eng
Компания E + H Metrology из Карлсруэ (Германия) ведет свою историю с 1968 года, когда Вильфрид Айххорн и Таддэус Хаусманн основали фирму Eichhorn+Hausmann, которая занималась разработкой линейных емкостных датчиков расстояния для машиностроения. В 1978 году компания представила свою первую измерительную систему для полупроводниковой отрасли. Современное название E + H Metrology получила в 2008 году. В настоящее время около 80% бизнеса компании приходится на долю метрологических решений для полупроводниковой промышленности и смежных отраслей. Об измерительном оборудовании E + H Metrology рассказал Петер Михел, менеджер по метрологическим системам.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.18.20
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.18.20
Господин Михел, для каких задач предназначены измерительные системы E + H Metrology?
Наши метрологические решения применяются на всех стадиях производства полупроводниковых пластин, а также для контроля наносимых на них покрытий. Измеряются геометрические и электрические параметры, включая толщину, плоскостность (отклонения формы), шероховатость, пористость, сопротивление, тип проводимости. Соответственно, основными пользователями наших приборов являются производители пластин и электронных компонентов. Помимо традиционной микроэлектроники, наши заказчики работают в таких областях, как производство светодиодов, МЭМС, фотовольтаика. Также мы поставляем измерительные системы в рамках OEM-соглашений производителям технологического оборудования.
За почти 40 лет работы в полупроводниковой промышленности накоплен уникальный опыт, которым мы с радостью делимся с нашими заказчиками, помогая им находить оптимальные решения самых сложных задач. Об эффективности наших систем свидетельствует тот факт, что их используют практически все ведущие производители пластин и полупроводниковых компонентов. В настоящее время по всему миру эксплуатируется более 2 тыс. наших метрологических систем.
Каковы ключевые преимущества метрологических систем E + H Metrology?
Наши приборы характеризуются хорошим соотношением цены и качества, минимальными эксплуатационными затратами и очень высокой долговечностью. Следует отметить, что мы сами разрабатываем все основные элементы приборов: механические узлы, сенсоры и программное обеспечение. Измерения производятся с применением бесконтактных емкостных, токовых и оптических датчиков. В процессе измерения пластина неподвижна, что обеспечивает высокую точность. Применение систем датчиков минимизирует время контроля.
Мы разработали широкую номенклатуру приборов, позволяющих решать любые метрологические задачи в области производства, а также НИОКР. Предлагаются системы для измерения пластин диаметром от 50 до 450 мм, включая решения для контроля специальных материалов, например стекла, кварца, сапфира и карбида кремния. Пластины могут загружаться в прибор как вручную, так и с применением различных автоматических систем.
Каким программным обеспечением комплектуются приборы?
Большинство наших метрологических систем комплектуются программным пакетом MX-NT V2, который вычисляет и выводит на дисплей измеренные параметры пластины, дает возможность использовать "рецепты" для гибкой настройки измерений и обеспечивает структурированное хранение данных с применением MS SQL Server или MS Access.
Также мы разработали систему 3D-визуализации и анализа данных Waferstudio, которая может применяться в связке не только с нашими приборами, но и с измерительным оборудованием других производителей. Waferstudio позволяет анализировать результаты измерений пластин разной формы, в том числе прямоугольных, которые применяются в фотовольтаике, а также моделировать результаты технологических процессов на основании ранее полученных данных.
В каких направлениях ведутся новые разработки?
Мы уделяем большое внимание совершенствованию сенсоров, в частности разрабатываем оптическую систему с нанометровым разрешением, которая позволит контролировать качество полупроводниковых пластин на новых уровнях развития технологии. Уверен, что наши системы будут неизменно востребованы по всему миру, включая Россию, где мы видим хорошие перспективы для развития микроэлектроники и смежных высокотехнологичных отраслей.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Наши метрологические решения применяются на всех стадиях производства полупроводниковых пластин, а также для контроля наносимых на них покрытий. Измеряются геометрические и электрические параметры, включая толщину, плоскостность (отклонения формы), шероховатость, пористость, сопротивление, тип проводимости. Соответственно, основными пользователями наших приборов являются производители пластин и электронных компонентов. Помимо традиционной микроэлектроники, наши заказчики работают в таких областях, как производство светодиодов, МЭМС, фотовольтаика. Также мы поставляем измерительные системы в рамках OEM-соглашений производителям технологического оборудования.
За почти 40 лет работы в полупроводниковой промышленности накоплен уникальный опыт, которым мы с радостью делимся с нашими заказчиками, помогая им находить оптимальные решения самых сложных задач. Об эффективности наших систем свидетельствует тот факт, что их используют практически все ведущие производители пластин и полупроводниковых компонентов. В настоящее время по всему миру эксплуатируется более 2 тыс. наших метрологических систем.
Каковы ключевые преимущества метрологических систем E + H Metrology?
Наши приборы характеризуются хорошим соотношением цены и качества, минимальными эксплуатационными затратами и очень высокой долговечностью. Следует отметить, что мы сами разрабатываем все основные элементы приборов: механические узлы, сенсоры и программное обеспечение. Измерения производятся с применением бесконтактных емкостных, токовых и оптических датчиков. В процессе измерения пластина неподвижна, что обеспечивает высокую точность. Применение систем датчиков минимизирует время контроля.
Мы разработали широкую номенклатуру приборов, позволяющих решать любые метрологические задачи в области производства, а также НИОКР. Предлагаются системы для измерения пластин диаметром от 50 до 450 мм, включая решения для контроля специальных материалов, например стекла, кварца, сапфира и карбида кремния. Пластины могут загружаться в прибор как вручную, так и с применением различных автоматических систем.
Каким программным обеспечением комплектуются приборы?
Большинство наших метрологических систем комплектуются программным пакетом MX-NT V2, который вычисляет и выводит на дисплей измеренные параметры пластины, дает возможность использовать "рецепты" для гибкой настройки измерений и обеспечивает структурированное хранение данных с применением MS SQL Server или MS Access.
Также мы разработали систему 3D-визуализации и анализа данных Waferstudio, которая может применяться в связке не только с нашими приборами, но и с измерительным оборудованием других производителей. Waferstudio позволяет анализировать результаты измерений пластин разной формы, в том числе прямоугольных, которые применяются в фотовольтаике, а также моделировать результаты технологических процессов на основании ранее полученных данных.
В каких направлениях ведутся новые разработки?
Мы уделяем большое внимание совершенствованию сенсоров, в частности разрабатываем оптическую систему с нанометровым разрешением, которая позволит контролировать качество полупроводниковых пластин на новых уровнях развития технологии. Уверен, что наши системы будут неизменно востребованы по всему миру, включая Россию, где мы видим хорошие перспективы для развития микроэлектроники и смежных высокотехнологичных отраслей.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
