eng
Тайваньская корпорация MPI представляет зондовые установки для контроля приборов на полупроводниковых пластинах.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.108.110
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.108.110
Тайваньская корпорация MPI представила на выставке SEMICON Europa 2017 зондовые установки для контроля приборов на полупроводниковых пластинах. Хотя MPI работает в этом сегменте рынка всего около трех лет, она хорошо известна в России, где ее представляет компания "ТБС". О тенденциях и новых решениях в области зондовых измерений рассказал главный управляющий подразделением Advanced Semiconductor Test корпорации MPI Стоян Канев.
Господин Канев, какие тенденции на рынке полупроводниковых приборов повлияли на развитие зондовых установок?
Важной тенденцией является развитие СВЧ-электроники, поэтому мы разработали установки, позволяющие тестировать приборы с частотой до 1 ТГц. Поскольку размеры партий СВЧ-приборов растут, в 2017 году представлена новая система для пластин диаметром до 200 мм. В перспективе мы готовы предложить такие возможности и в установках для пластин диаметром 300 мм.
Еще одна задача связана с началом производства устройств для сетей 5G. В связи с этим растет спрос на автоматические решения для тестирования приборов с антеннами на пластинах. Совместно с компанией Rohde & Schwarz мы разработали такую установку, снабженную роботом для необходимых манипуляций и укомплектованную специальным программным обеспечением.
И, наконец, наиболее важной новой разработкой стала новая версия системы SENTIO, объединившая программное обеспечение для калибровки и управления измерениями на всех типах автоматических и полуавтоматических установок.
Каковы преимущества новой версии SENTIO?
До сих пор для калибровки и управления зондовой установкой использовались разные программные системы, которые обслуживались и функционировали независимо друг от друга, что, конечно, было неудобно пользователям оборудования. Мы первыми в мире совместили функции калибровки и управления в одной автоматизированной системе. При этом мы расширили число калибровочных методов для разных приложений. Отмечу, что программное обеспечение для калибровки поставляется в комплекте с оборудованием совершенно бесплатно, и также бесплатно предоставляются обновления для ранее выпущенного оборудования, поэтому всем пользователям установок MPI доступны самые последние разработки в области автоматизации управления.
MPI работает на рынке зондовых установок всего около трех лет, тем не менее ваше оборудование используют крупнейшие глобальные компании полупроводниковой отрасли. Благодаря чему удалось добиться такого успеха?
Действительно, в числе наших заказчиков – GlobalFoundries, TSMC, STMicroelectronics, Micron, Panasonic, Imec и другие ведущие производители микро- и наноэлектроники. Такие компании выбирают лучшие из представленных на рынке решений, а в области зондовых установок для контроля приборов на полупроводниковых пластинах мы являемся технологическими лидерами. Добиться этого удалось благодаря реализации особого подхода к разработке оборудования. Мы начали с чистого листа, принципиально отказавшись от копирования чьих-либо решений, а следовательно, и связанных с ними недостатков, но при этом используя 25-летний опыт создания и продаж зондовых систем. Во главу угла была поставлена легкость эксплуатации установок, поскольку если раньше операторы, как правило, имели многолетний опыт, то сегодня подход к кадровой политике изменился, и зачастую на оборудовании работают новички. Нашей задачей было создание не только простых в управлении, но и безопасных систем, которые минимизировали бы риск ошибки оператора. Мы первыми использовали в зондовых установках сенсорные мультитач-экраны и автоматическое включение и выключение вакуума. Интеллектуальная система управления с интуитивно понятным интерфейсом максимально облегчает настройку оборудования. При этом наши установки имеют меньшую цену, чем аналоги от европейских конкурентов. Подчеркну, что клиентоориентированность для нас – не лишенный смысла речевой штамп, а один из главных принципов ведения бизнеса.
Какие новшества планируется представить в ближайшем будущем?
Мы продолжаем повышать автоматизацию измерений, в частности, планируем автоматизировать настройку температурных режимов. И, как я уже говорил, в установках для пластин 300 мм появится возможность работы с СВЧ-приборами частотой до 1 ТГц.
Интервью: Дмитрий Гудилина
Господин Канев, какие тенденции на рынке полупроводниковых приборов повлияли на развитие зондовых установок?
Важной тенденцией является развитие СВЧ-электроники, поэтому мы разработали установки, позволяющие тестировать приборы с частотой до 1 ТГц. Поскольку размеры партий СВЧ-приборов растут, в 2017 году представлена новая система для пластин диаметром до 200 мм. В перспективе мы готовы предложить такие возможности и в установках для пластин диаметром 300 мм.
Еще одна задача связана с началом производства устройств для сетей 5G. В связи с этим растет спрос на автоматические решения для тестирования приборов с антеннами на пластинах. Совместно с компанией Rohde & Schwarz мы разработали такую установку, снабженную роботом для необходимых манипуляций и укомплектованную специальным программным обеспечением.
И, наконец, наиболее важной новой разработкой стала новая версия системы SENTIO, объединившая программное обеспечение для калибровки и управления измерениями на всех типах автоматических и полуавтоматических установок.
Каковы преимущества новой версии SENTIO?
До сих пор для калибровки и управления зондовой установкой использовались разные программные системы, которые обслуживались и функционировали независимо друг от друга, что, конечно, было неудобно пользователям оборудования. Мы первыми в мире совместили функции калибровки и управления в одной автоматизированной системе. При этом мы расширили число калибровочных методов для разных приложений. Отмечу, что программное обеспечение для калибровки поставляется в комплекте с оборудованием совершенно бесплатно, и также бесплатно предоставляются обновления для ранее выпущенного оборудования, поэтому всем пользователям установок MPI доступны самые последние разработки в области автоматизации управления.
MPI работает на рынке зондовых установок всего около трех лет, тем не менее ваше оборудование используют крупнейшие глобальные компании полупроводниковой отрасли. Благодаря чему удалось добиться такого успеха?
Действительно, в числе наших заказчиков – GlobalFoundries, TSMC, STMicroelectronics, Micron, Panasonic, Imec и другие ведущие производители микро- и наноэлектроники. Такие компании выбирают лучшие из представленных на рынке решений, а в области зондовых установок для контроля приборов на полупроводниковых пластинах мы являемся технологическими лидерами. Добиться этого удалось благодаря реализации особого подхода к разработке оборудования. Мы начали с чистого листа, принципиально отказавшись от копирования чьих-либо решений, а следовательно, и связанных с ними недостатков, но при этом используя 25-летний опыт создания и продаж зондовых систем. Во главу угла была поставлена легкость эксплуатации установок, поскольку если раньше операторы, как правило, имели многолетний опыт, то сегодня подход к кадровой политике изменился, и зачастую на оборудовании работают новички. Нашей задачей было создание не только простых в управлении, но и безопасных систем, которые минимизировали бы риск ошибки оператора. Мы первыми использовали в зондовых установках сенсорные мультитач-экраны и автоматическое включение и выключение вакуума. Интеллектуальная система управления с интуитивно понятным интерфейсом максимально облегчает настройку оборудования. При этом наши установки имеют меньшую цену, чем аналоги от европейских конкурентов. Подчеркну, что клиентоориентированность для нас – не лишенный смысла речевой штамп, а один из главных принципов ведения бизнеса.
Какие новшества планируется представить в ближайшем будущем?
Мы продолжаем повышать автоматизацию измерений, в частности, планируем автоматизировать настройку температурных режимов. И, как я уже говорил, в установках для пластин 300 мм появится возможность работы с СВЧ-приборами частотой до 1 ТГц.
Интервью: Дмитрий Гудилина
Отзывы читателей
