eng
Международная выставка вакуумной техники, материалов и технологий “ВакуумТехЭкспо" – одно из главных событий в российской наноиндустрии. Участниками форума 2015 года стали более 80 компаний из России, Белоруссии, Бельгии, Великобритании, Германии, Китая, Словакии и США. С выставкой ознакомились более 2,3 тыс. специалистов из 48 регионов России и 12 зарубежных стран. В прошлом номере журнала мы рассказали о лауреатах проводимого в рамках выставки конкурса "Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий", теперь остановимся более подробно на тенденциях развития рынка и связанных с ними особенностях экспозиции.
DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.10.16
DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.10.16
Ориентация на комплексные решения
Для современного рынка высокотехнологичной продукции характерен спрос на комплексные системы, ориентированные на решение конкретных задач заказчиков, и участники выставки продемонстрировали свою готовность соответствовать данному требованию. В частности, об этом свидетельствовала экспозиция, представленная компанией "Интек Аналитика". "В этом году мы фокусируем внимание посетителей на наших возможностях реализации проектов "под ключ", – отметил заместитель генерального директора компании Дмитрий Ловцюс. – Мы готовы выполнить полный цикл работ по проектированию, технической реализации, внедрению, а также последующей гарантийной и послегарантийной сервисной поддержке технических систем различной степени сложности. При этом применяется инновационное оборудование компаний VAT, Edwards, HSR и других наших партнеров".
Учитывая акцент на инжиринге, посетителям выставки предлагалось бесплатно поучаствовать в обучении работе с течеискателем на примере демонстрировавшейся на стенде "Интек Аналитика" двухступенчатой установки. Это простое, но, вместе с тем, высокоэффективное решение включало высоковакуумную камеру, масс-спектрометрический гелиевый течеискатель VIC MS 40, вакуумный и форвакуумный насосы. "В ходе выставки все желающие могли пройти обучение контролю герметичности вакуумных систем, настройке и техническому обслуживанию течеискателя, то есть научиться решать типовые задачи, с которыми сталкиваются специалисты, работающие с вакуумным оборудованием, – продолжает Д.Ловцюс. – Также мы демонстрировали техническое обслуживание безмасляного спирального вакуумного насоса на примере модели Edwards XDS35i – надежного и простого в эксплуатации оборудования для космической отрасли, атомной промышленности, а также различных направлений научных исследований". На стенде компании можно было наглядно познакомиться и с конструкцией современных турбомолекулярных вакуумных насосов Edwards с ротором на магнитном подвесе, причем представленный экземпляр позволял заглянуть внутрь насоса, оценив красоту технических решений и качество изготовления оборудования.
Представленный компанией "Интек Аналитика" высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF c шаговым двигателем и интегрированным контроллером производства VAT (Швейцария) стал одним из победителей конкурса "Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий".
Креативный инжиниринг
Пример эффективного сочетания возможностей зарубежных производителей оборудования и инженерной мысли российских специалистов показала компания "ТЕРЛА". На выставке компания представила следующие решения: вакуумметры Пирани для измерения давлений в диапазоне от 750 до 1∙10-3 Торр в составе сенсора из нержавеющей стали, алюминия или стекла и двухканального контроллера; криовакуумные насосы с производительностью до 65 тыс. л/с для высоковакуумной безмасляной откачки больших вакуумных камер, укомплектованные криорефрижераторами Гиффорда-МакМагона SHI Cryogeincs; высоковакуумные термошкафы с объемом термокамеры до 500 л для сушки, дегазации, выпаривания, поверхностной обработки деталей, полимеризации, тестирования, калибровки барометров и других задач; системы имитации космических условий для проведения испытаний оборудования, работающего в открытом космосе; установки для получения жидкого азота из окружающего воздуха производительностью от 6 л/сут. до 120 л/сут. По словам ведущего специалиста Александра Андросова, все перечисленные системы спроектированы сотрудниками "ТЕРЛА" и собраны из компонентов, изготовленных с привлечением российских и зарубежных подрядчиков.
Новые имена…
Несмотря на политику взаимных санкций и другие неблагоприятные макрополитические и экономические факторы, на российском рынке по-прежнему активно работают европейские, североамериканские и японские компании. В частности, одним из иностранных участников "ВакуумТехЭкспо" стала немецкая фирма scia Systems, которую в России представляет компания "ТехноСистем Трейд". scia Systems из города Хемниц, недалеко от Дрездена, специализируется на промышленных ионно-лучевых системах для травления, напыления, тримминга. Ионно-лучевые системы предназначены для высокоэффективного травления меди, золота и других химически стойких материалов в микроэлектронике, МЭМС, фотонике. Ионно-лучевое напыление позволяет получать плотные пленки, характеризующиеся высокой однородностью. В частности, компания разрабатывает системы напыления для производства зеркал, отражающих УФ-излучение, которые применяются в литографии. Уникальной разработкой scia Systems является установка ионно-лучевого тримминга, предназначенная для коррекции геометрических размеров электронных и оптических компонентов. По словам Дмитрия Беляевского, технического директора компании "ТехноСистем Трейд", scia Systems – единственный производитель ионно-лучевых систем, использующий, помимо ионных источников с RF-плазмой, также микроволновые источники. Последние характеризуются исключительно высокой стабильностью параметров ионного луча.
Также "ТехноСистем Трейд" представила на "ВакуумТехЭкспо" PVD-системы компании Semicore (США). Продуктовая линейка компании включает как лабораторные установки, так и промышленные высокоавтоматизированные системы с магнетронными источниками последнего поколения.
…и постоянные участники
Новые политико-экономические условия не повлияли на подход в работе на российском рынке немецкой компании VACOM, которая является одним из постоянных участников "ВакуумТехЭкспо". В этом году компания представила новую серию ионизационных вакуумметров с горячим катодом серии BARION, включающую четыре модели, которые измеряют давление в диапазоне от среднего до сверхвысокого вакуума. В ускорителях частиц особенно востребован новый ионизационный вакуумметр с холодным катодом COLDION, так как он не выделяет тепла и укомплектован контролируемыми источниками магнитного поля.
Еще одна новинка – геттерно-ионные насосы серии REVION со скоростью откачки от 32 до 67 л/с. Геттерно-ионные насосы используются при изготовлении вакуумных труб, разработке и производстве полупроводников, для симуляции условий открытого космоса и во многих других областях. "Важное преимущество насосов REVION – компактность, благодаря чему они могут монтироваться в условиях, когда для насосов других типов недостаточно места", – отметила специалист VACOM Светлана Янке.
Акцент на наиболее востребованные группы продуктов
Фокусирование внимания специалистов на одной группе решений, которая наиболее близка тематике выставки, – стратегия, которой придерживается компания "ТБС". В этом году в центре внимания было PVD-оборудование производства компании Vinci. "PVD-установки Vinci произведены во Франции, поэтому их качество соответствует самым высоким требованиям, – рассказывает генеральный директор "ТБС" Андрей Тимошин. – Я считаю, что Vinci – идеальное решение для российских лабораторий, так как высокие технические характеристики сочетаются с бюджетной ценой и отсутствием проблем с комплектующими, интеграцией и сервисной поддержкой. Последнему фактору мы уделяем особое внимание, так как абсолютно надежного оборудования, к сожалению, не бывает. Наши сервисные инженеры проходят подготовку во Франции и выполняют полный комплекс работ по установке, наладке, запуску и дальнейшей технической поддержке оборудования Vinci".
Компания Vinci выпускает две модели систем термовакуумного осаждения из паровой фазы: PVD-4, рассчитанную на одну-две подложки, и PVD-10, в которую устанавливается до 15 подложек. Эти компактные системы позволяют совмещать процессы термического и магнетронного напыления, кроме того, PVD-10 может комплектоваться ионным источником.
Новинки оборудования из Китая и США
Китайское оборудование завоевало прочные позиции на рынке решений для высокотехнологичных производств благодаря сочетанию привлекательной цены и все более высокого качества. В связи с этим вполне закономерно, что растет и его доля на российском рынке, тем более, что Китай не присоединился к международным экономическим санкциям.
Несколько новинок от китайских компаний представила на выставке компания "Зенко Плазма". В частности, в этом году в нашей стране дебютировали сухие спиральные насосы Sky. Эта компания является членом академии наук и вакуумного общества Китая, причем ее вакуумные насосы поставляются не только в Россию, но и в Западную Европу, а также США, где завоевали репутацию надежного оборудования.
Известны в технологически развитых странах и мембранные, а также поршневые лабораторные коррозионно-стойкие вакуумные насосы Scientech, которые, по словам технического директора компании "Зенко Плазма" Владимира Васильева, пользуются высоким спросом в российских научных лабораториях химической и биологической направленности.
Также В.Васильев отметил новую серию шиберных затворов в компактном бесштоковом исполнении, которую начала выпускать китайская компания CBVAC.
Помимо новых разработок из Поднебесной, на стенде "Зенко Плазма" была впервые представлена компания Hine Automation (США), производящая вакуумные транспортные системы, вакуумные и атмосферные робототехнические компоненты. Такие системы предназначены, в первую очередь, для производителей изделий полупроводниковой отрасли, фотовольтаики, фотоники – там, где требуется обработка в условиях вакуума, в агрессивных средах. "Это надежные, хорошо зарекомендовавшие себя решения, которые с осени 2014 года стали доступны и российским предприятиям, – отметил В.Васильев. – Я считаю, что у оборудования Hine Automation очень хорошие перспективы в нашей стране, так как оно высокотехнологично, и, при этом, имеет разумную цену. Мы уже реализуем два проекта по установке таких систем, в частности, она будет использоваться на производстве компании "НТ-МДТ".
Бюджетные решения дополняют элитное оборудование
Заметная тенденция на рынке высокотехнологичного оборудования – дополнение модельных линеек лидирующих компаний бюджетными решениями, которые в условиях экономических неурядиц позволяют избежать резкого спада продаж. Например, японская корпорация Shimadzu выпустила линейку гибридных турбомолекулярных насосов с интегрированным контроллером и комбинированной установкой ротора, когда один подшипник имеет систему смазки, другой – магнитный подвес. Такая схема крепления, а также встроенный контроллер позволяют снизить стоимость насоса. Новинка демонстрировалась на стенде компании "Криосистемы". По мнению Максима Савинова, заместителя генерального директора российской компании, новые турбомолекулярных насосы будут способствовать укреплению позиций Shimadzu в этом сегменте российского рынка. Также обновился модельный ряд гелиевых течеискателей Shimadzu – теперь в них применяются более производительные форвакуумные насосы, что обеспечивает возможность проверки на герметичность больших объемов.
Новым партнером "Криосистем" стала тайваньская компания Htc (HighLight Tech Corp.), которая выпускает высококачественную вакуумную арматуру. Последними по времени разработками Htc являются азотные заливные ловушки и шаровые клапаны с пневматическим и электрическим приводами.
Эксклюзивные инжиниринговые разработки
Инжиниринговая компания "МЭЛЗ-Инвест" представила на "ВакуумТехЭкспо" свои новые проекты: систему для металлизации методом пароструйного осаждения и установку электронно-лучевой сварки, плавки и обработки стекла и керамики.
Установка для металлизации, предназначенная для нанесения токопроводящих медных покрытий на пластины из нитрида алюминия размером 48×60 мм, создана для предприятия, которое входит в концерн "Алмаз – Антей". Предусмотрена загрузка кассет емкостью 20 пластин через шлюзовое устройство и их последовательная трехпозиционная обработка, что позволит заказчику получать за один цикл трехслойное покрытие. Наличие двух шлюзовых камер обеспечивает возможность работы в непрерывном режиме.
Установка электронно-лучевой сварки, плавки и обработки стекла и керамики разрабатывается по заказу Минпромторга РФ совместно с МГТУ им. Н.Э.Баумана и компанией "Новые плазменные технологии". "МЭЛЗ-Инвест" отвечает за создание вакуумной системы установки. Заместитель генерального директора "МЭЛЗ-ИНВЕСТ" Леонид Колесник отметил, что технология воздействия на стекло и керамику электронным лучом пока не доведена до стадии промышленного внедрения, поэтому проект призван создать задел для будущего развития данного направления.
"Надежный вакуум"
"РОБВАК" (от Robust Vacuum – надежный вакуум) – инжиниринговый проект компании "Актан Вакуум". "РОБВАК" специализируется на разработке и производстве систем для вакуумного напыления покрытий. Линейка оборудования включает установки как для лабораторных исследований, так и промышленного производства с диаметром вакуумных камер от 20 см до 4 м. Располагая собственной лабораторией по анализу тонких пленок, компания разрабатывает технологии формирования упрочняющих, функциональных и декоративных покрытий для различных отраслей промышленности. Собственный парк вакуумных напылительных систем, увеличивающийся с каждым годом, позволяет предлагать услуги по вакуумному напылению тонкопленочных структур по техзаданию заказчика, или разрабатывать конкретное технологическое решение под задачу клиента.
На стенде "Актан Вакуум" была представлена информация о решениях на базе систем магнетронного и ионно-лучевого распыления, а также резистивного и электронно-лучевого испарения. По словам исполнительного директора "РОБВАК" Михаила Шарапкова, уже поставлено около 20 систем различного класса, и компания активно работает над дальнейшим совершенствованием оборудования.
Большое внимание уделяется международному сотрудничеству. Совместно с корейским партнером, "РОБВАК" продвигает на российский рынок специализированные вакуумные напылительные системы (кластерного типа, проходного типа со шлюзами загрузки-выгрузки, системы для полупроводникового производства) и вакуумные высокотемпературные печи, которые благодаря сочетанию привлекательной цены и высокого качества стали пользоваться высоким спросом. ■
Для современного рынка высокотехнологичной продукции характерен спрос на комплексные системы, ориентированные на решение конкретных задач заказчиков, и участники выставки продемонстрировали свою готовность соответствовать данному требованию. В частности, об этом свидетельствовала экспозиция, представленная компанией "Интек Аналитика". "В этом году мы фокусируем внимание посетителей на наших возможностях реализации проектов "под ключ", – отметил заместитель генерального директора компании Дмитрий Ловцюс. – Мы готовы выполнить полный цикл работ по проектированию, технической реализации, внедрению, а также последующей гарантийной и послегарантийной сервисной поддержке технических систем различной степени сложности. При этом применяется инновационное оборудование компаний VAT, Edwards, HSR и других наших партнеров".
Учитывая акцент на инжиринге, посетителям выставки предлагалось бесплатно поучаствовать в обучении работе с течеискателем на примере демонстрировавшейся на стенде "Интек Аналитика" двухступенчатой установки. Это простое, но, вместе с тем, высокоэффективное решение включало высоковакуумную камеру, масс-спектрометрический гелиевый течеискатель VIC MS 40, вакуумный и форвакуумный насосы. "В ходе выставки все желающие могли пройти обучение контролю герметичности вакуумных систем, настройке и техническому обслуживанию течеискателя, то есть научиться решать типовые задачи, с которыми сталкиваются специалисты, работающие с вакуумным оборудованием, – продолжает Д.Ловцюс. – Также мы демонстрировали техническое обслуживание безмасляного спирального вакуумного насоса на примере модели Edwards XDS35i – надежного и простого в эксплуатации оборудования для космической отрасли, атомной промышленности, а также различных направлений научных исследований". На стенде компании можно было наглядно познакомиться и с конструкцией современных турбомолекулярных вакуумных насосов Edwards с ротором на магнитном подвесе, причем представленный экземпляр позволял заглянуть внутрь насоса, оценив красоту технических решений и качество изготовления оборудования.
Представленный компанией "Интек Аналитика" высоковакуумный натекатель VAT Series 59 DN16CF c шаговым двигателем и интегрированным контроллером производства VAT (Швейцария) стал одним из победителей конкурса "Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий".
Креативный инжиниринг
Пример эффективного сочетания возможностей зарубежных производителей оборудования и инженерной мысли российских специалистов показала компания "ТЕРЛА". На выставке компания представила следующие решения: вакуумметры Пирани для измерения давлений в диапазоне от 750 до 1∙10-3 Торр в составе сенсора из нержавеющей стали, алюминия или стекла и двухканального контроллера; криовакуумные насосы с производительностью до 65 тыс. л/с для высоковакуумной безмасляной откачки больших вакуумных камер, укомплектованные криорефрижераторами Гиффорда-МакМагона SHI Cryogeincs; высоковакуумные термошкафы с объемом термокамеры до 500 л для сушки, дегазации, выпаривания, поверхностной обработки деталей, полимеризации, тестирования, калибровки барометров и других задач; системы имитации космических условий для проведения испытаний оборудования, работающего в открытом космосе; установки для получения жидкого азота из окружающего воздуха производительностью от 6 л/сут. до 120 л/сут. По словам ведущего специалиста Александра Андросова, все перечисленные системы спроектированы сотрудниками "ТЕРЛА" и собраны из компонентов, изготовленных с привлечением российских и зарубежных подрядчиков.
Новые имена…
Несмотря на политику взаимных санкций и другие неблагоприятные макрополитические и экономические факторы, на российском рынке по-прежнему активно работают европейские, североамериканские и японские компании. В частности, одним из иностранных участников "ВакуумТехЭкспо" стала немецкая фирма scia Systems, которую в России представляет компания "ТехноСистем Трейд". scia Systems из города Хемниц, недалеко от Дрездена, специализируется на промышленных ионно-лучевых системах для травления, напыления, тримминга. Ионно-лучевые системы предназначены для высокоэффективного травления меди, золота и других химически стойких материалов в микроэлектронике, МЭМС, фотонике. Ионно-лучевое напыление позволяет получать плотные пленки, характеризующиеся высокой однородностью. В частности, компания разрабатывает системы напыления для производства зеркал, отражающих УФ-излучение, которые применяются в литографии. Уникальной разработкой scia Systems является установка ионно-лучевого тримминга, предназначенная для коррекции геометрических размеров электронных и оптических компонентов. По словам Дмитрия Беляевского, технического директора компании "ТехноСистем Трейд", scia Systems – единственный производитель ионно-лучевых систем, использующий, помимо ионных источников с RF-плазмой, также микроволновые источники. Последние характеризуются исключительно высокой стабильностью параметров ионного луча.
Также "ТехноСистем Трейд" представила на "ВакуумТехЭкспо" PVD-системы компании Semicore (США). Продуктовая линейка компании включает как лабораторные установки, так и промышленные высокоавтоматизированные системы с магнетронными источниками последнего поколения.
…и постоянные участники
Новые политико-экономические условия не повлияли на подход в работе на российском рынке немецкой компании VACOM, которая является одним из постоянных участников "ВакуумТехЭкспо". В этом году компания представила новую серию ионизационных вакуумметров с горячим катодом серии BARION, включающую четыре модели, которые измеряют давление в диапазоне от среднего до сверхвысокого вакуума. В ускорителях частиц особенно востребован новый ионизационный вакуумметр с холодным катодом COLDION, так как он не выделяет тепла и укомплектован контролируемыми источниками магнитного поля.
Еще одна новинка – геттерно-ионные насосы серии REVION со скоростью откачки от 32 до 67 л/с. Геттерно-ионные насосы используются при изготовлении вакуумных труб, разработке и производстве полупроводников, для симуляции условий открытого космоса и во многих других областях. "Важное преимущество насосов REVION – компактность, благодаря чему они могут монтироваться в условиях, когда для насосов других типов недостаточно места", – отметила специалист VACOM Светлана Янке.
Акцент на наиболее востребованные группы продуктов
Фокусирование внимания специалистов на одной группе решений, которая наиболее близка тематике выставки, – стратегия, которой придерживается компания "ТБС". В этом году в центре внимания было PVD-оборудование производства компании Vinci. "PVD-установки Vinci произведены во Франции, поэтому их качество соответствует самым высоким требованиям, – рассказывает генеральный директор "ТБС" Андрей Тимошин. – Я считаю, что Vinci – идеальное решение для российских лабораторий, так как высокие технические характеристики сочетаются с бюджетной ценой и отсутствием проблем с комплектующими, интеграцией и сервисной поддержкой. Последнему фактору мы уделяем особое внимание, так как абсолютно надежного оборудования, к сожалению, не бывает. Наши сервисные инженеры проходят подготовку во Франции и выполняют полный комплекс работ по установке, наладке, запуску и дальнейшей технической поддержке оборудования Vinci".
Компания Vinci выпускает две модели систем термовакуумного осаждения из паровой фазы: PVD-4, рассчитанную на одну-две подложки, и PVD-10, в которую устанавливается до 15 подложек. Эти компактные системы позволяют совмещать процессы термического и магнетронного напыления, кроме того, PVD-10 может комплектоваться ионным источником.
Новинки оборудования из Китая и США
Китайское оборудование завоевало прочные позиции на рынке решений для высокотехнологичных производств благодаря сочетанию привлекательной цены и все более высокого качества. В связи с этим вполне закономерно, что растет и его доля на российском рынке, тем более, что Китай не присоединился к международным экономическим санкциям.
Несколько новинок от китайских компаний представила на выставке компания "Зенко Плазма". В частности, в этом году в нашей стране дебютировали сухие спиральные насосы Sky. Эта компания является членом академии наук и вакуумного общества Китая, причем ее вакуумные насосы поставляются не только в Россию, но и в Западную Европу, а также США, где завоевали репутацию надежного оборудования.
Известны в технологически развитых странах и мембранные, а также поршневые лабораторные коррозионно-стойкие вакуумные насосы Scientech, которые, по словам технического директора компании "Зенко Плазма" Владимира Васильева, пользуются высоким спросом в российских научных лабораториях химической и биологической направленности.
Также В.Васильев отметил новую серию шиберных затворов в компактном бесштоковом исполнении, которую начала выпускать китайская компания CBVAC.
Помимо новых разработок из Поднебесной, на стенде "Зенко Плазма" была впервые представлена компания Hine Automation (США), производящая вакуумные транспортные системы, вакуумные и атмосферные робототехнические компоненты. Такие системы предназначены, в первую очередь, для производителей изделий полупроводниковой отрасли, фотовольтаики, фотоники – там, где требуется обработка в условиях вакуума, в агрессивных средах. "Это надежные, хорошо зарекомендовавшие себя решения, которые с осени 2014 года стали доступны и российским предприятиям, – отметил В.Васильев. – Я считаю, что у оборудования Hine Automation очень хорошие перспективы в нашей стране, так как оно высокотехнологично, и, при этом, имеет разумную цену. Мы уже реализуем два проекта по установке таких систем, в частности, она будет использоваться на производстве компании "НТ-МДТ".
Бюджетные решения дополняют элитное оборудование
Заметная тенденция на рынке высокотехнологичного оборудования – дополнение модельных линеек лидирующих компаний бюджетными решениями, которые в условиях экономических неурядиц позволяют избежать резкого спада продаж. Например, японская корпорация Shimadzu выпустила линейку гибридных турбомолекулярных насосов с интегрированным контроллером и комбинированной установкой ротора, когда один подшипник имеет систему смазки, другой – магнитный подвес. Такая схема крепления, а также встроенный контроллер позволяют снизить стоимость насоса. Новинка демонстрировалась на стенде компании "Криосистемы". По мнению Максима Савинова, заместителя генерального директора российской компании, новые турбомолекулярных насосы будут способствовать укреплению позиций Shimadzu в этом сегменте российского рынка. Также обновился модельный ряд гелиевых течеискателей Shimadzu – теперь в них применяются более производительные форвакуумные насосы, что обеспечивает возможность проверки на герметичность больших объемов.
Новым партнером "Криосистем" стала тайваньская компания Htc (HighLight Tech Corp.), которая выпускает высококачественную вакуумную арматуру. Последними по времени разработками Htc являются азотные заливные ловушки и шаровые клапаны с пневматическим и электрическим приводами.
Эксклюзивные инжиниринговые разработки
Инжиниринговая компания "МЭЛЗ-Инвест" представила на "ВакуумТехЭкспо" свои новые проекты: систему для металлизации методом пароструйного осаждения и установку электронно-лучевой сварки, плавки и обработки стекла и керамики.
Установка для металлизации, предназначенная для нанесения токопроводящих медных покрытий на пластины из нитрида алюминия размером 48×60 мм, создана для предприятия, которое входит в концерн "Алмаз – Антей". Предусмотрена загрузка кассет емкостью 20 пластин через шлюзовое устройство и их последовательная трехпозиционная обработка, что позволит заказчику получать за один цикл трехслойное покрытие. Наличие двух шлюзовых камер обеспечивает возможность работы в непрерывном режиме.
Установка электронно-лучевой сварки, плавки и обработки стекла и керамики разрабатывается по заказу Минпромторга РФ совместно с МГТУ им. Н.Э.Баумана и компанией "Новые плазменные технологии". "МЭЛЗ-Инвест" отвечает за создание вакуумной системы установки. Заместитель генерального директора "МЭЛЗ-ИНВЕСТ" Леонид Колесник отметил, что технология воздействия на стекло и керамику электронным лучом пока не доведена до стадии промышленного внедрения, поэтому проект призван создать задел для будущего развития данного направления.
"Надежный вакуум"
"РОБВАК" (от Robust Vacuum – надежный вакуум) – инжиниринговый проект компании "Актан Вакуум". "РОБВАК" специализируется на разработке и производстве систем для вакуумного напыления покрытий. Линейка оборудования включает установки как для лабораторных исследований, так и промышленного производства с диаметром вакуумных камер от 20 см до 4 м. Располагая собственной лабораторией по анализу тонких пленок, компания разрабатывает технологии формирования упрочняющих, функциональных и декоративных покрытий для различных отраслей промышленности. Собственный парк вакуумных напылительных систем, увеличивающийся с каждым годом, позволяет предлагать услуги по вакуумному напылению тонкопленочных структур по техзаданию заказчика, или разрабатывать конкретное технологическое решение под задачу клиента.
На стенде "Актан Вакуум" была представлена информация о решениях на базе систем магнетронного и ионно-лучевого распыления, а также резистивного и электронно-лучевого испарения. По словам исполнительного директора "РОБВАК" Михаила Шарапкова, уже поставлено около 20 систем различного класса, и компания активно работает над дальнейшим совершенствованием оборудования.
Большое внимание уделяется международному сотрудничеству. Совместно с корейским партнером, "РОБВАК" продвигает на российский рынок специализированные вакуумные напылительные системы (кластерного типа, проходного типа со шлюзами загрузки-выгрузки, системы для полупроводникового производства) и вакуумные высокотемпературные печи, которые благодаря сочетанию привлекательной цены и высокого качества стали пользоваться высоким спросом. ■
Отзывы читателей
