eng
Выпуск #2/2017
К.Дефраноукс
Гибкие измерительные системы для полупроводниковой отрасли и фотовольтаики
Гибкие измерительные системы для полупроводниковой отрасли и фотовольтаики
Просмотры: 3344
Компания Semilab – лидер в области метрологических решений для полупроводниковой промышленности, фотовольтаики и исследовательского сектора. Semilab была создана в 1989 году в Будапеште (Венгрия) группой ученых из Института технической физики Венгерской академии наук. Постепенно компания заняла ведущие позиции на рынке оборудования для измерения электрических характеристик полупроводниковых компонентов и фотоэлектрических преобразователей. Этому способствовали как собственные инновации, так и агрессивная маркетинговая политика.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.72.2.32.34
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.72.2.32.34
Господин Дефраноукс, каковы ключевые компетенции компании Semilab?
Мы разрабатываем и поставляем широкий спектр решений, основанных на передовых измерительных технологиях, для полупроводниковых производств, фотовольтаики, а также исследований и разработок. В частности, мы предлагаем системы для контроля эпитаксиальных слоев с использованием вольт-фарадных измерений, спектральной эллипсометрии и улучшенного метода µ-PCD (распада фотопроводимости в микроволновом диапазоне), устройства для контроля примесей в полупроводниках на основе динамической спектроскопии глубоких уровней, измерений по поверхностному фотонапряжению и µ-PCD, системы для определения диэлектрических характеристик методами эллипсометрии-порометрии, ПАВ-измерений и контроля напряжения заряда, оборудование для контроля ионной имплантации методом измерения фотонапряжения соединений, а также ряд других решений. В области систем контроля электрических характеристик мы являемся лидерами рынка.
За счет чего Semilab добилась лидерства?
Мы предлагаем очень большое число неразрушающих и разрушающих измерительных методов, что позволяет нашим заказчикам выбирать оптимальные технологии для решения их задач. При этом есть возможность комбинировать несколько различных методов, например, оптические и электрические измерения, а также выполнять измерения на производственном оборудовании в режиме онлайн. Следует отметить, что наши системы конструируются по принципу универсальных платформ, позволяющих устанавливать несколько разных измерительных головок. Это удобно не только заказчикам, но и рационально с точки зрения унификации производства и его концентрации на одном производственном предприятии в Будапеште. Очень важно, что мы постоянно ведем новые разработки, в том числе в сотрудничестве с бельгийским научным центром IMEC и другими крупными международными партнерами.
С какими вызовами приходится сталкиваться при создании измерительного оборудования?
Во-первых, постоянно растет номенклатура материалов, используемых в полупроводниковой отрасли и фотовольтаике, что обуславливает необходимость разработки новых методик измерений. Во-вторых, развиваются технологии, например, заметно растет число исследований в области атомно-слоевого осаждения. Кроме того, традиционным вызовом, который обусловлен уменьшением топологических норм, является рост требований к точности и скорости измерений.
Как организована работа на международном рынке?
Semilab имеет представительства в США, Японии, Китае, Корее, Тайване и Сингапуре. В других странах, в том числе в России, нас представляют компании-дистрибьюторы.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Мы разрабатываем и поставляем широкий спектр решений, основанных на передовых измерительных технологиях, для полупроводниковых производств, фотовольтаики, а также исследований и разработок. В частности, мы предлагаем системы для контроля эпитаксиальных слоев с использованием вольт-фарадных измерений, спектральной эллипсометрии и улучшенного метода µ-PCD (распада фотопроводимости в микроволновом диапазоне), устройства для контроля примесей в полупроводниках на основе динамической спектроскопии глубоких уровней, измерений по поверхностному фотонапряжению и µ-PCD, системы для определения диэлектрических характеристик методами эллипсометрии-порометрии, ПАВ-измерений и контроля напряжения заряда, оборудование для контроля ионной имплантации методом измерения фотонапряжения соединений, а также ряд других решений. В области систем контроля электрических характеристик мы являемся лидерами рынка.
За счет чего Semilab добилась лидерства?
Мы предлагаем очень большое число неразрушающих и разрушающих измерительных методов, что позволяет нашим заказчикам выбирать оптимальные технологии для решения их задач. При этом есть возможность комбинировать несколько различных методов, например, оптические и электрические измерения, а также выполнять измерения на производственном оборудовании в режиме онлайн. Следует отметить, что наши системы конструируются по принципу универсальных платформ, позволяющих устанавливать несколько разных измерительных головок. Это удобно не только заказчикам, но и рационально с точки зрения унификации производства и его концентрации на одном производственном предприятии в Будапеште. Очень важно, что мы постоянно ведем новые разработки, в том числе в сотрудничестве с бельгийским научным центром IMEC и другими крупными международными партнерами.
С какими вызовами приходится сталкиваться при создании измерительного оборудования?
Во-первых, постоянно растет номенклатура материалов, используемых в полупроводниковой отрасли и фотовольтаике, что обуславливает необходимость разработки новых методик измерений. Во-вторых, развиваются технологии, например, заметно растет число исследований в области атомно-слоевого осаждения. Кроме того, традиционным вызовом, который обусловлен уменьшением топологических норм, является рост требований к точности и скорости измерений.
Как организована работа на международном рынке?
Semilab имеет представительства в США, Японии, Китае, Корее, Тайване и Сингапуре. В других странах, в том числе в России, нас представляют компании-дистрибьюторы.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
