eng
Одной из наиболее востребованных марок оборудования для фотолитографии на предприятиях микроэлектронной отрасли является SUSS MicroTec. В России установлено около 80 систем для нанесения и проявления фоторезиста, а всего эксплуатируется до 150 машин производства немецкой компании.
DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.30.32
DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.30.32
Какие новые разработки SUSS MicroTec вы можете отметить?
Марк Тобер: Нашей новейшей разработкой стала система экспонирования на базе УФ-светодиодов. По сравнению с традиционными ртутными лампами светодиоды характеризуются более высоким сроком службы и меньшим потреблением электроэнергии, а также не требуют затрат времени на разогрев и охлаждение. Все это позволяет сделать процессы совмещения и экспонирования более экономичными, экологичными и безопасными. Кроме того, применение светодиодов обеспечивает большую гибкость при проектировании оборудования.
Еще одна новость – включение в номенклатуру поставляемого оборудования систем лазерного экспонирования, которые специально для нас разработал наш европейский партнер. Лазерная обработка может применяться для модификации структуры фоторезиста, создания масок, микроабляции, метрологических задач в производстве полупроводниковых компонентов, систем микрофлюидики и микрооптики.
Каковы актуальные тенденции на международном и российском рынках?
М.Т.: Ключевыми областями для нас являются 3D-интеграция, производство светодиодов и МЭМС. Если развитие 3D-интеграции – это пока вопрос будущего, то другие два рынка сейчас достаточно стабильны.
Андрей Тимошин: Сейчас заметна общемировая тенденция к все более широкому внедрению технологий, ранее ассоциировавшихся исключительно с микроэлектроникой, в других отраслях производства. Например, фотолитография стала использоваться в производстве компонентов часовых механизмов, и сегмент МЭМС для часовой индустрии растет очень быстро. Также динамично развиваются приложения, связанные с фотоникой и фотовольтаикой, к примеру стекла с управляемыми оптическими свойствами и прозрачные солнечные элементы. Перечисленные тренды характерны и для российского рынка, хотя и в меньших масштабах.
В нашей стране пока наиболее развит сегмент ВЧ-электроники, производство МЭМС стабильно, но большого роста здесь не наблюдается. Что касается светодиодов, то, как показала практика, в России их производство сложно развивать, так как, помимо ценовой конкуренции с китайскими компаниями, есть проблемы в области поставок высокочистых газов и других материалов, которые в нашей стране не производятся.
Какое оборудование SUSS MicroTec пользуется наибольшим спросом на отечественных предприятиях и какие проекты вы можете особо отметить?
А.Т.: Спросом пользуется, в первую очередь, ручное и полуавтоматическое оборудование, поскольку велико число исследовательских лабораторий. Тем не менее мы установили уже семь автоматических машин по нанесению и проявлению фоторезиста, включая четыре новейших ACS200 Gen3. Можно прогнозировать, что к концу этого года число установок автоматических систем достигнет 10.
Среди крупных заказчиков – НПП "Исток", являющийся одним из ведущих российских производителей ВЧ-устройств гражданского и двойного назначения. На этом предприятии эксплуатируется около 10 единиц оборудования SUSS MicroTec, включая установки для нанесения и проявления фоторезиста, взрывной фотолитографии, совмещения и экспонирования. Следует отметить и ростовский НИИ радиосвязи, который также занимается ВЧ-устройствами.
Каковы, на ваш взгляд, состояние и перспективы развития российского рынка?
М.Т.: В настоящее время низкий курс рубля по отношению к евро обусловил сокращение спроса на оборудование, но мы рассчитываем на изменение ситуации и восстановление рынка.
А.Т.: Спад рынка открывает новые возможности для развития сервисных услуг. За последние 10 лет наши предприятия установили много технологического оборудования, но в большинстве своем не уделяли должного внимания его техническому обслуживанию и подготовке персонала. В результате, сейчас это оборудование начало выходить из строя, а денег на покупку нового не хватает, поэтому резко вырос спрос на сервисные услуги. Теперь директора предприятий стали понимать, что вкладывать относительно небольшие деньги в плановое техническое обслуживание выгоднее, чем раз в пять лет в среднем за миллион евро покупать новую машину. Об изменении менталитета свидетельствует рост числа заключенных договоров на сервисное облуживание. Со своей стороны, мы увеличили штат инженеров, регулярно организуем их обучение у производителей оборудования. Наши специалисты могут обслуживать самые сложные системы, накоплен большой опыт ремонта и восстановления машин. Таким образом, развитие возможно и в период спада.
Марк Тобер: Нашей новейшей разработкой стала система экспонирования на базе УФ-светодиодов. По сравнению с традиционными ртутными лампами светодиоды характеризуются более высоким сроком службы и меньшим потреблением электроэнергии, а также не требуют затрат времени на разогрев и охлаждение. Все это позволяет сделать процессы совмещения и экспонирования более экономичными, экологичными и безопасными. Кроме того, применение светодиодов обеспечивает большую гибкость при проектировании оборудования.
Еще одна новость – включение в номенклатуру поставляемого оборудования систем лазерного экспонирования, которые специально для нас разработал наш европейский партнер. Лазерная обработка может применяться для модификации структуры фоторезиста, создания масок, микроабляции, метрологических задач в производстве полупроводниковых компонентов, систем микрофлюидики и микрооптики.
Каковы актуальные тенденции на международном и российском рынках?
М.Т.: Ключевыми областями для нас являются 3D-интеграция, производство светодиодов и МЭМС. Если развитие 3D-интеграции – это пока вопрос будущего, то другие два рынка сейчас достаточно стабильны.
Андрей Тимошин: Сейчас заметна общемировая тенденция к все более широкому внедрению технологий, ранее ассоциировавшихся исключительно с микроэлектроникой, в других отраслях производства. Например, фотолитография стала использоваться в производстве компонентов часовых механизмов, и сегмент МЭМС для часовой индустрии растет очень быстро. Также динамично развиваются приложения, связанные с фотоникой и фотовольтаикой, к примеру стекла с управляемыми оптическими свойствами и прозрачные солнечные элементы. Перечисленные тренды характерны и для российского рынка, хотя и в меньших масштабах.
В нашей стране пока наиболее развит сегмент ВЧ-электроники, производство МЭМС стабильно, но большого роста здесь не наблюдается. Что касается светодиодов, то, как показала практика, в России их производство сложно развивать, так как, помимо ценовой конкуренции с китайскими компаниями, есть проблемы в области поставок высокочистых газов и других материалов, которые в нашей стране не производятся.
Какое оборудование SUSS MicroTec пользуется наибольшим спросом на отечественных предприятиях и какие проекты вы можете особо отметить?
А.Т.: Спросом пользуется, в первую очередь, ручное и полуавтоматическое оборудование, поскольку велико число исследовательских лабораторий. Тем не менее мы установили уже семь автоматических машин по нанесению и проявлению фоторезиста, включая четыре новейших ACS200 Gen3. Можно прогнозировать, что к концу этого года число установок автоматических систем достигнет 10.
Среди крупных заказчиков – НПП "Исток", являющийся одним из ведущих российских производителей ВЧ-устройств гражданского и двойного назначения. На этом предприятии эксплуатируется около 10 единиц оборудования SUSS MicroTec, включая установки для нанесения и проявления фоторезиста, взрывной фотолитографии, совмещения и экспонирования. Следует отметить и ростовский НИИ радиосвязи, который также занимается ВЧ-устройствами.
Каковы, на ваш взгляд, состояние и перспективы развития российского рынка?
М.Т.: В настоящее время низкий курс рубля по отношению к евро обусловил сокращение спроса на оборудование, но мы рассчитываем на изменение ситуации и восстановление рынка.
А.Т.: Спад рынка открывает новые возможности для развития сервисных услуг. За последние 10 лет наши предприятия установили много технологического оборудования, но в большинстве своем не уделяли должного внимания его техническому обслуживанию и подготовке персонала. В результате, сейчас это оборудование начало выходить из строя, а денег на покупку нового не хватает, поэтому резко вырос спрос на сервисные услуги. Теперь директора предприятий стали понимать, что вкладывать относительно небольшие деньги в плановое техническое обслуживание выгоднее, чем раз в пять лет в среднем за миллион евро покупать новую машину. Об изменении менталитета свидетельствует рост числа заключенных договоров на сервисное облуживание. Со своей стороны, мы увеличили штат инженеров, регулярно организуем их обучение у производителей оборудования. Наши специалисты могут обслуживать самые сложные системы, накоплен большой опыт ремонта и восстановления машин. Таким образом, развитие возможно и в период спада.
Отзывы читателей
