Компания SPTS – один из мировых лидеров в области решений для осаждения и травления материалов для полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Оборудование компании, входящей в группу Orbotech, уже более 30 лет успешно применяется ведущими предприятиями и научными центрами по всему миру. Около года назад мы уже писали о разработках SPTS (НАНОИНДУСТРИЯ, № 2 (72), 2017), в продолжение рассказа – интервью с региональным менеджером Франком Торрес-Мигелем (на фото – слева).

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.192.196

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Головин Д.Ю., Тюрин А.И., Самодуров А.И., Дивин А. Г., Головин Ю.И.; под общей редакцией Ю.И. Головина
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #3/2018
Ф.Торрес-Мигель
Создание совершенных решений как основной принцип бизнеса
Просмотры: 2627
Компания SPTS – один из мировых лидеров в области решений для осаждения и травления материалов для полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Оборудование компании, входящей в группу Orbotech, уже более 30 лет успешно применяется ведущими предприятиями и научными центрами по всему миру. Около года назад мы уже писали о разработках SPTS (НАНОИНДУСТРИЯ, № 2 (72), 2017), в продолжение рассказа – интервью с региональным менеджером Франком Торрес-Мигелем (на фото – слева).

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.192.196
Господин Торрес-Мигель, каких успехов компания добилась в 2017 году?
Наш бизнес продолжает успешно расти во всех регионах мира, включая Восточную Европу и Россию. Мы представили ряд новых разработок, в частности для глубокого травления кремния, и продолжаем развивать наши решения в области осаждения и травления, в том числе CVD, PECVD, PVD, MVD, ICP, DRIE и др.
В настоящее время на рынке представлено оборудование для осаждения и травления тонких пленок от большого числа разработчиков и поставщиков. В чем отличия решений SPTS и что позволяет компании занимать лидирующие позиции в данном сегменте?
Действительно, множество компаний предлагает CVD-, PVD-, ICP-установки, но большинство из этих разработок предназначено исключительно для исследований, пилотного и мелкосерийного производства. Иногда такое оборудование позволяет реализовывать специальные режимы, которые представляют интерес для исследователей, но неприменимы в производстве. Принципиальным отличием нашего оборудования является соответствие всему комплексу требований, которые предъявляет промышленность. Речь идет, в первую очередь, о надежности, технических возможностях и гибкости с точки зрения реализации, легкости внедрения и использования машин. Например, осаждение пленок обычно осуществляется путем вакуумного напыления (PVD), но системы PVD различны, и результаты их реализации даже для одних и тех же приложений могут быть совершенно разными. Чтобы они могли использоваться в промышленном производстве, должны обеспечиваться однородность покрытия по всей площади пластины, возможность работы с пластинами различных размеров из разных материалов и многие другие качества. Мы умеем оптимизировать технологию, учесть все возможные нюансы – именно за это заказчики ценят наши решения. Поэтому наши машины успешно применяются во всем мире не только научными и исследовательскими центрами, но и промышленными компаниями разного масштаба, включая так называемые мегафабы.

Следует отметить, что мы специализируемся на оборудовании для низкотемпературных процессов, которые востребованы в таких областях, как 3D-интеграция, производство МЭМС, высокочастотной и СВЧ-электроники, силовых приборов и т.п. При этом каждое наше технологическое решение постоянно совершенствуется для расширения функциональности, повышения производительности, а также решения новых задач. Например, с помощью наших CVD-установок можно получить толстые слои SiO2, которые, несмотря на толщину порядка 20 мкм, будут характеризоваться исключительной стабильностью свойств. Такие решения необходимы для производства приборов силовой электроники, и очень мало компаний, которые могут поставлять оборудование, подобное нашим CVD-системам Delta. В области глубокого реактивного ионного травления мы были первыми, кто получил лицензию на реализацию Bosch-процесса, что позволило освоить технологию формирования вертикальных углублений и отверстий с высотой стенок до сотен микрометров, а также глубоких отверстий и углублений с наклонными стенками. В настоящее время во всем мире эксплуатируется более 1 200 наших установок DRIE, то есть примерно в 10 раз больше, чем у ближайших конкурентов. Также разработаны надежные и гибкие решения для новых областей, связанных с использованием составных полупроводников, например, нитрида галлия. Совершенно новый процесс – молекулярное осаждение из газовой фазы (MVD), которое применяется, например, в производстве МЭМС и 3D-интегрированных приборов. И даже в такой хорошо известной и детально исследованной технологии, как PVD, мы можем предложить решения, которые уникальны по своим эксплуатационным характеристикам и надежности.
Расскажите, пожалуйста, о решениях для 3D-интеграции.
В последние годы значительно – даже не в разы, а на порядки – расширились области применения технологий и оборудования для осаждения и травления пленок. Наши клиенты успешно осваивают технологии 3D-интеграции ИС и высокоплотное (High Density – HD) корпусирование на уровне пластины с разветвлением (Fan-out Wafer Level Packaging – FOWLP), обеспечивающие улучшение производительности, снижение энергопотребления и уменьшение размера приборов. Для 3D-интеграции требуется высокоточное формирование сквозных переходных отверстий (through-silicon via – TSV), и наша система плазменного травления Omega позволяет успешно решать эту задачу, в том числе при высоком аспектном отношении таких элементов. Все ведущие компании в области FOWLP используют PVD-систему Sigma, так как она обеспечивает наилучшую производительность и самые низкие эксплуатационные затраты при формировании металлизации под бампы и слоев перераспределения.
Каковы достижения SPTS в области разработки систем для плазменного разделения пластин?
Мы являемся одними из пионеров в данной области и единственными, кто разработал установку для обработки 300-мм пластин. Платформа для плазменного разделения Mosaic создана на базе наших DRIE-установок Rapier, которые, как уже было отмечено, являются самым востребованным на рынке решением для реализации Bosch-процесса. О преимуществах плазменной технологии перед механическим и лазерным разделением написано уже достаточно много – это и более эффективное использование площади пластины, и высокая производительность, и возможность получения кристаллов разной формы.
Каковы планы развития бизнеса в России?
За работу на российском рынке отвечают партнеры из компании "Икар-Импульс", которые ежегодно проводят в конце сентября трехдневный семинар для российских заказчиков. В этом мероприятии принимают участие наши ведущие специалисты, представляющие актуальные разработки SPTS для разных сегментов рынка. Уверен, что семинар 2018 года не станет исключением, и участие в нем будет очень полезно как техническим специалистам, так и менеджерам высших звеньев и владельцам предприятий российской полупроводниковой отрасли.
Интервью: Дмитрий Гудилин
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art