eng
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
Контроль электрических, геометрических и оптических характеристик функциональных тонких пленок на стекле, фольге и полупроводниковых пластинах позволяет оптимизировать процессы их нанесения, повышать качество покрытий и сокращать затраты. Одним из новых направлений в этой области является применение высокочастотного вихретокового контроля. Приборы, основанные на данном методе измерений, выпускает компания SURAGUS из Дрездена (Германия), которая была основана для коммерциализации разработок Института керамических технологий и систем общества Фраунгофера (Fraunhofer IKTS). В России приборы SURAGUS представляет компания МИНАТЕХ. На выставке SEMICON Europa 2017 на вопросы нашего журнала ответил управляющий директор SURAGUS Маркус Кляйн.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.216.218
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.216.218
Господин Кляйн, в чем преимущество вихретокового контроля по сравнению с другими методами измерений тонких пленок?
Вихретоковый контроль является неразрушающим методом, который уже давно доказал свою эффективность в авиастроении, железнодорожном транспорте, производстве труб и других отраслях. Его применение для контроля качества тонкопленочных покрытий позволяет значительно сократить время и повысить точность измерений. Если при традиционном контактном измерении по четырем точкам образец неизбежно повреждается и приходит в негодность, то бесконтактный вихретоковый метод не влияет на характеристики контролируемого объекта. Существенным преимуществом по сравнению с традиционными технологиями также является возможность автоматизировать измерения вплоть до выполнения их подвижным или неподвижным сенсором в поточном режиме. При установке измерительных систем в технологическом оборудовании выборочная проверка заменяется сплошным контролем каждой пластины или детали, что обеспечивает повышение надежности технологического процесса и качества продукции. Вихретоковый метод может применяться для контроля разнообразных проводящих материалов – от металлов и сплавов до углеродных волокон.
Каковы основные возможности приборов компании SURAGUS для контроля тонких пленок?
Вихретоковый метод позволяет определять поверхностное сопротивление и толщину тонких пленок. Поверхностное сопротивление характеризует удельную электрическую проводимость пленки, величина которой особенно важна для электродов и токопроводящих слоев. Контроль поверхностного сопротивления и толщины тонких пленок с помощью наших приборов позволяет переходить на использование более дешевых материалов, оптимизировать размеры подложек, повышать производительность и сокращать затраты. Поскольку время одного измерения составляет несколько миллисекунд, есть возможность быстрого построения карт электропроводности, которые дают возможность оценить однородность тонкой пленки, выявить отклонения толщины и структурные дефекты. Опционально возможно измерение оптической прозрачности поверхности, а также анизотропии удельного поверхностного сопротивления.
Какие модели приборов предлагаются заказчикам?
Мы поставляем четыре серии приборов: портативный EddyCus TF portable 1010; лабораторный EddyCus TF lab для измерений в одной точке в модификациях для подложек размером до 200 Ч 200 мм и до 400 Ч 400 мм; EddyCus TF map SR для построения карт электропроводности в модификациях для подложек размером до 250 Ч 250 мм и до 500 Ч 500 мм; EddyCus TF inline для контроля в поточном режиме.
На базе серийных приборов могут создаваться специальные решения, оптимизированные для решения задач, которые стоят перед конкретными заказчиками.
В каких областях используются приборы?
В общей сложности мы продали уже более двух тысяч приборов, достаточно большая часть которых приходится на системы, использующие метод вихретокового контроля. Они применяются практически во всех областях, где ведется работа с тонкими пленками, включая производство полупроводниковых приборов, светодиодов, оптических элементов, аккумуляторов, дисплеев, 2D-материалов, сенсоров, умных стекол, фотовольтаику и многие другие.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Вихретоковый контроль является неразрушающим методом, который уже давно доказал свою эффективность в авиастроении, железнодорожном транспорте, производстве труб и других отраслях. Его применение для контроля качества тонкопленочных покрытий позволяет значительно сократить время и повысить точность измерений. Если при традиционном контактном измерении по четырем точкам образец неизбежно повреждается и приходит в негодность, то бесконтактный вихретоковый метод не влияет на характеристики контролируемого объекта. Существенным преимуществом по сравнению с традиционными технологиями также является возможность автоматизировать измерения вплоть до выполнения их подвижным или неподвижным сенсором в поточном режиме. При установке измерительных систем в технологическом оборудовании выборочная проверка заменяется сплошным контролем каждой пластины или детали, что обеспечивает повышение надежности технологического процесса и качества продукции. Вихретоковый метод может применяться для контроля разнообразных проводящих материалов – от металлов и сплавов до углеродных волокон.
Каковы основные возможности приборов компании SURAGUS для контроля тонких пленок?
Вихретоковый метод позволяет определять поверхностное сопротивление и толщину тонких пленок. Поверхностное сопротивление характеризует удельную электрическую проводимость пленки, величина которой особенно важна для электродов и токопроводящих слоев. Контроль поверхностного сопротивления и толщины тонких пленок с помощью наших приборов позволяет переходить на использование более дешевых материалов, оптимизировать размеры подложек, повышать производительность и сокращать затраты. Поскольку время одного измерения составляет несколько миллисекунд, есть возможность быстрого построения карт электропроводности, которые дают возможность оценить однородность тонкой пленки, выявить отклонения толщины и структурные дефекты. Опционально возможно измерение оптической прозрачности поверхности, а также анизотропии удельного поверхностного сопротивления.
Какие модели приборов предлагаются заказчикам?
Мы поставляем четыре серии приборов: портативный EddyCus TF portable 1010; лабораторный EddyCus TF lab для измерений в одной точке в модификациях для подложек размером до 200 Ч 200 мм и до 400 Ч 400 мм; EddyCus TF map SR для построения карт электропроводности в модификациях для подложек размером до 250 Ч 250 мм и до 500 Ч 500 мм; EddyCus TF inline для контроля в поточном режиме.
На базе серийных приборов могут создаваться специальные решения, оптимизированные для решения задач, которые стоят перед конкретными заказчиками.
В каких областях используются приборы?
В общей сложности мы продали уже более двух тысяч приборов, достаточно большая часть которых приходится на системы, использующие метод вихретокового контроля. Они применяются практически во всех областях, где ведется работа с тонкими пленками, включая производство полупроводниковых приборов, светодиодов, оптических элементов, аккумуляторов, дисплеев, 2D-материалов, сенсоров, умных стекол, фотовольтаику и многие другие.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
