eng
Выпуск #3/2018
Ф.Торрес-Мигель
Создание совершенных решений как основной принцип бизнеса
Создание совершенных решений как основной принцип бизнеса
Просмотры: 2559
Компания SPTS – один из мировых лидеров в области решений для осаждения и травления материалов для полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Оборудование компании, входящей в группу Orbotech, уже более 30 лет успешно применяется ведущими предприятиями и научными центрами по всему миру. Около года назад мы уже писали о разработках SPTS (НАНОИНДУСТРИЯ, № 2 (72), 2017), в продолжение рассказа – интервью с региональным менеджером Франком Торрес-Мигелем (на фото – слева).
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.192.196
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.192.196
Господин Торрес-Мигель, каких успехов компания добилась в 2017 году?
Наш бизнес продолжает успешно расти во всех регионах мира, включая Восточную Европу и Россию. Мы представили ряд новых разработок, в частности для глубокого травления кремния, и продолжаем развивать наши решения в области осаждения и травления, в том числе CVD, PECVD, PVD, MVD, ICP, DRIE и др.
В настоящее время на рынке представлено оборудование для осаждения и травления тонких пленок от большого числа разработчиков и поставщиков. В чем отличия решений SPTS и что позволяет компании занимать лидирующие позиции в данном сегменте?
Действительно, множество компаний предлагает CVD-, PVD-, ICP-установки, но большинство из этих разработок предназначено исключительно для исследований, пилотного и мелкосерийного производства. Иногда такое оборудование позволяет реализовывать специальные режимы, которые представляют интерес для исследователей, но неприменимы в производстве. Принципиальным отличием нашего оборудования является соответствие всему комплексу требований, которые предъявляет промышленность. Речь идет, в первую очередь, о надежности, технических возможностях и гибкости с точки зрения реализации, легкости внедрения и использования машин. Например, осаждение пленок обычно осуществляется путем вакуумного напыления (PVD), но системы PVD различны, и результаты их реализации даже для одних и тех же приложений могут быть совершенно разными. Чтобы они могли использоваться в промышленном производстве, должны обеспечиваться однородность покрытия по всей площади пластины, возможность работы с пластинами различных размеров из разных материалов и многие другие качества. Мы умеем оптимизировать технологию, учесть все возможные нюансы – именно за это заказчики ценят наши решения. Поэтому наши машины успешно применяются во всем мире не только научными и исследовательскими центрами, но и промышленными компаниями разного масштаба, включая так называемые мегафабы.
Следует отметить, что мы специализируемся на оборудовании для низкотемпературных процессов, которые востребованы в таких областях, как 3D-интеграция, производство МЭМС, высокочастотной и СВЧ-электроники, силовых приборов и т.п. При этом каждое наше технологическое решение постоянно совершенствуется для расширения функциональности, повышения производительности, а также решения новых задач. Например, с помощью наших CVD-установок можно получить толстые слои SiO2, которые, несмотря на толщину порядка 20 мкм, будут характеризоваться исключительной стабильностью свойств. Такие решения необходимы для производства приборов силовой электроники, и очень мало компаний, которые могут поставлять оборудование, подобное нашим CVD-системам Delta. В области глубокого реактивного ионного травления мы были первыми, кто получил лицензию на реализацию Bosch-процесса, что позволило освоить технологию формирования вертикальных углублений и отверстий с высотой стенок до сотен микрометров, а также глубоких отверстий и углублений с наклонными стенками. В настоящее время во всем мире эксплуатируется более 1 200 наших установок DRIE, то есть примерно в 10 раз больше, чем у ближайших конкурентов. Также разработаны надежные и гибкие решения для новых областей, связанных с использованием составных полупроводников, например, нитрида галлия. Совершенно новый процесс – молекулярное осаждение из газовой фазы (MVD), которое применяется, например, в производстве МЭМС и 3D-интегрированных приборов. И даже в такой хорошо известной и детально исследованной технологии, как PVD, мы можем предложить решения, которые уникальны по своим эксплуатационным характеристикам и надежности.
Расскажите, пожалуйста, о решениях для 3D-интеграции.
В последние годы значительно – даже не в разы, а на порядки – расширились области применения технологий и оборудования для осаждения и травления пленок. Наши клиенты успешно осваивают технологии 3D-интеграции ИС и высокоплотное (High Density – HD) корпусирование на уровне пластины с разветвлением (Fan-out Wafer Level Packaging – FOWLP), обеспечивающие улучшение производительности, снижение энергопотребления и уменьшение размера приборов. Для 3D-интеграции требуется высокоточное формирование сквозных переходных отверстий (through-silicon via – TSV), и наша система плазменного травления Omega позволяет успешно решать эту задачу, в том числе при высоком аспектном отношении таких элементов. Все ведущие компании в области FOWLP используют PVD-систему Sigma, так как она обеспечивает наилучшую производительность и самые низкие эксплуатационные затраты при формировании металлизации под бампы и слоев перераспределения.
Каковы достижения SPTS в области разработки систем для плазменного разделения пластин?
Мы являемся одними из пионеров в данной области и единственными, кто разработал установку для обработки 300-мм пластин. Платформа для плазменного разделения Mosaic создана на базе наших DRIE-установок Rapier, которые, как уже было отмечено, являются самым востребованным на рынке решением для реализации Bosch-процесса. О преимуществах плазменной технологии перед механическим и лазерным разделением написано уже достаточно много – это и более эффективное использование площади пластины, и высокая производительность, и возможность получения кристаллов разной формы.
Каковы планы развития бизнеса в России?
За работу на российском рынке отвечают партнеры из компании "Икар-Импульс", которые ежегодно проводят в конце сентября трехдневный семинар для российских заказчиков. В этом мероприятии принимают участие наши ведущие специалисты, представляющие актуальные разработки SPTS для разных сегментов рынка. Уверен, что семинар 2018 года не станет исключением, и участие в нем будет очень полезно как техническим специалистам, так и менеджерам высших звеньев и владельцам предприятий российской полупроводниковой отрасли.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Наш бизнес продолжает успешно расти во всех регионах мира, включая Восточную Европу и Россию. Мы представили ряд новых разработок, в частности для глубокого травления кремния, и продолжаем развивать наши решения в области осаждения и травления, в том числе CVD, PECVD, PVD, MVD, ICP, DRIE и др.
В настоящее время на рынке представлено оборудование для осаждения и травления тонких пленок от большого числа разработчиков и поставщиков. В чем отличия решений SPTS и что позволяет компании занимать лидирующие позиции в данном сегменте?
Действительно, множество компаний предлагает CVD-, PVD-, ICP-установки, но большинство из этих разработок предназначено исключительно для исследований, пилотного и мелкосерийного производства. Иногда такое оборудование позволяет реализовывать специальные режимы, которые представляют интерес для исследователей, но неприменимы в производстве. Принципиальным отличием нашего оборудования является соответствие всему комплексу требований, которые предъявляет промышленность. Речь идет, в первую очередь, о надежности, технических возможностях и гибкости с точки зрения реализации, легкости внедрения и использования машин. Например, осаждение пленок обычно осуществляется путем вакуумного напыления (PVD), но системы PVD различны, и результаты их реализации даже для одних и тех же приложений могут быть совершенно разными. Чтобы они могли использоваться в промышленном производстве, должны обеспечиваться однородность покрытия по всей площади пластины, возможность работы с пластинами различных размеров из разных материалов и многие другие качества. Мы умеем оптимизировать технологию, учесть все возможные нюансы – именно за это заказчики ценят наши решения. Поэтому наши машины успешно применяются во всем мире не только научными и исследовательскими центрами, но и промышленными компаниями разного масштаба, включая так называемые мегафабы.
Следует отметить, что мы специализируемся на оборудовании для низкотемпературных процессов, которые востребованы в таких областях, как 3D-интеграция, производство МЭМС, высокочастотной и СВЧ-электроники, силовых приборов и т.п. При этом каждое наше технологическое решение постоянно совершенствуется для расширения функциональности, повышения производительности, а также решения новых задач. Например, с помощью наших CVD-установок можно получить толстые слои SiO2, которые, несмотря на толщину порядка 20 мкм, будут характеризоваться исключительной стабильностью свойств. Такие решения необходимы для производства приборов силовой электроники, и очень мало компаний, которые могут поставлять оборудование, подобное нашим CVD-системам Delta. В области глубокого реактивного ионного травления мы были первыми, кто получил лицензию на реализацию Bosch-процесса, что позволило освоить технологию формирования вертикальных углублений и отверстий с высотой стенок до сотен микрометров, а также глубоких отверстий и углублений с наклонными стенками. В настоящее время во всем мире эксплуатируется более 1 200 наших установок DRIE, то есть примерно в 10 раз больше, чем у ближайших конкурентов. Также разработаны надежные и гибкие решения для новых областей, связанных с использованием составных полупроводников, например, нитрида галлия. Совершенно новый процесс – молекулярное осаждение из газовой фазы (MVD), которое применяется, например, в производстве МЭМС и 3D-интегрированных приборов. И даже в такой хорошо известной и детально исследованной технологии, как PVD, мы можем предложить решения, которые уникальны по своим эксплуатационным характеристикам и надежности.
Расскажите, пожалуйста, о решениях для 3D-интеграции.
В последние годы значительно – даже не в разы, а на порядки – расширились области применения технологий и оборудования для осаждения и травления пленок. Наши клиенты успешно осваивают технологии 3D-интеграции ИС и высокоплотное (High Density – HD) корпусирование на уровне пластины с разветвлением (Fan-out Wafer Level Packaging – FOWLP), обеспечивающие улучшение производительности, снижение энергопотребления и уменьшение размера приборов. Для 3D-интеграции требуется высокоточное формирование сквозных переходных отверстий (through-silicon via – TSV), и наша система плазменного травления Omega позволяет успешно решать эту задачу, в том числе при высоком аспектном отношении таких элементов. Все ведущие компании в области FOWLP используют PVD-систему Sigma, так как она обеспечивает наилучшую производительность и самые низкие эксплуатационные затраты при формировании металлизации под бампы и слоев перераспределения.
Каковы достижения SPTS в области разработки систем для плазменного разделения пластин?
Мы являемся одними из пионеров в данной области и единственными, кто разработал установку для обработки 300-мм пластин. Платформа для плазменного разделения Mosaic создана на базе наших DRIE-установок Rapier, которые, как уже было отмечено, являются самым востребованным на рынке решением для реализации Bosch-процесса. О преимуществах плазменной технологии перед механическим и лазерным разделением написано уже достаточно много – это и более эффективное использование площади пластины, и высокая производительность, и возможность получения кристаллов разной формы.
Каковы планы развития бизнеса в России?
За работу на российском рынке отвечают партнеры из компании "Икар-Импульс", которые ежегодно проводят в конце сентября трехдневный семинар для российских заказчиков. В этом мероприятии принимают участие наши ведущие специалисты, представляющие актуальные разработки SPTS для разных сегментов рынка. Уверен, что семинар 2018 года не станет исключением, и участие в нем будет очень полезно как техническим специалистам, так и менеджерам высших звеньев и владельцам предприятий российской полупроводниковой отрасли.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
