eng
Французская компания IBS (Ion Beam Services) хорошо известна в России и во всем мире своими системами ионной имплантации для легирования полупроводниковых пластин и эпитаксиальных структур. До 85% оборудования IBS поставляется на экспорт, в том числе в нашу страну. Системы серии IMC для мелко- и среднесерийного производства, а также исследований и опытно-конструкторских разработок отлично зарекомендовали себя в Новосибирске, Зеленограде, Москве. Также компания выпускает установки плазменной иммерсионной ионной имплантации PULSION, которые характеризуются сочетанием низкой энергии ионов и высокой дозы, стабильности процесса и возможности точного контроля глубины легирования. В 2017 году IBS представила новую разработку – платформу FLEXion, о которой нашему журналу рассказал первый заместитель генерального директора, д-р Жиль Матье.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.198.200
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.198.200
The French company IBS (Ion Beam Services) is well known in Russia and around the world for its ion implantation systems for doping semiconductor wafers and epitaxial structures. Up to 85% of equipment manufactured by IBS is exported, including to Russia. IMC systems for small- and medium-scale production, as well as for R&D have proven themselves in Novosibirsk, Zelenograd, Moscow. Also, the company offers PULSION plasma immersion ion implantation systems, which are characterized by a combination of low ion energy and high dose, process stability and the possibility of precise control of the depth of doping. In 2017, IBS introduced a new development – the FLEXion platform. The first deputy general director, Dr. Gilles Mathieu, explains the features of this system.
Отзывы читателей
