Одной из наиболее востребованных марок оборудования для фотолитографии на предприятиях микроэлектронной отрасли является SUSS MicroTec. В России установлено около 80 систем для нанесения и проявления фоторезиста, а всего эксплуатируется до 150 машин производства немецкой компании.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.30.32

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #3/2016
М.Тобер, А.Тимошин
Оборудование SUSS MicroTec в России
Просмотры: 3656
Одной из наиболее востребованных марок оборудования для фотолитографии на предприятиях микроэлектронной отрасли является SUSS MicroTec. В России установлено около 80 систем для нанесения и проявления фоторезиста, а всего эксплуатируется до 150 машин производства немецкой компании.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.30.32
Какие новые разработки SUSS MicroTec вы можете отметить?

Марк Тобер: Нашей новейшей разработкой стала система экспонирования на базе УФ-светодиодов. По сравнению с традиционными ртутными лампами светодиоды характеризуются более высоким сроком службы и меньшим потреблением электроэнергии, а также не требуют затрат времени на разогрев и охлаждение. Все это позволяет сделать процессы совмещения и экспонирования более экономичными, экологичными и безопасными. Кроме того, применение светодиодов обеспечивает большую гибкость при проектировании оборудования.

Еще одна новость – включение в номенклатуру поставляемого оборудования систем лазерного экспонирования, которые специально для нас разработал наш европейский партнер. Лазерная обработка может применяться для модификации структуры фоторезиста, создания масок, микроабляции, метрологических задач в производстве полупроводниковых компонентов, систем микрофлюидики и микрооптики.

Каковы актуальные тенденции на международном и российском рынках?

М.Т.: Ключевыми областями для нас являются 3D-интеграция, производство светодиодов и МЭМС. Если развитие 3D-интеграции – это пока вопрос будущего, то другие два рынка сейчас достаточно стабильны.

Андрей Тимошин: Сейчас заметна общемировая тенденция к все более широкому внедрению технологий, ранее ассоциировавшихся исключительно с микроэлектроникой, в других отраслях производства. Например, фотолитография стала использоваться в производстве компонентов часовых механизмов, и сегмент МЭМС для часовой индустрии растет очень быстро. Также динамично развиваются приложения, связанные с фотоникой и фотовольтаикой, к примеру стекла с управляемыми оптическими свойствами и прозрачные солнечные элементы. Перечисленные тренды характерны и для российского рынка, хотя и в меньших масштабах.

В нашей стране пока наиболее развит сегмент ВЧ-электроники, производство МЭМС стабильно, но большого роста здесь не наблюдается. Что касается светодиодов, то, как показала практика, в России их производство сложно развивать, так как, помимо ценовой конкуренции с китайскими компаниями, есть проблемы в области поставок высокочистых газов и других материалов, которые в нашей стране не производятся.

Какое оборудование SUSS MicroTec пользуется наибольшим спросом на отечественных предприятиях и какие проекты вы можете особо отметить?

А.Т.: Спросом пользуется, в первую очередь, ручное и полуавтоматическое оборудование, поскольку велико число исследовательских лабораторий. Тем не менее мы установили уже семь автоматических машин по нанесению и проявлению фоторезиста, включая четыре новейших ACS200 Gen3. Можно прогнозировать, что к концу этого года число установок автоматических систем достигнет 10.

Среди крупных заказчиков – НПП "Исток", являющий­ся одним из ведущих российских производителей ВЧ-устройств гражданского и двойного назначения. На этом предприятии эксплуатирует­ся около 10 единиц оборудования SUSS MicroTec, включая установки для нанесения и проявления фоторезиста, взрывной фотолитографии, совмещения и экспонирования. Следует отметить и ростовский НИИ радиосвязи, который также занимается ВЧ-устройствами.

Каковы, на ваш взгляд, состояние и перспективы развития российского рынка?

М.Т.: В настоящее время низкий курс рубля по отношению к евро обусловил сокращение спроса на оборудование, но мы рассчитываем на изменение ситуа­ции и восстановление рынка.

А.Т.: Спад рынка открывает новые возможности для развития сервисных услуг. За последние 10 лет наши предприятия установили много технологического оборудования, но в большинстве своем не уделяли должного внимания его техническому обслуживанию и подготовке персонала. В результате, сейчас это оборудование начало выходить из строя, а денег на покупку нового не хватает, поэтому резко вырос спрос на сервисные услуги. Теперь директора предприя­тий стали понимать, что вкладывать относительно небольшие деньги в плановое техническое обслуживание выгоднее, чем раз в пять лет в среднем за миллион евро покупать новую машину. Об изменении менталитета свидетельствует рост числа заключенных договоров на сервисное облуживание. Со своей стороны, мы увеличили штат инженеров, регулярно организуем их обучение у производителей оборудования. Наши специалисты могут обслуживать самые сложные системы, накоплен большой опыт ремонта и восстановления машин. Таким образом, развитие возможно и в период спада.
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art