eng
Выпуск #3/2017
Ц.Кавабе
Тонкопленочные технологии и плазмотехнические системы из Японии
Тонкопленочные технологии и плазмотехнические системы из Японии
Просмотры: 3279
В 1979 году в Киото, древней столице Японии, была создана небольшая лаборатория по разработке оборудования для химического осаждения из газовой фазы (CVD) для полупроводниковой отрасли, получившая название SAMCO International. С годами компания выросла, расширила продуктовую линейку, открыла представительства, сервисные подразделения и центры исследований и разработок в Азии (Китай, Тайвань, Южная Корея, Сингапур, Вьетнам), Северной Америке (США) и Европе (Лихтенштейн), изменила название на SAMCO Inc. и прошла процедуру IPO на Токийской фондовой бирже. В настоящее время в SAMCO работают около 170 человек, а оборот компании превышает 5,3 млрд японских иен. С 2014 года акции SAMCO торгуются в первой секции биржи, то есть в числе компаний с наибольшей капитализацией. О решениях для полупроводниковой отрасли рассказал Цукаса Кавабе (справа на фото), член правления, исполнительный вице-президент SAMCO Inc.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.22.24
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.22.24
Господин Кавабе, каковы основные компетенции SAMCO?
Мы разрабатываем и производим три группы оборудования для полупроводниковой отрасли. Во-первых, это системы получения тонкопленочных покрытий на базе технологий LS-CVD (CVD с жидким источником), плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD), осаждения металлоорганических соединений из газообразной фазы (MOCVD). Наши системы CVD предназначены для формирования тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков в производстве полупроводниковых компонентов, светодиодов, МЭМС. В частности, LS-CVD позволяет при низких температурах и без использования токсичных и огнеопасных газов осаждать высококачественные изолирующие слои в 3D-структурах, PECVD используется для формирования изолирующих и пассивирующих пленок таких материалов, как SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H, а MOCVD применяется для выращивания монокристаллов нитрида галлия.
Вторая группа решений – системы сухого травления в индуктивно-связанной плазме (ICP), реактивного ионного травления (RIE), а также Bosch-процесса – глубокого реактивного ионного травления (DRIE) кремния. Наши установки сухого травления позволяют формировать функциональные структуры в слоях полупроводников и диэлектриков в производстве полупроводниковых устройств, светодиодов, дисплеев. В системах ICP применяется патентованный источник индуктивно-связанной плазмы Tornado ICP, обеспечивающий получение высокоплотной плазмы и высокую скорость травления. Отмечу также, что SAMCO первой в Японии купила лицензию на Bosch-процесс, что позволило нам стать одним из мировых лидеров в разработке и производстве систем DRIE.
Третья группа оборудования включает системы сухой очистки на базе плазменных установок, а также обработки УФ-излучением и озоном. Сухая обработка позволяет отказаться от использования жидких растворителей и выполнять очистку на высокой скорости в автоматическом режиме. Плазменные системы применяются для очистки пластиковых корпусов и деталей, ЖК-панелей и других элементов. При этом, плазменная обработка повышает прочность соединений и улучшает адгезию пластика. Очистка УФ-излучением и озоном используется в производстве ЖК-дисплеев, магнитных дисков, электронных компонентов, светодиодов.
Мы выпускаем оборудование как для промышленного производства, так и для исследований и разработок.
Какие преимущества обеспечивает пользователям оборудование SAMCO?
При разработке новых решений мы активно сотрудничаем с ведущими японскими научными центрами, в частности, Токийским и Киотским университетами, поэтому пользователи могут быть уверены, что мы предлагаем им передовое оборудование, созданное на базе последних технических достижений. В производстве используются компоненты самого высокого качества, что обеспечивает очень высокую надежность установок. При этом они просты в обслуживании, дешевы в эксплуатации и позволяют использовать обычные расходные материалы. Важным преимуществом является то, что с 1979 года мы накопили огромный технологический опыт, которым с готовностью делимся с клиентами. Если в нашей технологической базе нет необходимого рецепта, мы разрабатываем его в сотрудничестве с заказчиком. Комплексную технологическую поддержку дополняет качественная работа сервисных служб, которые в кратчайшие сроки решают проблемы ремонта и технического обслуживания, в каком бы регионе мира не находился заказчик.
Как организована работа на европейском рынке?
В 2014 году, после покупки 90% акций компании UCP, разрабатывающей системы плазменной очистки, мы создали фирму SAMCO-UCP со штаб-квартирой в Лихтенштейне. SAMCO-UCP представляет нас на европейском рынке, обеспечивая продажи оборудования, а также сервисную и технологическую поддержку. Мы прикладываем много усилий к укреплению наших позиций в Европе и рассчитываем, что и российские пользователи высоко оценят качество наших решений.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Мы разрабатываем и производим три группы оборудования для полупроводниковой отрасли. Во-первых, это системы получения тонкопленочных покрытий на базе технологий LS-CVD (CVD с жидким источником), плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD), осаждения металлоорганических соединений из газообразной фазы (MOCVD). Наши системы CVD предназначены для формирования тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков в производстве полупроводниковых компонентов, светодиодов, МЭМС. В частности, LS-CVD позволяет при низких температурах и без использования токсичных и огнеопасных газов осаждать высококачественные изолирующие слои в 3D-структурах, PECVD используется для формирования изолирующих и пассивирующих пленок таких материалов, как SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H, а MOCVD применяется для выращивания монокристаллов нитрида галлия.
Вторая группа решений – системы сухого травления в индуктивно-связанной плазме (ICP), реактивного ионного травления (RIE), а также Bosch-процесса – глубокого реактивного ионного травления (DRIE) кремния. Наши установки сухого травления позволяют формировать функциональные структуры в слоях полупроводников и диэлектриков в производстве полупроводниковых устройств, светодиодов, дисплеев. В системах ICP применяется патентованный источник индуктивно-связанной плазмы Tornado ICP, обеспечивающий получение высокоплотной плазмы и высокую скорость травления. Отмечу также, что SAMCO первой в Японии купила лицензию на Bosch-процесс, что позволило нам стать одним из мировых лидеров в разработке и производстве систем DRIE.
Третья группа оборудования включает системы сухой очистки на базе плазменных установок, а также обработки УФ-излучением и озоном. Сухая обработка позволяет отказаться от использования жидких растворителей и выполнять очистку на высокой скорости в автоматическом режиме. Плазменные системы применяются для очистки пластиковых корпусов и деталей, ЖК-панелей и других элементов. При этом, плазменная обработка повышает прочность соединений и улучшает адгезию пластика. Очистка УФ-излучением и озоном используется в производстве ЖК-дисплеев, магнитных дисков, электронных компонентов, светодиодов.
Мы выпускаем оборудование как для промышленного производства, так и для исследований и разработок.
Какие преимущества обеспечивает пользователям оборудование SAMCO?
При разработке новых решений мы активно сотрудничаем с ведущими японскими научными центрами, в частности, Токийским и Киотским университетами, поэтому пользователи могут быть уверены, что мы предлагаем им передовое оборудование, созданное на базе последних технических достижений. В производстве используются компоненты самого высокого качества, что обеспечивает очень высокую надежность установок. При этом они просты в обслуживании, дешевы в эксплуатации и позволяют использовать обычные расходные материалы. Важным преимуществом является то, что с 1979 года мы накопили огромный технологический опыт, которым с готовностью делимся с клиентами. Если в нашей технологической базе нет необходимого рецепта, мы разрабатываем его в сотрудничестве с заказчиком. Комплексную технологическую поддержку дополняет качественная работа сервисных служб, которые в кратчайшие сроки решают проблемы ремонта и технического обслуживания, в каком бы регионе мира не находился заказчик.
Как организована работа на европейском рынке?
В 2014 году, после покупки 90% акций компании UCP, разрабатывающей системы плазменной очистки, мы создали фирму SAMCO-UCP со штаб-квартирой в Лихтенштейне. SAMCO-UCP представляет нас на европейском рынке, обеспечивая продажи оборудования, а также сервисную и технологическую поддержку. Мы прикладываем много усилий к укреплению наших позиций в Европе и рассчитываем, что и российские пользователи высоко оценят качество наших решений.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
