SCREEN с 1970-х годов разрабатывает и производит технологическое оборудование для обработки полупроводниковых пластин. Ключевыми продуктами компании являются системы для модификации поверхности пластин – нанесения покрытий, очистки, травления. Специализированные решения для различных сегментов рынка и стадий технологического процесса включают промышленные модульные машины для очистки пластин, фотолитографии и отжига.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.16.18

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Под редакцией д.т.н., профессора Мальцева П.П.
А.О. Жигачев, Ю.И. Головин, А.В. Умрихин, В.В Коренков, А.И. Тюрин, В.В. Родаев, Т.А. Дьячек, Б.Я. Фарбер / Под общей редакцией Ю.И. Головина
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #3/2016
Р.Шмидт
Оборудование для обработки пластин с точностью до ангстремов
Просмотры: 3563
SCREEN с 1970-х годов разрабатывает и производит технологическое оборудование для обработки полупроводниковых пластин. Ключевыми продуктами компании являются системы для модификации поверхности пластин – нанесения покрытий, очистки, травления. Специализированные решения для различных сегментов рынка и стадий технологического процесса включают промышленные модульные машины для очистки пластин, фотолитографии и отжига.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.16.18
SCREEN Semiconductor Solutions – один из крупнейших производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Компания входит в состав японского холдинга SCREEN Group, который также включает подразделения по производству решений для полиграфии и изготовления плоских дисплеев. При этом на долю SCREEN Semiconductor Solutions, в которой работают более 2,3 тыс. человек, приходится до двух третей годового оборота группы, что составляет около 160 млрд. иен. Все производственные предприятия компании расположены в Японии. SCREEN Semiconductor Solutions имеет представительства в Германии, США, Китае, Тайване, Сингапуре и Корее. О специализации компании и позициях на рынке рассказал менеджер по продажам SCREEN SPE Germany Рольф Шмидт (справа на фото).

Господин Шмидт, каковы ключевые компетенции компании SCREEN Semiconductor Solutions?

SCREEN с 1970-х годов разрабатывает и производит технологическое оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В нас­тоящее время нашими ключевыми продуктами яв­ляются системы для модификации поверхности пластин – нанесения покрытий, очистки, травления. Специализированные решения для различных сегментов рынка и стадий технологического процесса включают промышленные модульные машины для очистки пластин, фотолитографии и отжига. Флагманские системы предназначены для пластин диаметром 300 мм, однако мы выпускаем оборудование также и для пластин размером 200 мм и менее, так как этот сегмент имеет хорошие перспективы развития. SCREEN располагает современными заводами в Хиконэ, где изготавливаются системы очистки для пластин диаметром до 300 мм, и в Тага, где выпускается оборудование для нанесения и проявления фоторезиста. Также в Хиконэ расположен построенный в 2008 году центр исследований и разработок.

Для развития некоторых направлений бизнеса созданы дочерние компании: TechInTech, которая производит технологическое оборудование для пластин диаметром 200 мм; SEBACS, специализирующаяся на сервисном обслуживании оборудования; Quartz Lead, выпускающая компоненты из кварцевого стекла; FASSE, которая выполняет сборку, монтаж и пуско-наладочные работы; SSERC, занимающаяся восстановлением оборудования; LASSE, разрабатывающая системы лазерного отжига. За исключением LASSE, штаб-квартира которой расположена во Франции, все "дочки" базируются в Японии.


Как вы оцениваете позиции компании в ключевых сегментах рынка?

SCREEN входит в десятку крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Наиболее значимыми рынками являются Тайвань, Северная Америка и Япония, которые обеспечивают до 80% доходов. Доля Европы составляет около 9%. Три квартала 2016 финансового года показали сокращение спроса со стороны производителей логических ИС и фаундри-компаний при стабильном росте продаж оборудования производителям ИС памяти и устройств воспроизведения изображений. Также можно отметить рост продаж оборудования для 200-миллиметровых пластин. В настоящее время в сегментах систем для очистки пластин и скрайбирования SCREEN принадлежит более 60% рынка, а инсталляционная база превышает 7,5 тыс. единиц оборудования.

Об отличной репутации SCREEN свидетельствуют награды от производителей электронных компонентов – пользователей нашего оборудования. Например, в декабре 2015 года тайваньская корпорация TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company), которая является крупнейшим в мире фаундри, отметила наградой за отличные эксплуа­тационные качества Excellent Performance Award систему очистки пластин SU-3200 и платформу для фотолитографии SOKUDO DUO. TSMC использует наше оборудование в производстве с топологической нормой 16 нм и в исследованиях процессов с нормами 10 и 7 нм. SCREEN также вошла в число 26 компаний, которым корпорация Intel присвои­ла по результатам 2015 года статус Preferred Quality Supplier (PQS). Специалисты Intel отметили высокое качество нашего оборудования для очистки пластин и отжига.

Какие инновации SCREEN вы можете особо отметить?

Один из примеров инноваций – наша флагманская система для очистки пластин, которая характеризуется лучшей производительностью в своем классе благодаря сочетанию высокой скорости и стабильности параметров обработки. Использование нескольких технологических камер обеспечивает индивидуаль­ную настройку процесса обработки каждой пластины с учетом толщины слоев, требуемых характеристик поверхности и параметров травления. Прецизионная система контроля подачи химикатов гарантирует высокую повторяемость и точность толщины поверхностного слоя при исключении возникновения дефектов и загрязнений пластины металлическими частицами. SU-3200 совместима с процессами для топологических норм менее 28 нм и работает с производительностью до 800 пластин/ч. Данная система используется ведущими компаниями, выпускающими полупроводниковые устройства.

В середине 2015 года SCREEN подписал соглашение о сотрудничестве с Soitec с целью развития технологии FD-SOI, каковы перспективы в этой области?

Технология FD-SOI требует исключительно высокой точности геометрии поверхностного слоя обед­ненного кремния. В рамках сотрудничества, с использованием нашего оборудования для обработки пластин и разработанной Soitec технологии Smart Cut, планируется достичь точности ±5 ангстрем, что позволит наладить промышленное произ­водство пластин для топологических норм до 14 нм.

Как организованы продажи и сервисное обслуживание оборудования SCREEN в России?

За работу в России отвечают специалисты европейского представительства компании. Для обслуживания установленного оборудования в Москве организован сервисный центр. Мы высоко оцениваем потенциал российского рынка.
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art