eng
Выпуск #2/2016
М.Деммлер
Ионно-лучевое и плазменное оборудование для электроники, микросистемной техники и оптики
Ионно-лучевое и плазменное оборудование для электроники, микросистемной техники и оптики
Просмотры: 3490
DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.24.26
Компания scia Systems была создана в 2013 году в партнерстве с фирмой VON ARDENNE. Компания базируется в Технологическом центре города Хемница (Германия), недалеко от Дрездена. scia Systems разрабатывает и производит ионно-лучевое и плазменное оборудование для электроники, микросистемной техники и прецизионных оптических систем. О передовых решениях компании рассказал директор по продажам Марцел Деммлер.
scia Systems – молодая и относительно небольшая компания, это недостаток или преимущество для заказчиков?
Действительно, в нашей компании работают всего около 80 человек. Я считаю, что благодаря небольшому размеру нам проще подстраиваться под требования заказчиков, предлагать индивидуальные решения, которые оптимально отвечают их запросам. Вместе с тем мы располагаем достаточными ресурсами, чтобы работать с крупными заказчиками, выполнять масштабные проекты и обеспечивать качественную сервисную и технологическую поддержку нашего оборудования. Кроме того, небольшая компания имеет небольшие затраты, поэтому мы предлагаем высококачественное оборудование по весьма привлекательным ценам.
Какие тенденции в области тонкопленочных технологий вы можете отметить?
Общая тенденция как в оптике, так и в микроэлектронике – повышение требований к точности покрытий. Благодаря этому наши решения на базе ионно-лучевых технологий становятся все более востребованными на рынке.
Какие разработки scia Systems являются ключевыми для успеха компании?
В первую очередь следует отметить установку для ионно-лучевого тримминга scia Trim 200, которая предназначена для коррекции геометрии функциональных слоев в производстве оптических и полупроводниковых устройств. Ионно-лучевой тримминг позволяет выполнять коррекцию с субнанометровой точностью. Сердцем установки является ионный источник нашей разработки, который вместе с прецизионной механикой обеспечивает исключительную стабильность и высокую повторяемость процесса. Scia Trim 200 применяется в производстве акустоэлектрических устройств и фильтров, например фильтров на поверхностных и объемных акустических волнах, для коррекции толщины пластин на основе танталата лития, ниобата лития, кварца и SOI-структур (кремний на изоляторе), при изготовлении тонкопленочных записывающих головок и прецизионных тонкопленочных резисторов, а также в других областях. Система предназначена для работы с пластинами диаметром от 100 до 200 мм и может эксплуатироваться в круглосуточном режиме. Для применения в крупносерийном производстве scia Trim 200 может комплектоваться роботом-загрузчиком кассет. Также доступна кластерная конфигурация с двумя рабочими камерами. Производительность составляет около 150 пластин в день. Опыт наших заказчиков из США, Японии и Европы подтверждает высокую эффективность scia Trim 200, что позволило нам занять прочные позиции в сегменте систем для ионно-лучевого тримминга.
Также мы разработали линейку установок ионно-лучевого осаждения scia Coat, которая включает три модели. Особенностью нашей технологии является применение двухлучевой системы, при которой второй луч может использоваться для предварительной очистки поверхности, что обеспечивает очень высокое качество получаемых пленок. Одновременно могут применяться до шести разных мишеней, устанавливаемых на поворотном держателе, причем мишени могут меняться без остановки работы. Модель scia Coat 500 позволяет наносить покрытия на подложки размером до 300 Ч 500 мм. Ионно-лучевое осаждение применяется в случаях, когда к точности формирования тонкопленочных структур предъявляются особо высокие требования, например, в производстве рентгеновской оптики, оптических фильтров, при нанесении антиотражающих и градиентных покрытий.
Востребовано ли оборудование scia Systems на российском рынке?
Я думаю, что наилучшие перспективы в России имеют системы ионно-лучевого травления. Мы выпускаем установки серии scia Mill для обработки пластин диаметром 150 и 200 мм. Эти системы универсальны, позволяют выполнять травление в инертном газе (Ion Beam Etching, IBE), реактивное травление (Reactive Ion Beam Etching, RIBE), а также травление в среде химически активного газа (Chemically Assisted Ion Beam Etching, CAIBE). Благодаря возможности гибкой настройки параметров при травлении широчайшего диапазона материалов, scia Mill прекрасно подходят для научно-исследовательских проектов. Уверен, что совместно с нашим партнером – компанией "ТехноСистем Трейд" – мы будем успешно содействовать развитию российских исследовательских и производственных проектов в электронике, микросистемной технике и оптике.
Текст и фото:
О.Лаврентьева, Д.Гудилин
scia Systems – молодая и относительно небольшая компания, это недостаток или преимущество для заказчиков?
Действительно, в нашей компании работают всего около 80 человек. Я считаю, что благодаря небольшому размеру нам проще подстраиваться под требования заказчиков, предлагать индивидуальные решения, которые оптимально отвечают их запросам. Вместе с тем мы располагаем достаточными ресурсами, чтобы работать с крупными заказчиками, выполнять масштабные проекты и обеспечивать качественную сервисную и технологическую поддержку нашего оборудования. Кроме того, небольшая компания имеет небольшие затраты, поэтому мы предлагаем высококачественное оборудование по весьма привлекательным ценам.
Какие тенденции в области тонкопленочных технологий вы можете отметить?
Общая тенденция как в оптике, так и в микроэлектронике – повышение требований к точности покрытий. Благодаря этому наши решения на базе ионно-лучевых технологий становятся все более востребованными на рынке.
Какие разработки scia Systems являются ключевыми для успеха компании?
В первую очередь следует отметить установку для ионно-лучевого тримминга scia Trim 200, которая предназначена для коррекции геометрии функциональных слоев в производстве оптических и полупроводниковых устройств. Ионно-лучевой тримминг позволяет выполнять коррекцию с субнанометровой точностью. Сердцем установки является ионный источник нашей разработки, который вместе с прецизионной механикой обеспечивает исключительную стабильность и высокую повторяемость процесса. Scia Trim 200 применяется в производстве акустоэлектрических устройств и фильтров, например фильтров на поверхностных и объемных акустических волнах, для коррекции толщины пластин на основе танталата лития, ниобата лития, кварца и SOI-структур (кремний на изоляторе), при изготовлении тонкопленочных записывающих головок и прецизионных тонкопленочных резисторов, а также в других областях. Система предназначена для работы с пластинами диаметром от 100 до 200 мм и может эксплуатироваться в круглосуточном режиме. Для применения в крупносерийном производстве scia Trim 200 может комплектоваться роботом-загрузчиком кассет. Также доступна кластерная конфигурация с двумя рабочими камерами. Производительность составляет около 150 пластин в день. Опыт наших заказчиков из США, Японии и Европы подтверждает высокую эффективность scia Trim 200, что позволило нам занять прочные позиции в сегменте систем для ионно-лучевого тримминга.
Также мы разработали линейку установок ионно-лучевого осаждения scia Coat, которая включает три модели. Особенностью нашей технологии является применение двухлучевой системы, при которой второй луч может использоваться для предварительной очистки поверхности, что обеспечивает очень высокое качество получаемых пленок. Одновременно могут применяться до шести разных мишеней, устанавливаемых на поворотном держателе, причем мишени могут меняться без остановки работы. Модель scia Coat 500 позволяет наносить покрытия на подложки размером до 300 Ч 500 мм. Ионно-лучевое осаждение применяется в случаях, когда к точности формирования тонкопленочных структур предъявляются особо высокие требования, например, в производстве рентгеновской оптики, оптических фильтров, при нанесении антиотражающих и градиентных покрытий.
Востребовано ли оборудование scia Systems на российском рынке?
Я думаю, что наилучшие перспективы в России имеют системы ионно-лучевого травления. Мы выпускаем установки серии scia Mill для обработки пластин диаметром 150 и 200 мм. Эти системы универсальны, позволяют выполнять травление в инертном газе (Ion Beam Etching, IBE), реактивное травление (Reactive Ion Beam Etching, RIBE), а также травление в среде химически активного газа (Chemically Assisted Ion Beam Etching, CAIBE). Благодаря возможности гибкой настройки параметров при травлении широчайшего диапазона материалов, scia Mill прекрасно подходят для научно-исследовательских проектов. Уверен, что совместно с нашим партнером – компанией "ТехноСистем Трейд" – мы будем успешно содействовать развитию российских исследовательских и производственных проектов в электронике, микросистемной технике и оптике.
Текст и фото:
О.Лаврентьева, Д.Гудилин
Отзывы читателей
