалов в реакционную камеру;
•нагреваемый электрод-подложкодержатель с устройством согласования ВЧ-генератора с нагрузкой для обеспечения заданной температуры и смещения на подложку;
•газовая система для попеременной подачи прекурсоров в рабочую камеру установки;
•микропроцессорная система управления, которая позволяет работать в автоматическом и ручном режимах.
Установка реализует плазмостимулированное атомно-слоевое осаждение (ПАСО) тонких пленок с хорошей воспроизводимостью, обеспечивая их исключительную конформность, высокую однородность и плотность, а также минимальное число дефектов. Установка снабжена системой предварительной ВЧ-очистки и активации поверхности подложки перед ПАСО. Возможность нагрева до 500°С позволяет выполнять термическое атомно-слоевое осаждение.
Установка вакуумного напыления
"Ника 2013 МН"
"Ника 2013 МН" создана компанией "Лаборатория вакуумных технологий" на базе универсального базового поста "Ника 2013" и предназначена для магнетронного напыления пленок различного состава (металлы, диэлектрики, полупроводники) на подложки диаметром до 150 мм. Установка комплектуется линейными магнетронами оригинальной конструкции (до 4-х шт.). Для очистки служит газоразрядный источник с холодным катодом ИИ 400, имеющий малую расходимость ионного пучка.
В рабочей камере из нержавеющей стали расположен барабан, в который могут одновременно загружаться до 48 пластин диаметром 100 мм или более 100 пластин размером 60 × 48 мм. Автоматизированная система управления позволяет в одном цикле наносить любую комбинацию слоев материалов из 4-х мишеней с ионной очисткой и нагревом. Возможен контроль сопротивления напыляемых пленок по свидетелю. Магнетрон, работающий в парах мишени, позволяет напылять медь в барабане со скоростью до 1 мкм/мин при мощности блока питания 5 кВт.
"Ника 2013 МН" – первая российская полностью автоматическая установка для контролируемого нанесения многослойных покрытий из четырех произвольно выбираемых мишеней с применением ионного источника и работающего в парах мишени магнетрона, что обеспечивает высокую скорость напыления меди при низких энергетических затратах.
Вакуумная настольная установка магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы
В настольной вакуумной установке VSE-PVD-DESK-PRO производства компании "Вакуумные системы и электроника" реализована технология магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы. Установка предназначена для отработки конкретных технологий перед переносом их на высокопроизводительные установки, получения опытных образцов и прототипов, мелкосерийного производства небольших изделий, проведения научных исследований в материаловедении, приборостроении, электронике, нанесении оптических покрытий, производстве микромеханических устройств и др., а также оптимальна для учебного процесса.
Уникальной разработкой является вакуумная виброкювета для быстрого перемешивания порошков во время напыления. Виброкювета устанавливается на подложкодержатель так, что привод вращения может помещать ее под выбранным технологическим источником: под ионным источником для очистки поверхности частиц порошка, под первым магнетроном для нанесения подслоя, под вторым магнетроном для нанесения покрытия из основного вещества. Это позволяет создавать и исследовать наноматериалы с внутренней многоуровневой структурой, которые состоят из нескольких слоев наноразмерных пленок различного химического состава и характеризуются большой удельной поверхностью при многофазных анизотропных границах между слоями.
Компактная система вращения с дифференциальной откачкой имеет привод от шагового двигателя и оснащена оптическими датчиками положения подложки. Такой привод позволяет не только вращать подложкодержатель в вакууме с требуемой для обеспечения однородности скоростью, но и позиционировать подложку относительно магнетрона или ионного источника с погрешностью менее 1 мм.
Магнетронное распылительное устройство имеет компактную конструкцию с возможностью подачи газа непосредственно в область мишени.
Новые вакуумные элеваторные электропечи для закалки в масло "НИТТИН"
Модельный ряд новых вакуумных элеваторных электропечей производства НПП "НИТТИН" включает установки СЭВФ-3.3/11,5-ИЗМб-НИТТИН, СЭВФ-5.5/11,5-ИЗМб-НИТТИН, СЭВФ-3.3/11,5-ИЗМф-НИТТИН и СЭВФ-5.5/11,5-ИЗМф-НИТТИН. Электропечи состоят из вертикальной вакуумной камеры и расположенной с трех сторон от нее эстакады (рабочей площадки). Под эстакадой размещены вакуумная система и система водяного охлаждения, шкаф электропитания и управления, а также понижающий печной трансформатор.
Вакуумная камера представляет собой двухстеночный водоохлаждаемый кожух из листовой конструкционной стали. В верхней зоне вакуумной камеры смонтирован футерованный корундом нагревательный модуль. В средней (загрузочной) зоне находится загрузочный люк. В нижней зоне (закалочном баке) происходит охлаждение садки в масле. Вакуумная система предназначена для откачки рабочей камеры электропечи до остаточного давления 0,133 Па (1·10-3мм рт.ст.) и состоит из форвакуумной и бустерной систем.
В новых вакуумных электропечах операции закалки, удаления остатков закалочного масла (вакуумное обезмасливание) и вакуумный отпуск впервые выполняются в одном цикле. Таким образом, после термообработки не надо удалять припуски, а сам процесс стал финишным, поэтому отпадает необходимость в моечной машине, утилизации моечного раствора, а также в дополнительной электропечи для отпуска. Электропечи являются экологически чистым оборудованием, в котором отсутствует выброс химически активных газов, что обеспечивает их взрыво- и пожаробезопасность в процессе эксплуатации.
***
В социально-экономических приоритетах нашего государства особое место занимают вопросы развития наукоемких отраслей производства с высоким уровнем добавленной стоимости. Именно к таким наукоемким отраслям относятся вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология. Не вызывает сомнения, что выставка "ВакуумТехЭкспо" будет содействовать развитию российской инновационной отрасли.
Отзывы читателей
