eng
На выставке "ВакуумТехЭкспо 2018", на стенде "ЗЭНКО ПЛАЗМА", впервые работали специалисты немецкой компании FHR, проектирующей и выпускающей системы вакуумного напыления, которые применяются в производстве полупроводниковых приборов, фотовольтаики, сенсоров, оптики, а также в других высокотехнологичных областях. В 2016 году FHR отпраздновала 25-летний юбилей. FHR является ведущим производителем в энергетическом секторе, и с 2008 года 100% акций компании принадлежат промышленной группе Centrotherm. В настоящее время в FHR работают около 150 человек, а ее штаб-квартира размещается в местечке Оттендорф-Окрилла, в 10 км от Дрездена. Хотя в оборудовании компании могут реализовываться самые разные технологии осаждения и травления тонких пленок, основные проекты и компетенции связаны с системами магнетронного напыления, которые успешно применяются в научных исследованиях, серийном и массовом производстве. Об особенностях решений компании рассказал Бончо Бончев, старший менеджер по продажам FHR.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.210.214
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.210.214
Господин Бончев, что отличает FHR от других производителей оборудования для магнетронного напыления?
Во-первых, мы располагаем специальным подразделением, которое занимается разработкой и производством мишеней. Компетенции в этой области дают дополнительные возможности для совершенствования технологий и оборудования.
Во-вторых, мы можем оптимизировать оборудование по таким важнейшим для заказчика параметрам, как технологические показатели, производительность и цена. Наши системы строятся по модульному принципу, поэтому есть возможность создания из разных модулей такой конфигурации, которая наилучшим образом отвечает задачам заказчика. В отличие от большинства конкурентов, мы практически не поставляем готовые серийные установки. На практике, каждый проект в чем-то уникален, требует индивидуальных решений, которые мы создаем для заказчика. По сути, мы помогаем клиентам воплощать в жизнь их идеи.
И, наконец, мы обладаем большим опытом разработки автоматизированного оборудования, в том числе автоматических установок, которые работают практически без участия человека. В этом случае функции оператора исчерпываются выбором кассеты с подложками и заданием на пульте управления технологического режима, после чего система работает автономно, обрабатывая пластину за пластиной и автоматически выполняя необходимые манипуляции, например, переворачивая подложки, если это требуется. Такой автомат можно, к примеру, оставить работать в ночную смену так, чтобы утром получить готовую партию продукции.
Несмотря на то что все проекты индивидуальны, они, вероятно, основываются на базовых платформах?
Действительно, есть несколько серий оборудования, на основе которых разрабатываются решения для конкретных заказчиков. Серия Star – кластерные установки для пластин диаметром до 200 мм, которые ориентированы в основном на исследовательские и образовательные задачи. Для пилотного и мелкосерийного производства хорошо подходит серия Boxx, которую отличают размещение подложек на барабане и использование вертикальных магнетронов. На базе серии Line создаются поточные линии для крупносерийного и массового производства, которые могут работать в круглосуточном режиме с производительностью до нескольких пластин в минуту. Подложки в таких линиях подаются в модули напыления горизонтальным или вертикальным транспортером. Поточные линии используются, например, в производстве солнечных панелей, когда размер подложки может достигать 1 200 Ч 600 мм, или в автомобильной промышленности для нанесения специальных покрытий на ветровые стекла. На основе серии Roll создаются рулонные системы для обработки металлических и полимерных материалов шириной до 1 900 мм. Они применяются, в частности, в производстве гибкой электроники и тонкопленочных твердотельных аккумуляторов Li-Ion.
Какие области использования тонкопленочных технологий вы считаете наиболее перспективными?
Развитие производства электромобилей создало основу для взрывного роста спроса на уже упоминавшиеся тонкопленочные твердотельные аккумуляторы. В связи с этим мы рассчитываем на новые заказы систем, работающих по технологии "из рулона в рулон". Весьма многообещающее направление – производство солнечных батарей, которое почти полностью переместилось в Китай и переживает там настоящий бум. Вообще следует отметить, что крупные заказы на производственное оборудование поступают в основном из Восточной Азии, а в Европе востребованы преимущественно установки для исследований и мелкосерийного производства. Третья тенденция – рост производства датчиков, что в большой степени обусловлено развитием Интернета вещей.
Особо хотелось бы отметить рост использования тонкопленочных технологий в производстве оптических элементов – фильтров, просветленной оптики и т.п. Специально для этого рынка мы разработали новую установку магнетронного напыления, которая позволяет наносить более 100 слоев при высочайшей однородности покрытия. В ней применены очень экономичные и эффективные цилиндрические магнетроны, а подложки размещаются на карусели, вращающейся со скоростью до 250 об/мин. При этом мишень расположена внизу, и поток частиц идет снизу вверх, что обуславливает его высокую однородность и минимизирует дефекты при отрыве крупных частиц. Толщина покрытия контролируется автоматически с точностью до ангстрема.
Как вы оцениваете перспективы оборудования FHR в России?
Россия – большой, достаточно сложный, но и очень интересный рынок. Мы можем предложить российским заказчикам настоящее немецкое качество, поскольку наше оборудование проектируется и собирается в Германии из компонентов немецкого производства и управляется программным обеспечением нашей собственной разработки. При этом, как показал мониторинг рынка, разница в цене между нашими установками и, например, изготовленными в Восточной Европе незначительна. Важно, что FHR является частью промышленной группы Centrotherm, что дает дополнительную уверенность заказчикам в прочности наших позиций. Не менее важно и то, что в России нас представляет надежный партнер – компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА".
Как ведется совместная работа с ООО "ЗЭНКО ПЛАЗМА" по поставкам оборудования на российском рынке?
В России наиболее востребованы системы магнетронного напыления серий Star-100/150 (диаметр подложек до 100 мм / 200 мм) в конфигурации TetraCo (три магнетрона и ВЧ-очистка подложки), серии Boxx и Micro. Инженеры и специалисты нашего партнера в России осуществляют полный цикл работ по решению задач заказчика: согласование технических и технологических условий и требований заказчика, подбор соответствующих требованиям модели и конфигурации оборудования, организацию лабораторных испытаний на производственном предприятии в Германии с предоставлением заказчику отчета о достигнутых результатах, согласование требований к инженерной инфраструктуре для успешного запуска и функционирования оборудования с выполнением в случае необходимости проектной работы, в частности по изменению существующей инфраструктуры или созданию ее с нуля в соответствии с требованиями и нормами технических регламентов РФ. Так, например, возможно проектирование и поставка систем газоподачи и газоподготовки, утилизации выбросов, вакуумпроводов, климатических систем, чистых помещений. "ЗЭНКО ПЛАЗМА" осуществляет приемку оборудования на фабрике в Германии, причем возможно участие представителей конечного пользователя, после чего организует его доставку в Россию и таможенное оформление. Затем специалисты "ЗЭНКО ПЛАЗМА" выполняют полный комплекс работ по монтажу, подключению и проверке оборудования на соответствие технологическим и техническим требованиям. В случае, если оборудование поставляется со сложными процессами, возможно участие нашего технолога. После ввода оборудования в эксплуатацию обеспечиваются гарантийное обслуживание и поддержка пользователя. За время совместной работы компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА" зарекомендовала себя как надежный и квалифицированный партнер, что позволяет нам с уверенностью предлагать наше сложное высокотехнологичное оборудование российским заказчикам.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Во-первых, мы располагаем специальным подразделением, которое занимается разработкой и производством мишеней. Компетенции в этой области дают дополнительные возможности для совершенствования технологий и оборудования.
Во-вторых, мы можем оптимизировать оборудование по таким важнейшим для заказчика параметрам, как технологические показатели, производительность и цена. Наши системы строятся по модульному принципу, поэтому есть возможность создания из разных модулей такой конфигурации, которая наилучшим образом отвечает задачам заказчика. В отличие от большинства конкурентов, мы практически не поставляем готовые серийные установки. На практике, каждый проект в чем-то уникален, требует индивидуальных решений, которые мы создаем для заказчика. По сути, мы помогаем клиентам воплощать в жизнь их идеи.
И, наконец, мы обладаем большим опытом разработки автоматизированного оборудования, в том числе автоматических установок, которые работают практически без участия человека. В этом случае функции оператора исчерпываются выбором кассеты с подложками и заданием на пульте управления технологического режима, после чего система работает автономно, обрабатывая пластину за пластиной и автоматически выполняя необходимые манипуляции, например, переворачивая подложки, если это требуется. Такой автомат можно, к примеру, оставить работать в ночную смену так, чтобы утром получить готовую партию продукции.
Несмотря на то что все проекты индивидуальны, они, вероятно, основываются на базовых платформах?
Действительно, есть несколько серий оборудования, на основе которых разрабатываются решения для конкретных заказчиков. Серия Star – кластерные установки для пластин диаметром до 200 мм, которые ориентированы в основном на исследовательские и образовательные задачи. Для пилотного и мелкосерийного производства хорошо подходит серия Boxx, которую отличают размещение подложек на барабане и использование вертикальных магнетронов. На базе серии Line создаются поточные линии для крупносерийного и массового производства, которые могут работать в круглосуточном режиме с производительностью до нескольких пластин в минуту. Подложки в таких линиях подаются в модули напыления горизонтальным или вертикальным транспортером. Поточные линии используются, например, в производстве солнечных панелей, когда размер подложки может достигать 1 200 Ч 600 мм, или в автомобильной промышленности для нанесения специальных покрытий на ветровые стекла. На основе серии Roll создаются рулонные системы для обработки металлических и полимерных материалов шириной до 1 900 мм. Они применяются, в частности, в производстве гибкой электроники и тонкопленочных твердотельных аккумуляторов Li-Ion.
Какие области использования тонкопленочных технологий вы считаете наиболее перспективными?
Развитие производства электромобилей создало основу для взрывного роста спроса на уже упоминавшиеся тонкопленочные твердотельные аккумуляторы. В связи с этим мы рассчитываем на новые заказы систем, работающих по технологии "из рулона в рулон". Весьма многообещающее направление – производство солнечных батарей, которое почти полностью переместилось в Китай и переживает там настоящий бум. Вообще следует отметить, что крупные заказы на производственное оборудование поступают в основном из Восточной Азии, а в Европе востребованы преимущественно установки для исследований и мелкосерийного производства. Третья тенденция – рост производства датчиков, что в большой степени обусловлено развитием Интернета вещей.
Особо хотелось бы отметить рост использования тонкопленочных технологий в производстве оптических элементов – фильтров, просветленной оптики и т.п. Специально для этого рынка мы разработали новую установку магнетронного напыления, которая позволяет наносить более 100 слоев при высочайшей однородности покрытия. В ней применены очень экономичные и эффективные цилиндрические магнетроны, а подложки размещаются на карусели, вращающейся со скоростью до 250 об/мин. При этом мишень расположена внизу, и поток частиц идет снизу вверх, что обуславливает его высокую однородность и минимизирует дефекты при отрыве крупных частиц. Толщина покрытия контролируется автоматически с точностью до ангстрема.
Как вы оцениваете перспективы оборудования FHR в России?
Россия – большой, достаточно сложный, но и очень интересный рынок. Мы можем предложить российским заказчикам настоящее немецкое качество, поскольку наше оборудование проектируется и собирается в Германии из компонентов немецкого производства и управляется программным обеспечением нашей собственной разработки. При этом, как показал мониторинг рынка, разница в цене между нашими установками и, например, изготовленными в Восточной Европе незначительна. Важно, что FHR является частью промышленной группы Centrotherm, что дает дополнительную уверенность заказчикам в прочности наших позиций. Не менее важно и то, что в России нас представляет надежный партнер – компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА".
Как ведется совместная работа с ООО "ЗЭНКО ПЛАЗМА" по поставкам оборудования на российском рынке?
В России наиболее востребованы системы магнетронного напыления серий Star-100/150 (диаметр подложек до 100 мм / 200 мм) в конфигурации TetraCo (три магнетрона и ВЧ-очистка подложки), серии Boxx и Micro. Инженеры и специалисты нашего партнера в России осуществляют полный цикл работ по решению задач заказчика: согласование технических и технологических условий и требований заказчика, подбор соответствующих требованиям модели и конфигурации оборудования, организацию лабораторных испытаний на производственном предприятии в Германии с предоставлением заказчику отчета о достигнутых результатах, согласование требований к инженерной инфраструктуре для успешного запуска и функционирования оборудования с выполнением в случае необходимости проектной работы, в частности по изменению существующей инфраструктуры или созданию ее с нуля в соответствии с требованиями и нормами технических регламентов РФ. Так, например, возможно проектирование и поставка систем газоподачи и газоподготовки, утилизации выбросов, вакуумпроводов, климатических систем, чистых помещений. "ЗЭНКО ПЛАЗМА" осуществляет приемку оборудования на фабрике в Германии, причем возможно участие представителей конечного пользователя, после чего организует его доставку в Россию и таможенное оформление. Затем специалисты "ЗЭНКО ПЛАЗМА" выполняют полный комплекс работ по монтажу, подключению и проверке оборудования на соответствие технологическим и техническим требованиям. В случае, если оборудование поставляется со сложными процессами, возможно участие нашего технолога. После ввода оборудования в эксплуатацию обеспечиваются гарантийное обслуживание и поддержка пользователя. За время совместной работы компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА" зарекомендовала себя как надежный и квалифицированный партнер, что позволяет нам с уверенностью предлагать наше сложное высокотехнологичное оборудование российским заказчикам.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
