В 2002 году Международной организацией по стандартизации был принят стандарт ISO 14577, который регламентировал измерение твердости и ряда других механических характеристик методом инструментального индентирования. Рассмотрим историю и перспективы развития этого стандарта, а также реализацию его методик на практике.

DOI:10.22184/1993-8578.2015.61.7.52.60

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)
Книги по нанотехнологиям
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Пул Ч.П. мл., Оуэнс Ф.Дж.
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #7/2015
А.Усеинов, В.Решетов, И.Маслеников, К.Кравчук
ISO – это просто!
Просмотры: 5549
В 2002 году Международной организацией по стандартизации был принят стандарт ISO 14577, который регламентировал измерение твердости и ряда других механических характеристик методом инструментального индентирования. Рассмотрим историю и перспективы развития этого стандарта, а также реализацию его методик на практике.

DOI:10.22184/1993-8578.2015.61.7.52.60
Измерение механических свойств материалов с нанометровым пространственным разрешением прочно вошло в практику современных исследований в области материаловедения. Особенно актуально наномасштабное измерение механических характеристик наноструктурированных конструкционных и функциональных материалов, а также тонких пленок и покрытий. Одна из важнейших характеристик таких материалов – твердость. Поскольку ее определение значительно менее трудоемко, чем большинства других механических свойств, и не сопровождается разрушением изделия, этот вид испытаний широко применяется в промышленности.

Самым распространенным способом измерения твердости является индентирование – вдавливание в образец твердого тела известной формы (индентора) с последующим наблюдением результатов воздействия на материал (отпечатка на его поверхности). В зависимости от формы наконечника и особенностей протоколирования испытаний различают методы измерения по Виккерсу, Бринелю, Кнупу и т.п. Твердость в рамках данных методов определяется как отношение приложенной нагрузки к площади видимого отпечатка.

В результате развития материаловедения, активного внедрения микро- и наноструктурирования, широкого использования тонких пленок и покрытий, методы, базирующиеся на наблюдении отпечатков, перестали отвечать задачам исследователей. На смену им пришел метод, основанный на регистрации и последующей математической обработке зависимости прикладываемой нагрузки от глубины внедрения индентора, характеризующей весь процесс индентирования. Этот принцип позволил выполнять измерения при субмикронных и нанометровых глубинах внедрения, когда непосредственное наблюдение отпечатка крайне затруднительно или невозможно. Особо значим данный подход, если размеры отпечатка находятся в субмикронной области, так как общепринятые для макроиндентирования оптические методы перестают работать, методы СЗМ требуют точного позиционирования в область индента и дополнительного времени для сканирования, а применение электронной микроскопии из-за сложности (в совокупности с пробоподготовкой) и дороговизны практически исключено в рутинных экспериментах.

Основы индентирования, известного в СССР как "метод кинетической твердости", были разработаны советскими учеными С.И.Булычевым и В.П.Алехиным в 1960–70 годах [1]. В течение двух последующих десятилетий шло активное развитие приборной базы для механических испытаний, а также появлялись новые модели, описывающие взаимодействие индентора с материалом при вдавливании [2–4]. Однако широкое распространение метод получил после публикации статьи американских ученых У.Оливера и Дж.Фарра [5], предложивших наиболее согласованную модель анализа экспериментальных данных, а также реализовавших этот метод в одном из первых коммерческих нанотвердомеров.

В 2002 году Международной организацией по стандартизации (ISO) был принят стандарт ISO 14577, который состоял на тот момент из трех частей и регламентировал измерение твердости и ряда других механических характеристик на основе анализа зависимости приложенной нагрузки от глубины внедрения индентора [6]. Данный метод получил устоявшееся название – "инструментальное индентирование". В первой части ISO 14577 изложены общие принципы метода, даны рекомендации по выбору инденторов, рассмотрены вопросы неопределенности измерений. Вторая часть [7] посвящена вопросам калибровки аппаратных средств, применяющихся для выполнения измерений. В третьей части [8] содержатся требования к мерам твердости – образцам, используемым для косвенной калибровки приборов и подтверждения их метрологических характеристик.

В 2007 году была принята четвертая часть стандарта ISO 14577–4 [9], посвященная особенностям применения инструментального индентирования для измерения механических свойств тонких пленок и покрытий. В том же году Американская ассоциация измерений и материалов (American Society of Testing and Materials – ASTM) приняла стандарт E2546-07 [10], в сжатом виде повторяющий все основные положения ISO 14577 1-3. В 2011 году в Российской Федерации появился стандарт ГОСТ Р 8.748-2011 [11], который по своему содержанию соответствует первой части ISO 14577 в редакции 2002 года.

В 2015 году приняли новую редакцию ISO 14577 [12–14], уточняющую и дополняющую многие аспекты измерений методом инструментального индентирования. Также опубликован проект новой редакции четвертой части, который пока не имеет официального статуса.

Международный стандарт ISO 14577

Суть процедуры индентирования в соответствии со стандартом ISO 14577 заключается в том, что индентор вдавливается в поверхность в соответствии с заданным законом увеличения силы или глубины внедрения. После достижения заданного критерия – максимальной нагрузки или глубины внедрения, индентор выдерживается в течение некоторого времени, а затем отводится до полной потери контакта с образцом. В ходе всей процедуры индентирования фиксируются значения нагрузки и перемещения индентора.

Нормальные условия проведения измерений согласно стандарту: температура 23±5°С, относительная влажность не более 50%. Если есть предпосылки для существенного термодрейфа прибора, то рекомендуется в конце участка разгружения, на уровне, соответствующем 10% от максимальной нагрузки, выдержать индентор в течение 60 с. Впоследствии по данному участку следует определить величину термодрейфа, и учесть ее при обработке экспериментальных данных.

Описание метода, а также ключевые соотношения, доступные к измерению методом наноиндентирования, приведены в первой части стандарта. Регламентируются измерения твердости HIT и модуля упругости:

,

где σs– коэффициент Пуассона, EIT – модуль Юнга. Индекс IT обозначает, что эти две величины измерены методом инструментального индентирования и могут отличаться от твердости H и модуля упругости E реального материала, если его свойства не соответствуют использованным в модели предположениям. Отметим, что расчет HIT и EIT требует знать всего лишь три величины из диаграммы "нагрузка – внедрение" F(h): величину максимальной нагрузки Fmax, наклон разгрузочной кривой в точке максимальной нагрузки S, а также максимальное углубление hmax (рис.1).

Дальнейшие вычисления производятся по формулам:

,

,

где

,

.

Индекс tip означает, что величины модуля упругости и коэффициента Пуассона соответствуют материалу индентора. Функция формы индентора A(hc) представляет зависимость площади сечения от контактной глубины и должна быть известна на момент выполнения измерения.

Естественно, что приведенные соотношения имеют свои ограничения. Так, вследствие неосисимметричности индентора, в правую часть модуля упругости вводят поправочный коэффи­циент β, значения которого были вычислены в ряде численных экспериментов [15] и составляют величину в диапазоне от 1,0226 до 1,085. Кроме того, предполагается, что отпечаток индента не имеет пластических навалов (pile-up) и упругого прогиба уровня поверхности (sink-in), материал является гомогенным и упруго-пластичным, причем упругие и пластические свойства независимы друг от друга. Попытки учесть данные эффекты [16, 17] пока не привели к выработке стандартизованного подхода.

ISO 14577 и ГОСТ Р 8.748-2011

В 2011 году в России наконец-то был принят отечественный стандарт ГОСТ Р 8.748-2011 на выполнение измерений методом инструментального индентирования, а в конце 2014 года создан соответствующий государственный эталон твердости. Это существенно облегчило жизнь ученым и технологам, "легализовав" исследования, связанные с измерениями механических свойств на глубинах менее 1 мкм.

По своему содержанию наш стандарт практически дословно повторяет первую часть ISO 14577-1:2002, но есть и отличия, основное из которых состоит в том, что в стандарте ISO твердость имеет размерность Н/мм2 (МПа), а в российском ГОСТ определяет­ся в единицах соответствующей шкалы. Данное отличие, по-видимому, связано с традицией отечественной метрологической школы использовать для твердости шкалы порядка. В этом смысле уход в новом стандарте от единиц СИ продолжает давний спор отечественных ученых и метрологов о физической сути твердости как среднего контактного давления под индентором [18]. При этом, в повседневной практике и те, и другие используют достаточно простые соотношения или таблицы для пересчета значений твердости из одной шкалы в другую.

В целом, можно сказать, что работы по стандартизации наномеханических испытаний очень востребованы как материаловедами, так и разработчиками оборудования. Хочется надеяться, что остальные части ГОСТ появятся в ближайшее время, и в них будут учтены дополнения в стандарт ISO от 2015 года.

Что дальше?

В редакции ISO 14577 от 2015 года учтены многие особенности, выявленные совместными усилиями инженеров, конструирующих нанотвердомеры, и ученых их использующих. В частности, уточнены процедуры по измерению и учету температурных дрейфов аппаратной части, более тщательно прописаны процедуры подготовки и закрепления образцов, более подробно описаны источники погрешностей и их вклад в общую неопределенность измерений, а также доработаны процедуры калибровки и поверки приборов.

В целом, можно констатировать, что за 13 лет накоплен огромный опыт применения нанотвердомеров для самых разных материалов в широком диапазоне условий проведения измерений. Стало понятно, что эти приборы могут использоваться для оценки не только базовых механических характеристик, таких как твердость и модуль упругости, но и целого ряда других специфических свойств: вязких, время-зависимых и т.п. Поэтому в профильных технических комитетах идет активная работа над развитием стандарта ISO 14577: часть 5 будет посвящена вопросам измерения ползучести, часть 6 – динамическим методам индентирования (так назы­ваемым методам непрерывного измерения жесткости – continuous stiffness measurements, CSM), часть 7 – измерениям механических свойств в расширенном температурном диапазоне.

Нанотвердомеры семейства "НаноСкан"

Единственным российским серийным прибором, реализующим метод инструментального индентирования, является нанотвердомер "НаноСкан-4D" [19–22] (рис.2). Данный прибор дает возможность проводить испытания методом склерометрии, измерение твердости и модуля упругости методом инструментального индентирования, а также реализовывать ряд методов атомно-силовой микроскопии. Модуль индентирования нанотвердомера позволяет прикладывать нагрузки в диапазоне от единиц микроньютон до нескольких ньютон, а также измерять смещения в диапазоне от единиц нанометров до миллиметра. Прибор может быть оснащен различными типами наконечников, в число которых входят пирамидальные инденторы Берковича и Виккерса, сферические инденторы, а также наконечники в форме плоского штампа.

Нанотвердомеры семейства "НаноСкан" полностью удовлетворяют всем требованиям и рекомендациям ISO 14577.

Следует отметить, что в рамках стандарта выделяет­ся три уровня выполнения измерений, в зависимости от значений прикладываемой нагрузки F или глубины индентирования h:

• макро (F < 30 кН);

• микро (F < 2Н; h > 0,2 мкм);

• нано (h < 200 нм).

На практике диапазон "макро" в современных нанотвердомерах не используется, поскольку при макромасштабе измерительные задачи успешно решаются с помощью более простых и доступных приборов по давно устоявшимся методикам.

Особое внимание следует обратить на тот факт, что в "НаноСкан-4D" диапазоны "микро" и "нано" реализованы в рамках единого измерительного модуля, и для перехода к большим нагрузкам достаточно всего лишь выбрать соответствующий режим в программном обеспечении прибора. В приборах других производителей эта задача решается, как правило, путем установки дополнительных дорогостоящих модулей.

Отметим также, что стандарты регламентируют выполнение единичного измерения, но при реальной работе с образцами измерения проводятся большими сериями. Поэтому для расширения исследовательских возможностей "НаноСкан" в программном обеспечении прибора реализован широкий набор функций, в том числе:

• высокопроизводительная пакетная обработка экспериментальных данных с применением новейших методов параллельных вычислений;

• язык макрокоманд, позволяющий реализовывать необходимую последовательность измерений в автоматическом режиме;

• построение двумерных (топографических) и трехмерных (объемных) карт распределения твердости и модуля упругости в зависимости от пространственных координат.

На рис.3 приведен пример объемной карты (томограммы) твердости, построенной по результатам обработки 225 многоцикловых уколов. В качестве образца было использовано полученное методом магнетронного напыления покрытие серебра на стекле, средняя толщина которого составила около 175 нм. Инденты были расположены как в области нанесения пленки, так и вне нее.

В приборах "НаноСкан-4D" реализован метод динамического измерения контактной жесткости (CSM), в основе которого лежит измерение квадратурных компонент смещения при приложении гармонической силы, в дополнение к монотонному углублению зонда в образец. На основе данных компонент рассчитываются значения действительной и мнимой компоненты жесткости, а затем определяются величины модуля упругости E› и модуля потерь E››, соответствующих синфазной и сдвинутой на 90° компонентам смещения. В качестве примера на рис.4 приведены измеренные значения для плавленого кварца и битума. Типичный диапазон рабочих частот доходит до 50 Гц, однако в случае измерений в преднагруженном состоянии возможна работа на частотах до 300 Гц.

Как было отмечено выше, динамические измерения планируется стандартизировать в седьмой части ISO 14577 в течение нескольких следующих лет, однако, разработчики "НаноСкан" уже сегодня реализуют этот и другие новейшие методы в своих приборах. Это касается, в том числе, температурных измерений.

Как видите, с "НаноСкан" измерения в соответствии с ISO и ГОСТ Р – это действительно просто!

Литература

1. Булычев С.И., Алехин В.П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. – М.: Машиностроение, 1990.

2. Frohlich F., Grau P., Grellmann W. Performance and analysis of recording microhardness // Phys. Status Solidi A. 1977. V. 42. P. 79.

3. Loubet J.L., Georges J.M., Marchesini O. Meille G.
Vickers indentation curves of magnesium oxide // J. Tribol. 1984. V.106. P. 43.

4. Doerner M.F., Nix W.D. A method for interpreting the date from depth-sensing indentation instruments // J. Mater. Res. 1986. Vol. 1(4). P. 601–609.

5. Oliver W.C., Pharr G.M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing
indentation experiments // J. Mater. Res. 1992. V. 7.
№ 6. P. 1564–1583.

6. ISO 14577-1:2002. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 1: Test method.

7. ISO 14577-2:2002. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 2: Verification and calibration of testing machines.

8. ISO 14577-3:2002. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 3: Calibration of reference blocks.

9. ISO 14577-4:2007. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 4: Test method for metallic and non-metallic coatings.

10. ASTM E2546-07. Standard practice for instrumented indentation testing (2007).

11. ГОСТ Р 8.748-2011(ИСО 14577-1:2002). Государственная система обеспечения единства измерений. Металлы и сплавы. Измерение твердости и других характеристик материалов при инструментальном индентировании.

12. ISO 14577-1:2015. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 1: Test method.

13. ISO 14577-2:2015. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 2: Verification and calibration of testing machines.

14. ISO 14577-3:2015. Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – Part 3: Calibration of reference blocks.

15. Oliver W.C., Pharr G.M. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology // J. Mater. Res. 2004. Vol. 19. № 1. P. 3–20.

16. Choi Y., Lee H-S and Kwon D. Analysis of sharp-tip indentation load-depth curve for contact area determination taking into account pile-up and sink-in effects // J. Mater. Res. 19 11. 2004. Р. 3307–3315.

17. Cheng Y.-T., Cheng C.-M. Relationships between hardness, elastic modulus, and the work of indentation // Appl. Phys. Lett. AIP Publishing, 1998. Vol. 73. № 5. P. 614–616.

18. Gogolinskii K.V., Reshetov V.N., Useinov A.S. Unification of hardness determination and possibility of transferring it to dimensional values // Meas. Tech. 2011. Vol. 54. № 7. P. 781–789.

19. Useinov A.S., Useinov S.S. Scratch hardness evaluation with in-situ pile-up effect estimation // Philosophical Magazine. 2012. Vol. 92. issue 25–27. 2012. P. 3188–3198.

20. Кравчук К.С., Торская Е.В., Усеинов А.С., Фролов Н.Н. Экспериментально-теоретическое исследование причин скалывания покрытий на основе многокомпонентных оксидов при фрикционном нагружении // Известия РАН. Механика твердого тела. 2015. № 1. С. 64–74.

21. Маслеников И.И., Решетов В.Н., Усеинов А.С. Построение карт модуля упругости поверхности сканирующим зондовым микроскопом "НаноСкан 3D" // Приборы и техника эксперимента. 2015. № 5. C. 136–142.

22. Усеинов А.С., Кравчук К.С., Маслеников И.И., Решетов В.Н., Фомкина М.Г. Исследование прочности микрообъектов с помощью сканирующего нанотвердомера "НаноСкан" // Наноиндустрия. 2015. № 4. С. 54–60.
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art