Характеристики полупроводниковых приборов, МЭМС, систем фотоники в значительной степени определяются качеством проведения литографических процессов. Чтобы узнать о тенденциях в области оборудования для литографии, мы встретились с Пирмином Муффлером, который до недавнего времени возглавлял немецкую компанию solar-semi, а сейчас создал новую фирму.

DOI: 10.22184/1993-8578.2017.72.2.28.30

sitemap

Разработка: студия Green Art