eng
Выпуск #1/2017
Й.В.Ларсен
Модульное оборудование для нанесения тонкопленочных покрытий
Модульное оборудование для нанесения тонкопленочных покрытий
Просмотры: 3393
DOI:10.22184/1993-8578.2017.71.1.26.28
Датская компания Polyteknik была основана в 1995 году. Первое десятилетие своей деятельности Polyteknik специализировалась на услугах по нанесению тонкопленочных покрытий и проектированию промышленных систем преимущественно для заказчиков из Дании. В 2005 году было принято решение сосредоточиться на тонкопленочных и вакуумных технологиях, начав активно работать на международном рынке. В 2006 году Polyteknik представила бренд Cryofox, который объединил несколько линеек разрабатываемых компанией систем для нанесения тонкопленочных покрытий. В настоящее время компания располагает современным производством общей площадью около 2 тыс. м2, включая 120 м2 чистых помещений, которые расположены в Эстервро, городке в северной части Дании. Тесные связи с Орхусским и Ольборгским университетами способствуют решению самых сложных научно-практических задач по созданию оборудования и технологических решений. Поскольку системы для нанесения тонкопленочных покрытий высоко востребованы в инновационных отраслях промышленности и передовых научных исследованиях, мы попросили основателя, владельца и генерального директора Polyteknik г-на Йенса Виллиама Ларсена рассказать об особенностях оборудования Cryofox. Беседа состоялась на выставке SEMICON Europa 2016.
Господин Ларсен, какие типы и серии оборудования выпускает Polyteknik?
Мы предлагаем широкую номенклатуру оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий на пластины диаметром от 50 до 200 мм. Наши решения в основном ориентированы на мелко- и среднесерийный выпуск продукции, а также исследовательский сектор.
Младшая серия установок – Cryofox Tornado – предназначена для образовательных и исследовательских проектов, а также прототипирования. Универсальная серия для широкого круга исследовательских работ, а также выпуска мелких серий продукции – Cryofox Discovery. Установки Discovery позволяют получать покрытия самого высокого качества и могут комплектоваться автоматической системой загрузки пластин. Системы Cryofox Explorer высоко востребованы научными учреждениями, в частности университетами скандинавских стран. Разделенная вакуумная камера позволяет минимизировать вероятность загрязнения и эффективно сочетать использование электронно-лучевых испарителей и магнетронов. Следует отметить оптимальное соотношение цены и технологических возможностей Explorer.
Около 60% наших продаж приходится на решения для промышленных предприятий, в частности, серия Cryofox Infinity. Это гибкие производственные системы, состоящие из загрузочного, одного или нескольких технологических и разгрузочного или приемного модулей. Благодаря такому решению конфигурацию системы можно изменять уже после ее установки у заказчика. В системах конвейерной обработки Infinity подложки перемещаются через технологические камеры автоматическим транспортером. Возможность реверса позволяет многократно проводить образец через каждую камеру с нанесением желаемого числа слоев покрытия. Также серия Infinity включает системы для формирования покрытий на гибких рулонных материалах шириной до 1 200 мм – металлической фольге, полимерных пленках, текстильных полотнах. Такие линии работают по схеме "из рулона в рулон" с использованием вакуумного напыления и усиленного плазмой химического осаждения из газовой фазы.
Помимо перечисленных серий оборудования, мы разрабатываем и производим кластерные системы вакуумного напыления и усиленного плазмой химического осаждения из газовой фазы, которые находят применение в исследованиях и производстве органических светодиодов, солнечных батарей, аккумуляторов и другой высокотехнологичной продукции.
В чем отличие оборудования Polyteknik от аналогичных систем других производителей?
Во-первых, хотелось бы отметить, высокий технологический уровень нашего оборудования, который достигается благодаря сочетанию высокой культуры производства и ноу-хау в разработках и проектировании. Мы участвуем в крупных международных проектах, например, восстанавливали покрытия восьмиметровых зеркал телескопа VLT (Very Large Telescope) Паранальской обсерватории (Чили). Этот уникальный опыт используется при создании новых решений для промышленности и научных исследований.
Во-вторых, мы на практике реализуем индивидуальный подход к каждому проекту, конфигурируя оборудование в соответствии с требованиями заказчика. При необходимости проводятся совместные НИОКР. Такая политика обеспечивает не только высокий уровень лояльности клиентов, но также помогает нам лучше понимать тенденции рынка и быстрее реагировать на них. В частности, сейчас можно отметить тенденцию к росту использования высокотемпературных процессов, когда покрытия формируются на поверхности, нагретой до температуры около 1 000 °С. Важно, что наше оборудование базируется на стандартизированных модульных платформах. С одной стороны, это позволяет сокращать издержки и предлагать его по конкурентной цене, с другой стороны, обеспечивает максимальную гибкость и возможность дооснащения после установки у заказчика. Иными словами, заказчик может минимизировать начальные инвестиции и постепенно докупать необходимые ему опции.
И, наконец, хотелось бы отметить программное обеспечение нашей собственной разработки, которое имеет простой, интуитивно понятный интерфейс, позволяет выполнять тонкие настройки параметров процессов формирования пленок, автоматизировать контроль и анализ данных при обеспечении безопасности информации.
Наше оборудование успешно эксплуатируется в России, Германии, скандинавских странах, Чили.
Как организована работа Polyteknik на российском рынке?
В России нас представляет компания Maicom Quarz. Мы регулярно участвуем в научно-прикладных мероприятиях, проводимых в России, в частности в семинарах по тонкопленочным технологиям. Техническую поддержку, в зависимости от характера проблем, осуществляем как напрямую из Дании, так и через наших российских партнеров. В Москве установлены две системы Cryofox Discovery, и российские пользователи очень высоко оценивают их технологические возможности и надежность.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Господин Ларсен, какие типы и серии оборудования выпускает Polyteknik?
Мы предлагаем широкую номенклатуру оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий на пластины диаметром от 50 до 200 мм. Наши решения в основном ориентированы на мелко- и среднесерийный выпуск продукции, а также исследовательский сектор.
Младшая серия установок – Cryofox Tornado – предназначена для образовательных и исследовательских проектов, а также прототипирования. Универсальная серия для широкого круга исследовательских работ, а также выпуска мелких серий продукции – Cryofox Discovery. Установки Discovery позволяют получать покрытия самого высокого качества и могут комплектоваться автоматической системой загрузки пластин. Системы Cryofox Explorer высоко востребованы научными учреждениями, в частности университетами скандинавских стран. Разделенная вакуумная камера позволяет минимизировать вероятность загрязнения и эффективно сочетать использование электронно-лучевых испарителей и магнетронов. Следует отметить оптимальное соотношение цены и технологических возможностей Explorer.
Около 60% наших продаж приходится на решения для промышленных предприятий, в частности, серия Cryofox Infinity. Это гибкие производственные системы, состоящие из загрузочного, одного или нескольких технологических и разгрузочного или приемного модулей. Благодаря такому решению конфигурацию системы можно изменять уже после ее установки у заказчика. В системах конвейерной обработки Infinity подложки перемещаются через технологические камеры автоматическим транспортером. Возможность реверса позволяет многократно проводить образец через каждую камеру с нанесением желаемого числа слоев покрытия. Также серия Infinity включает системы для формирования покрытий на гибких рулонных материалах шириной до 1 200 мм – металлической фольге, полимерных пленках, текстильных полотнах. Такие линии работают по схеме "из рулона в рулон" с использованием вакуумного напыления и усиленного плазмой химического осаждения из газовой фазы.
Помимо перечисленных серий оборудования, мы разрабатываем и производим кластерные системы вакуумного напыления и усиленного плазмой химического осаждения из газовой фазы, которые находят применение в исследованиях и производстве органических светодиодов, солнечных батарей, аккумуляторов и другой высокотехнологичной продукции.
В чем отличие оборудования Polyteknik от аналогичных систем других производителей?
Во-первых, хотелось бы отметить, высокий технологический уровень нашего оборудования, который достигается благодаря сочетанию высокой культуры производства и ноу-хау в разработках и проектировании. Мы участвуем в крупных международных проектах, например, восстанавливали покрытия восьмиметровых зеркал телескопа VLT (Very Large Telescope) Паранальской обсерватории (Чили). Этот уникальный опыт используется при создании новых решений для промышленности и научных исследований.
Во-вторых, мы на практике реализуем индивидуальный подход к каждому проекту, конфигурируя оборудование в соответствии с требованиями заказчика. При необходимости проводятся совместные НИОКР. Такая политика обеспечивает не только высокий уровень лояльности клиентов, но также помогает нам лучше понимать тенденции рынка и быстрее реагировать на них. В частности, сейчас можно отметить тенденцию к росту использования высокотемпературных процессов, когда покрытия формируются на поверхности, нагретой до температуры около 1 000 °С. Важно, что наше оборудование базируется на стандартизированных модульных платформах. С одной стороны, это позволяет сокращать издержки и предлагать его по конкурентной цене, с другой стороны, обеспечивает максимальную гибкость и возможность дооснащения после установки у заказчика. Иными словами, заказчик может минимизировать начальные инвестиции и постепенно докупать необходимые ему опции.
И, наконец, хотелось бы отметить программное обеспечение нашей собственной разработки, которое имеет простой, интуитивно понятный интерфейс, позволяет выполнять тонкие настройки параметров процессов формирования пленок, автоматизировать контроль и анализ данных при обеспечении безопасности информации.
Наше оборудование успешно эксплуатируется в России, Германии, скандинавских странах, Чили.
Как организована работа Polyteknik на российском рынке?
В России нас представляет компания Maicom Quarz. Мы регулярно участвуем в научно-прикладных мероприятиях, проводимых в России, в частности в семинарах по тонкопленочным технологиям. Техническую поддержку, в зависимости от характера проблем, осуществляем как напрямую из Дании, так и через наших российских партнеров. В Москве установлены две системы Cryofox Discovery, и российские пользователи очень высоко оценивают их технологические возможности и надежность.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
