eng
Безмасковая лазерная литография позволяет упростить производство полупроводниковых приборов благодаря исключению из технологического процесса операций, связанных с изготовлением, использованием и хранением фотошаблонов.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.20.22
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.20.22
Безмасковая лазерная литография позволяет упростить производство полупроводниковых приборов благодаря исключению из технологического процесса операций, связанных с изготовлением, использованием и хранением фотошаблонов. Технологическим лидером в области разработки и производства лазерного оборудования для прямого экспонирования и литографии уже более четверти века является компания Heidelberg Instruments. На выставке SEMICON Europa 2017 немецкая компания анонсировала новую модель установки безмасковой литографии MLA300, которая работает с рекордной производительностью – до 60 пластин/ч. Об этой и других разработках Heidelberg Instruments рассказал директор по продажам в Европе д-р Свен Пройс.
Господин Пройс, в каких направлениях ведутся разработки в области лазерных систем прямого экспонирования и литографии?
Направления разработок определяются ростом требований пользователей к скорости и точности работы систем лазерного экспонирования. Один из наших ответов на эти вызовы – система безмасковой лазерной литографии MLA300, которую планируется вывести на рынок в 2018 году. Это автоматическая установка, предназначенная для подложек размером до 300 Ч 300 мм. Максимальная производительность MLA300 достигает 60 пластин в час, что является абсолютным рекордом для оборудования этого класса.
Наши разработки в области повышения разрешения воплотились в представленной в 2017 году усовершенствованной системе DWL 66+, которая теперь имеет опцию экспонирования с разрешением 300 нм.
Возможно ли дальнейшее повышение разрешения и скорости экспонирования?
Критическим параметром для скорости экспонирования является мощность лазера. Поскольку лазерная техника постоянно улучшается, можно прогнозировать, что и производительность лазерных экспонирующих установок будет повышаться. Разрешение ограничено законами физики, поэтому вряд ли следует рассчитывать на существенное улучшение этого параметра.
Развитие электронно-лучевой литографии может стать вызовом для производителей лазерных систем?
Электронно-лучевая литография предназначена для другого сегмента рынка. Ее использование целесообразно, если требуется получить структуры с размером элементов в десятки нанометров, а скорость экспонирования не принципиальна. Мы предлагаем оборудование, которое имеет меньшее разрешение, чем электронно-лучевые системы, но существенно более высокую производительность, и может применяться не только в исследованиях и разработках, но и в серийном и массовом производстве полупроводниковых приборов.
Как вы оцениваете объем рынка для систем лазерного экспонирования?
С разработкой серии MLA потенциальный рынок значительно увеличился, поскольку появилась реальная перспектива постепенной замены нашим оборудованием традиционных литографических систем. Если раньше заказчики покупали одну систему для лазерного экспонирования фотошаблонов на несколько единиц традиционного литографического оборудования, то теперь тенденцией становится постепенный отказ от морально устаревших систем фотолитографии в пользу наших решений для прямого экспонирования.
Каковы преимущества оборудования Heidelberg Instruments по сравнению с аналогами?
Нашу компанию отличают от конкурентов, во-первых, 30-летний опыт работы на рынке систем лазерного экспонирования, во-вторых, тот факт, что мы сами разрабатываем все основные компоненты, включая оптику и электронику, а также программное обеспечение, и можем предлагать заказчикам действительно уникальные решения. Как результат, в более чем 50 странах мира установлено свыше 800 единиц нашего оборудования, а такие разработки, как MLA300 и обновленная DWL 66+, фактически не имеют аналогов.
Какова структура продаж оборудования Heidelberg Instruments?
Примерно две трети наших продаж приходится на научные и образовательные учреждения и одна треть – на промышленность. При этом промышленные предприятия нередко используют наше оборудование для исследований и разработок, а также изготовления опытных серий изделий. Вывод на рынок системы MLA300, безусловно, укрепит наши позиции в промышленном сегменте.
Как вы оцениваете позиции Heidelberg Instruments на российском рынке?
Россия – достаточно динамичный рынок, на котором наши решения пользуются устойчивым спросом. В настоящее время установлено уже около 50 систем лазерного экспонирования, и мы высоко оцениваем результаты сотрудничества с нашим российским партнером – компанией "МИНАТЕХ".
Интервью: Дмитрий Гудилин
Господин Пройс, в каких направлениях ведутся разработки в области лазерных систем прямого экспонирования и литографии?
Направления разработок определяются ростом требований пользователей к скорости и точности работы систем лазерного экспонирования. Один из наших ответов на эти вызовы – система безмасковой лазерной литографии MLA300, которую планируется вывести на рынок в 2018 году. Это автоматическая установка, предназначенная для подложек размером до 300 Ч 300 мм. Максимальная производительность MLA300 достигает 60 пластин в час, что является абсолютным рекордом для оборудования этого класса.
Наши разработки в области повышения разрешения воплотились в представленной в 2017 году усовершенствованной системе DWL 66+, которая теперь имеет опцию экспонирования с разрешением 300 нм.
Возможно ли дальнейшее повышение разрешения и скорости экспонирования?
Критическим параметром для скорости экспонирования является мощность лазера. Поскольку лазерная техника постоянно улучшается, можно прогнозировать, что и производительность лазерных экспонирующих установок будет повышаться. Разрешение ограничено законами физики, поэтому вряд ли следует рассчитывать на существенное улучшение этого параметра.
Развитие электронно-лучевой литографии может стать вызовом для производителей лазерных систем?
Электронно-лучевая литография предназначена для другого сегмента рынка. Ее использование целесообразно, если требуется получить структуры с размером элементов в десятки нанометров, а скорость экспонирования не принципиальна. Мы предлагаем оборудование, которое имеет меньшее разрешение, чем электронно-лучевые системы, но существенно более высокую производительность, и может применяться не только в исследованиях и разработках, но и в серийном и массовом производстве полупроводниковых приборов.
Как вы оцениваете объем рынка для систем лазерного экспонирования?
С разработкой серии MLA потенциальный рынок значительно увеличился, поскольку появилась реальная перспектива постепенной замены нашим оборудованием традиционных литографических систем. Если раньше заказчики покупали одну систему для лазерного экспонирования фотошаблонов на несколько единиц традиционного литографического оборудования, то теперь тенденцией становится постепенный отказ от морально устаревших систем фотолитографии в пользу наших решений для прямого экспонирования.
Каковы преимущества оборудования Heidelberg Instruments по сравнению с аналогами?
Нашу компанию отличают от конкурентов, во-первых, 30-летний опыт работы на рынке систем лазерного экспонирования, во-вторых, тот факт, что мы сами разрабатываем все основные компоненты, включая оптику и электронику, а также программное обеспечение, и можем предлагать заказчикам действительно уникальные решения. Как результат, в более чем 50 странах мира установлено свыше 800 единиц нашего оборудования, а такие разработки, как MLA300 и обновленная DWL 66+, фактически не имеют аналогов.
Какова структура продаж оборудования Heidelberg Instruments?
Примерно две трети наших продаж приходится на научные и образовательные учреждения и одна треть – на промышленность. При этом промышленные предприятия нередко используют наше оборудование для исследований и разработок, а также изготовления опытных серий изделий. Вывод на рынок системы MLA300, безусловно, укрепит наши позиции в промышленном сегменте.
Как вы оцениваете позиции Heidelberg Instruments на российском рынке?
Россия – достаточно динамичный рынок, на котором наши решения пользуются устойчивым спросом. В настоящее время установлено уже около 50 систем лазерного экспонирования, и мы высоко оцениваем результаты сотрудничества с нашим российским партнером – компанией "МИНАТЕХ".
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
