eng
Выпуск #3/2015
Д.Коростелев, Д.Яминский, И.Яминский
Отечественной наноиндустрии – российские станки и обрабатывающие центры
Отечественной наноиндустрии – российские станки и обрабатывающие центры
Просмотры: 5313
На основе анализа состояния рынка станков с ЧПУ и обрабатывающих центров показано, что они имеют платежеобеспеченный спрос. Представлена информация о фрезерно-гравировальном станке с ЧПУ АТС 3000, диагностическом комплексе Биодозатор для 2D- и 3D-печати, станке с ЧПУ для обработки корундовой керамики.
DOI: 10.22184/1993-8578.2015.57.3.60.68
DOI: 10.22184/1993-8578.2015.57.3.60.68
Теги: cnc machine tools machining centers milling and engraving machines обрабатывающие центры станки с чпу фрезерно-гравировальные станки
За последние 40 лет в России не было запущено ни одного нового отечественного завода по производству механообрабатывающего оборудования. Единственное за этот период новое предприятие открыто немецко-японским концерном DMG Mori Seiki 18 июня 2014 года на территории промышленной зоны "Заволжье" в Ульяновске. Завод начал выпуск двух моделей с ЧПУ: универсальных токарных станков и вертикально-фрезерных обрабатывающих центров, апробированных ранее в Германии. При этом, по данным DMG Mori Seiki, спрос на станки в России в последние годы стабильно растет. Эту информацию подтверждает и японский концерн Sodick, мировой лидер по производству электро-искровых станков. С Sodick в России уже давно установлена плодотворная кооперация в области обучения студентов, аспирантов и молодых специалистов. Например, успешное выполнение образовательной программы "НаноТокарь" стало возможным благодаря энергичной поддержке со стороны российского представительства концерна [1].
Рынок
Доля машиностроения в объеме промышленного производства в России оценивается в 19,5%. Для сравнения: доля станкостроения в объеме машиностроения в Германии, Японии, США и других развитых странах составляет от 39 до 45%. Еще в 1990 году СССР занимал третье место в мире по производству и второе – по потреблению механообрабатывающего оборудования. Сегодня Россия находится по этим показателям соответственно на 22-м и 17-м местах. Начиная с 2002 года импорт механообрабатывающего оборудования превышает его внутреннее производство. Зависимость России от поставок станков из-за рубежа составила в 2006 году 87%. В настоящее время производство станков и оборудования в 14,5 раза меньше, чем в РСФСР в 1990 году. В структуре мирового рынка станков доля нашей страны составляет 0,3%. На основе данных показателей можно сделать выводы, что ниша производства обрабатывающих центров и средств автоматизации в России не занята, а конкуренция среди отечественных производителей практически отсутствует.
На диаграмме, представленной на рис.1, отображено внутреннее потребление станкостроительного оборудования в России. В 2014 году объем рынка составил 130 млрд. рублей. Мы прогнозируем ежегодный его рост на 15%.
В сегменте недорогого оборудования основные конкуренты отечественным компаниям – производители из КНР, которые занимают около 35% российского рынка обрабатывающего оборудования низшего ценового сегмента (стоимостью до 2 млн. рублей). В дорогом сегменте лидирует Япония, доля которой составляет около 14%, далее идут Швеция, Тайвань, США и Германия.
Объем платежеспособного спроса можно оценить с помощью данных российской поисковой системы Яндекс. Статистика запросов на конкретную номенклатуру станков из wordstat.yandex.ru приведена на рис.2. На основании запросов в поисковых системах можно сделать выводы о стабильном спросе на внутреннем рынке. Высоко оценивается и возможность выхода российского оборудования на рынки стран СНГ, где отсутствует собственное производство станков.
На рис.3 приведены данные Минпромторга об импорте и производстве станков в 2012 году.
Фрезерно-гравировальные станки с ЧПУ
В 2014 году "Центр перспективных технологий" разработал серию фрезерно-гравировальных станков с ЧПУ, включающую модели АТС-400, АТС-3000, АТС-6000 и АТС-8000, и продал более 30 станков разных модификаций. На данный момент на базе программного обеспечения для управления сканирующими зондовыми микроскопами завершена разработка ПО для автоматизированных программных станций.
Фрезерно-гравировальный станок портального типа с ЧПУ применяется для 2D-, 2,5D- и 3D-фрезерной обработки любых пород дерева, композитов из дерева, всех видов пластиков, мягких металлов и сплавов (например, алюминия и дюралюминия).
Основные особенности обрабатывающего центра целесообразно рассмотреть на базе фрезерно-гравировального станка с ЧПУ АТС 3000 (рис.4):
•высота пролета портала 200 мм позволяет обрабатывать габаритные заготовки, в том числе, изделия в сборе (например, для гравирования маркировки), а также дает возможность установки четвертой оси;
•по оси Z предусмотрен ход шпинделя за пределы зоны обработки с запасом на фрезу (70 мм) и холостые ходы (10 мм), что обеспечивает удобство замены фрез;
•используются четыре привода, два из которых несут портал станка (сдвоенная ось Y). Благодаря этому повышена жесткость конструкции и возможна автоюстировка портала на перпендикулярность осей;
•шпиндель с водяным охлаждением обеспечивает низкий шум при работе, малый разброс (так как отсутствует воздушный поток) мелких продуктов обработки даже без применения насадки аспирации, что важно при использовании четвертой оси;
•зубчатые рейки с классом точности С7 более устойчивы к пыли, чем шарико-винтовая передача;
•вместо шаговых двигателей по всем осям установлены бесщеточные сервоприводы.
3D-обрабатывающие станки АТС уже работают на производстве. Следующий шаг – создание полнофункциональных цифровых станков для обработки всего спектра конструкционных материалов, в том числе стали, чугуна и титана. При этом "Центр перспективных технологий" уделяет особое внимание ускоренной разработке новых модификаций цифровых станков и роботизированных центров. При использовании созданной программно-аппаратной платформы проведена разработка систем перемещения и управления для ряда других высокотехнологичных приложений, в числе которых биодозатор для 2D- и 3D-печати, а также станок с ЧПУ для обработки корундовой керамики.
Биодозатор для 2D- и 3D-печати
Биодозатор для 2D-печати позволяет наносить заданные количества биоматериала на плоские носители – многолуночные планшеты. Он используется в производстве биочипов для фотометрических биосенсоров на бактериальные и вирусные инфекции, а также может применяться для изготовления других типов биосенсоров, например, флуоресцентных. Биодозатор для 3D-печати позволяет строить биополимерные каркасные структуры для разработки биоимплантатов, а в перспективе – искусственных органов.
Биодозаторы построены на основе техники сканирующей ион-проводящей микроскопии с системой обратной связи и микро- и нанокапиллярами из кварца и стекла различных марок. Диаметр используемых капилляров находится в диапазоне от 10 нм (нанесение ферментов, белков, биомакромолекул) до десятков мкм (нанесение живых клеток). Точность позиционирования составляет 1–50 нм в зависимости от типа капилляра, рабочая область нанесения – от 10 × 10 мкм2 до 10 × 10 мм2.
Станок с ЧПУ для обработки корундовой керамики
Корундовая керамика является одной из кристаллических модификаций оксида алюминия α-Al2O3, обладающего высокими электрическими, механическими и тепловыми свойствами. Одна из разновидностей корундовой керамики – поликор. Эта прозрачная керамика характеризуется высоким коэффициентом пропускания света, хорошими электрическими и механическими характеристиками. Поликор содержит 99,7–99,9% Al2O3 и 0,3–0,2% окиси магния. В отличие от обычной корундовой керамики поликор прозрачен, поэтому из него изготавливают колбы для некоторых специальных источников света. Поликор имеет особо высокую термостойкость и сохраняет электрические характеристики до температуры 400°С, механические – до 1600°С. Благодаря высокой плотности 3,97 г/см3, практически равной плотности Al2O3, можно обеспечить высокую чистоту обработки поверхности.
Производство и обработка поликора требуют особого подхода, так как этот материал очень важен для огромной страны с высокотехнологичной оборонной системой. В основу автоматической линии положены ряд инновационных решений, которые сопряжены друг с другом и заменяют множество ручных операций.
Технологический процесс включает следующие операции:
•автоматическая полировка на чугуне (абразив – алмазная паста);
•автоматическая полировка на текстолите (абразив – алмазная паста);
•автоматическая предварительная промывка изделий от продуктов полировки;
•автоматическое позиционирование заготовок для контурной обрезки лазером;
•обрезка в размер по контуру лазером;
•автоматическая передача изделий в промывку от загрязнений и осадков после лазерной обработки;
•промывка после лазерной обработки в кавитационной среде;
•предварительная сушка;
•финишная сушка;
•проверка (зондовое сканирование) на предмет брака;
•автоматическая отбраковка;
•нанесение защитной пленки для исключения касания поверхности готового изделия руками.
Станция оснащена 12 микроконтроллерами, а синхронизацию и анализ данных проводит ядро программного обеспечения, которое включает удобную интерфейсную часть.
Уникальные разработки
Разработанный уникальный программно-аппаратный комплекс для управления прецизионными системами сканирования и позиционирования защищен свидетельствами на программы для ЭВМ [2–4]. В программах реализованы технические решения с применением FPGA-контроллеров и высокоточных цифро-аналоговых и аналого-цифровых преобразователей, интеллектуальные режимы сканирования, которые учитывают инерционность и механические резонансы подвижных сканирующих систем. Также эти алгоритмы позволяют линеаризовать перемещение зондов и обрабатывающего инструмента с использованием реперных метрологических линеек.
Для обеспечения высоких метрологических параметров авторами выпускается система калибровочных эталонов для измерений расстояний в субмикронном диапазоне. Калибровочные эталоны позволяют осуществлять поверку систем позиционирования и сканирования по всем координатам. Оригинальные решения защищены патентами [5–7].
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп "ФемтоСкан", который стал прототипом для перечисленных выше комплексов, внесен в реестр средств измерений Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии (свидетельство RU.C.27.004.F # 27293 от 3 августа 2012 года). Тип средств измерений утвержден приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 июля 2012 года № 539.
"Центр перспективных технологий" стал одним из первых участников программы "Наносертифика" корпорации "Роснано". В рамках предприятия имеется испытательный центр нанотехнологий и продукции наноиндустрии, который полностью соответствует требованиям Системы добровольной сертификации продукции наноиндустрии.
Развитие обрабатывающих центров будет происходить по пути разработки систем с числовым программным обеспечением и многофункциональных роботизированных систем. Большая часть работы приходится на создание программно-аппаратных средств. При этом успех индустрии в целом требует системной подготовки кадров высокой квалификации. В новых условиях токарь и фрезеровщик становится программистом, материаловедом, инженером и конструктором в одном лице. Все серьезные производители обрабатывающих центров систематическим образом участвуют в подготовке кадров, организации образовательных и учебных программ. Для этих целей при поддержке Правительства Москвы организован Центр молодежного инновационного творчества (ЦМИТ) "Нанотехнологии", в рамках программ которого можно получить начальную информацию о различных станках с ЧПУ, обрабатывающих центрах и пройти углубленную подготовку к новой специальности. Информация об образовательных программах ЦМИТ предоставлена в печати [8–12] и в Интернете на порталах www.ATCindustry.ru, www.startinnovation.com, www.nanoscopy.ru.
Мы приглашаем вас к сотрудничеству!
Литература
1.Яминский И., Ерофеев А., Киселев Г., Колесов Д., Протопопова А. Нанотокарь – это серьезно // Наноиндустрия. 2011. № 4(28). С. 52–55.
2.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа логического контроллера системы сбора-распределения данных ФемтоСкан Х для научных исследований и промышленного применения (Контроллер ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617738, 22 августа 2013 г. Заявка № 2013614905 от 18 июня 2013 г.
3.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа встраиваемого процессора сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан Х (Процессор ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617739, 22 августа 2013 г. Заявка № 2013614907 от 18 июня 2013 г.
4.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа пользовательского интерфейса сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан Х (Интерфейс ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617448, 14 августа 2013 г. Заявка № 2013614902 от 18 июня 2013 г.
5.Мешков Г.Б., Яминский Д.И., Яминский И.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2538029, опубликовано 10.01.2015, Бюл. № 1. Заявка на изобретение № 2013130175/28(044940) от 03.07.2013.
6.Мешков Г.Б., Яминский Д.И., Яминский И.В., Оленин А.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2538024, опубликовано 10.01.2015, Бюл. № 1. Заявка на изобретение
№ 2013130176/28(044943) от 03.07.2013.
7.Яминский Д.И., Яминский И.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2386989, 20.04.2010, Бюл.
№ 11. Заявка № 2007111324 от 10.10.2008.
8.Мешков Г., Синицына О., Яминский Д., Яминский И. Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии": конкурсы объявлены // Наноиндустрия. 2014. № 7(50). С. 50–54.
9.Яминский И., Мешков Г.. Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии" // Наноиндустрия. 2014. № 4(50). С. 60–66.
10.Яминский И. ЦМИТ "Нанотехнологии": первые шаги // Наноиндустрия. 2014. № 6(52). С. 44–48.
11.Федосеев А., Яминский И. Неделя инноваций в Москве: 2-я Всероссийская конференция ЦМИТ "Коммерциализация креативности" и открытие ЦМИТ "Нанотехнологии" // Наноиндустрия. 2014. № 8(54). С. 32–40.
12.Коростелев Д., Яминский Д., Яминский И. Обрабатывающие центры для наноиндустрии // Наноиндустрия. 2015. № 8(55). С. 64–70.
* Центр перспективных технологий, МГУ им. М.В.Ломоносова / Advanced Technologies Center, Lomonosov Moscow State University.
Рынок
Доля машиностроения в объеме промышленного производства в России оценивается в 19,5%. Для сравнения: доля станкостроения в объеме машиностроения в Германии, Японии, США и других развитых странах составляет от 39 до 45%. Еще в 1990 году СССР занимал третье место в мире по производству и второе – по потреблению механообрабатывающего оборудования. Сегодня Россия находится по этим показателям соответственно на 22-м и 17-м местах. Начиная с 2002 года импорт механообрабатывающего оборудования превышает его внутреннее производство. Зависимость России от поставок станков из-за рубежа составила в 2006 году 87%. В настоящее время производство станков и оборудования в 14,5 раза меньше, чем в РСФСР в 1990 году. В структуре мирового рынка станков доля нашей страны составляет 0,3%. На основе данных показателей можно сделать выводы, что ниша производства обрабатывающих центров и средств автоматизации в России не занята, а конкуренция среди отечественных производителей практически отсутствует.
На диаграмме, представленной на рис.1, отображено внутреннее потребление станкостроительного оборудования в России. В 2014 году объем рынка составил 130 млрд. рублей. Мы прогнозируем ежегодный его рост на 15%.
В сегменте недорогого оборудования основные конкуренты отечественным компаниям – производители из КНР, которые занимают около 35% российского рынка обрабатывающего оборудования низшего ценового сегмента (стоимостью до 2 млн. рублей). В дорогом сегменте лидирует Япония, доля которой составляет около 14%, далее идут Швеция, Тайвань, США и Германия.
Объем платежеспособного спроса можно оценить с помощью данных российской поисковой системы Яндекс. Статистика запросов на конкретную номенклатуру станков из wordstat.yandex.ru приведена на рис.2. На основании запросов в поисковых системах можно сделать выводы о стабильном спросе на внутреннем рынке. Высоко оценивается и возможность выхода российского оборудования на рынки стран СНГ, где отсутствует собственное производство станков.
На рис.3 приведены данные Минпромторга об импорте и производстве станков в 2012 году.
Фрезерно-гравировальные станки с ЧПУ
В 2014 году "Центр перспективных технологий" разработал серию фрезерно-гравировальных станков с ЧПУ, включающую модели АТС-400, АТС-3000, АТС-6000 и АТС-8000, и продал более 30 станков разных модификаций. На данный момент на базе программного обеспечения для управления сканирующими зондовыми микроскопами завершена разработка ПО для автоматизированных программных станций.
Фрезерно-гравировальный станок портального типа с ЧПУ применяется для 2D-, 2,5D- и 3D-фрезерной обработки любых пород дерева, композитов из дерева, всех видов пластиков, мягких металлов и сплавов (например, алюминия и дюралюминия).
Основные особенности обрабатывающего центра целесообразно рассмотреть на базе фрезерно-гравировального станка с ЧПУ АТС 3000 (рис.4):
•высота пролета портала 200 мм позволяет обрабатывать габаритные заготовки, в том числе, изделия в сборе (например, для гравирования маркировки), а также дает возможность установки четвертой оси;
•по оси Z предусмотрен ход шпинделя за пределы зоны обработки с запасом на фрезу (70 мм) и холостые ходы (10 мм), что обеспечивает удобство замены фрез;
•используются четыре привода, два из которых несут портал станка (сдвоенная ось Y). Благодаря этому повышена жесткость конструкции и возможна автоюстировка портала на перпендикулярность осей;
•шпиндель с водяным охлаждением обеспечивает низкий шум при работе, малый разброс (так как отсутствует воздушный поток) мелких продуктов обработки даже без применения насадки аспирации, что важно при использовании четвертой оси;
•зубчатые рейки с классом точности С7 более устойчивы к пыли, чем шарико-винтовая передача;
•вместо шаговых двигателей по всем осям установлены бесщеточные сервоприводы.
3D-обрабатывающие станки АТС уже работают на производстве. Следующий шаг – создание полнофункциональных цифровых станков для обработки всего спектра конструкционных материалов, в том числе стали, чугуна и титана. При этом "Центр перспективных технологий" уделяет особое внимание ускоренной разработке новых модификаций цифровых станков и роботизированных центров. При использовании созданной программно-аппаратной платформы проведена разработка систем перемещения и управления для ряда других высокотехнологичных приложений, в числе которых биодозатор для 2D- и 3D-печати, а также станок с ЧПУ для обработки корундовой керамики.
Биодозатор для 2D- и 3D-печати
Биодозатор для 2D-печати позволяет наносить заданные количества биоматериала на плоские носители – многолуночные планшеты. Он используется в производстве биочипов для фотометрических биосенсоров на бактериальные и вирусные инфекции, а также может применяться для изготовления других типов биосенсоров, например, флуоресцентных. Биодозатор для 3D-печати позволяет строить биополимерные каркасные структуры для разработки биоимплантатов, а в перспективе – искусственных органов.
Биодозаторы построены на основе техники сканирующей ион-проводящей микроскопии с системой обратной связи и микро- и нанокапиллярами из кварца и стекла различных марок. Диаметр используемых капилляров находится в диапазоне от 10 нм (нанесение ферментов, белков, биомакромолекул) до десятков мкм (нанесение живых клеток). Точность позиционирования составляет 1–50 нм в зависимости от типа капилляра, рабочая область нанесения – от 10 × 10 мкм2 до 10 × 10 мм2.
Станок с ЧПУ для обработки корундовой керамики
Корундовая керамика является одной из кристаллических модификаций оксида алюминия α-Al2O3, обладающего высокими электрическими, механическими и тепловыми свойствами. Одна из разновидностей корундовой керамики – поликор. Эта прозрачная керамика характеризуется высоким коэффициентом пропускания света, хорошими электрическими и механическими характеристиками. Поликор содержит 99,7–99,9% Al2O3 и 0,3–0,2% окиси магния. В отличие от обычной корундовой керамики поликор прозрачен, поэтому из него изготавливают колбы для некоторых специальных источников света. Поликор имеет особо высокую термостойкость и сохраняет электрические характеристики до температуры 400°С, механические – до 1600°С. Благодаря высокой плотности 3,97 г/см3, практически равной плотности Al2O3, можно обеспечить высокую чистоту обработки поверхности.
Производство и обработка поликора требуют особого подхода, так как этот материал очень важен для огромной страны с высокотехнологичной оборонной системой. В основу автоматической линии положены ряд инновационных решений, которые сопряжены друг с другом и заменяют множество ручных операций.
Технологический процесс включает следующие операции:
•автоматическая полировка на чугуне (абразив – алмазная паста);
•автоматическая полировка на текстолите (абразив – алмазная паста);
•автоматическая предварительная промывка изделий от продуктов полировки;
•автоматическое позиционирование заготовок для контурной обрезки лазером;
•обрезка в размер по контуру лазером;
•автоматическая передача изделий в промывку от загрязнений и осадков после лазерной обработки;
•промывка после лазерной обработки в кавитационной среде;
•предварительная сушка;
•финишная сушка;
•проверка (зондовое сканирование) на предмет брака;
•автоматическая отбраковка;
•нанесение защитной пленки для исключения касания поверхности готового изделия руками.
Станция оснащена 12 микроконтроллерами, а синхронизацию и анализ данных проводит ядро программного обеспечения, которое включает удобную интерфейсную часть.
Уникальные разработки
Разработанный уникальный программно-аппаратный комплекс для управления прецизионными системами сканирования и позиционирования защищен свидетельствами на программы для ЭВМ [2–4]. В программах реализованы технические решения с применением FPGA-контроллеров и высокоточных цифро-аналоговых и аналого-цифровых преобразователей, интеллектуальные режимы сканирования, которые учитывают инерционность и механические резонансы подвижных сканирующих систем. Также эти алгоритмы позволяют линеаризовать перемещение зондов и обрабатывающего инструмента с использованием реперных метрологических линеек.
Для обеспечения высоких метрологических параметров авторами выпускается система калибровочных эталонов для измерений расстояний в субмикронном диапазоне. Калибровочные эталоны позволяют осуществлять поверку систем позиционирования и сканирования по всем координатам. Оригинальные решения защищены патентами [5–7].
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп "ФемтоСкан", который стал прототипом для перечисленных выше комплексов, внесен в реестр средств измерений Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии (свидетельство RU.C.27.004.F # 27293 от 3 августа 2012 года). Тип средств измерений утвержден приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 июля 2012 года № 539.
"Центр перспективных технологий" стал одним из первых участников программы "Наносертифика" корпорации "Роснано". В рамках предприятия имеется испытательный центр нанотехнологий и продукции наноиндустрии, который полностью соответствует требованиям Системы добровольной сертификации продукции наноиндустрии.
Развитие обрабатывающих центров будет происходить по пути разработки систем с числовым программным обеспечением и многофункциональных роботизированных систем. Большая часть работы приходится на создание программно-аппаратных средств. При этом успех индустрии в целом требует системной подготовки кадров высокой квалификации. В новых условиях токарь и фрезеровщик становится программистом, материаловедом, инженером и конструктором в одном лице. Все серьезные производители обрабатывающих центров систематическим образом участвуют в подготовке кадров, организации образовательных и учебных программ. Для этих целей при поддержке Правительства Москвы организован Центр молодежного инновационного творчества (ЦМИТ) "Нанотехнологии", в рамках программ которого можно получить начальную информацию о различных станках с ЧПУ, обрабатывающих центрах и пройти углубленную подготовку к новой специальности. Информация об образовательных программах ЦМИТ предоставлена в печати [8–12] и в Интернете на порталах www.ATCindustry.ru, www.startinnovation.com, www.nanoscopy.ru.
Мы приглашаем вас к сотрудничеству!
Литература
1.Яминский И., Ерофеев А., Киселев Г., Колесов Д., Протопопова А. Нанотокарь – это серьезно // Наноиндустрия. 2011. № 4(28). С. 52–55.
2.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа логического контроллера системы сбора-распределения данных ФемтоСкан Х для научных исследований и промышленного применения (Контроллер ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617738, 22 августа 2013 г. Заявка № 2013614905 от 18 июня 2013 г.
3.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа встраиваемого процессора сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан Х (Процессор ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617739, 22 августа 2013 г. Заявка № 2013614907 от 18 июня 2013 г.
4.Савинов С.В., Яминский И.В., Мешков Г.Б. Программа пользовательского интерфейса сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан Х (Интерфейс ФемтоСкан Х). Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2013617448, 14 августа 2013 г. Заявка № 2013614902 от 18 июня 2013 г.
5.Мешков Г.Б., Яминский Д.И., Яминский И.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2538029, опубликовано 10.01.2015, Бюл. № 1. Заявка на изобретение № 2013130175/28(044940) от 03.07.2013.
6.Мешков Г.Б., Яминский Д.И., Яминский И.В., Оленин А.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2538024, опубликовано 10.01.2015, Бюл. № 1. Заявка на изобретение
№ 2013130176/28(044943) от 03.07.2013.
7.Яминский Д.И., Яминский И.В. Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Патент на изобретение № 2386989, 20.04.2010, Бюл.
№ 11. Заявка № 2007111324 от 10.10.2008.
8.Мешков Г., Синицына О., Яминский Д., Яминский И. Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии": конкурсы объявлены // Наноиндустрия. 2014. № 7(50). С. 50–54.
9.Яминский И., Мешков Г.. Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии" // Наноиндустрия. 2014. № 4(50). С. 60–66.
10.Яминский И. ЦМИТ "Нанотехнологии": первые шаги // Наноиндустрия. 2014. № 6(52). С. 44–48.
11.Федосеев А., Яминский И. Неделя инноваций в Москве: 2-я Всероссийская конференция ЦМИТ "Коммерциализация креативности" и открытие ЦМИТ "Нанотехнологии" // Наноиндустрия. 2014. № 8(54). С. 32–40.
12.Коростелев Д., Яминский Д., Яминский И. Обрабатывающие центры для наноиндустрии // Наноиндустрия. 2015. № 8(55). С. 64–70.
* Центр перспективных технологий, МГУ им. М.В.Ломоносова / Advanced Technologies Center, Lomonosov Moscow State University.
Отзывы читателей
