eng
В условиях продолжающегося санкционного противостояния российские предприятия и исследовательские организации вынуждены корректировать подходы к выбору оборудования. В частности, приходится учитывать как риски отказа в поставке технологических установок, так и возможные проблемы с последующим их ремонтом и модернизацией. Как следствие, дополнительные преимущества получили производители из тех стран, которые не ввели экономические санкции в отношении России. Одна из компаний, которая вошла в число невольных "бенефициаров" политической обстановки – MIDAS System Co. (MIDAS) из Южной Кореи. Основанная в 1998 году в Тэджоне, MIDAS разрабатывает и производит оборудование для фотолитографии: системы совмещения и экспонирования, а также установки для нанесения фоторезиста. На родине компании ее решения используют такие гиганты полупроводниковой промышленности как Samsung и LG, а также ведущие научные центры, работающие в области микроэлектроники и нанотехнологий. В России оборудование этого бренда поставляется компанией "МИНАТЕХ" и также пользуется высоким спросом. В конце мая на выставке SEMIEXPO Russia мы получили возможность узнать о предлагаемых MIDAS решениях "из первых рук" – от директора департамента продаж Ли Питера.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.84.5.292.294
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.84.5.292.294
Господин Питер, какие типы и линейки оборудования предлагает ваша компания?
Для нанесения фоторезиста предлагаются обслуживаемые вручную настольные центрифуги и автоматические напольные системы. Настольные установки предназначены для использования в лабораториях, а также в мелкосерийном производстве и позволяют наносить на подложки диаметром до 200 мм жидкие композиции разного состава, формируя слой толщиной от нескольких единиц до 100 мкм. Напольные системы предназначены для подложек диаметром до 300 мм и выше, могут оснащаться автоматическим дозатором, роботом для загрузки и выгрузки пластин.
Линейка оборудования для контактной фотолитографии включает ручные, полуавтоматические и автоматические установки совмещения и экспонирования. Ручные установки для пластин диаметром до 150 мм оптимальны для исследований, разработок и изготовления мелких серий, а автоматические системы для пластин размером до 300 мм применяются для серийного и массового производства. В число полуавтоматических систем входит установка MDA-20000SA, которая позволяет экспонировать подложки 500 Ч 500 мм.
Какие модели оборудования наиболее востребованы в России?
Проекты в России пока связаны в основном с поставками ручных установок. Наиболее популярная центрифуга для нанесения фоторезиста – SPIN-1200T для подложек размером от 5 Ч 5 мм до 100 мм в диаметре. Эта модель компактна, легка в обслуживании и настраивается с помощью сенсорного дисплея.
Среди установок совмещения и экспонирования наибольшим спросом в России пользуется MDA-400M-6 для 150 мм пластин, обеспечивающая точность совмещения 1 мкм.
Каковы преимущества ваших решений для фотолитографии?
Наше оборудование по своему качеству, надежности, точности, удобству в обслуживании и другим параметрам как минимум не уступает аналогам европейского и североамериканского производства, но при этом значительно – до двух раз – дешевле. Ряд наших технических решений защищен патентами. Помимо сочетания высоких характеристик и доступной цены оборудования, заказчиков привлекает очень высокое качество сервисной поддержки. В результате, за 20 лет мы продали более 500 установок совмещения и экспонирования и около 400 центрифуг для нанесения фоторезиста, которые успешно эксплуатируются по всему миру. На крупных фабриках в Европе, Индии и Восточной Азии установлены наши автоматические системы с кассетной загрузкой и выгрузкой, что свидетельствует о доверии ведущих предприятий полупроводниковой отрасли.
Как вы оцениваете перспективы развития систем фотолитографии?
С одной стороны, фотолитография – классическая технология, которая без проблем интегрируется в любое производство электронных компонентов. С другой стороны, наши системы успешно применяются в производстве наиболее перспективных типов полупроводниковых и оптоэлектронных приборов, включая 3D-интегрированные компоненты, СВЧ-приборы, МЭМС, дисплеи, светодиоды, в том числе OLED, оптические компоненты и др. Это позволяет нам с уверенностью и оптимизмом смотреть в будущее.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Для нанесения фоторезиста предлагаются обслуживаемые вручную настольные центрифуги и автоматические напольные системы. Настольные установки предназначены для использования в лабораториях, а также в мелкосерийном производстве и позволяют наносить на подложки диаметром до 200 мм жидкие композиции разного состава, формируя слой толщиной от нескольких единиц до 100 мкм. Напольные системы предназначены для подложек диаметром до 300 мм и выше, могут оснащаться автоматическим дозатором, роботом для загрузки и выгрузки пластин.
Линейка оборудования для контактной фотолитографии включает ручные, полуавтоматические и автоматические установки совмещения и экспонирования. Ручные установки для пластин диаметром до 150 мм оптимальны для исследований, разработок и изготовления мелких серий, а автоматические системы для пластин размером до 300 мм применяются для серийного и массового производства. В число полуавтоматических систем входит установка MDA-20000SA, которая позволяет экспонировать подложки 500 Ч 500 мм.
Какие модели оборудования наиболее востребованы в России?
Проекты в России пока связаны в основном с поставками ручных установок. Наиболее популярная центрифуга для нанесения фоторезиста – SPIN-1200T для подложек размером от 5 Ч 5 мм до 100 мм в диаметре. Эта модель компактна, легка в обслуживании и настраивается с помощью сенсорного дисплея.
Среди установок совмещения и экспонирования наибольшим спросом в России пользуется MDA-400M-6 для 150 мм пластин, обеспечивающая точность совмещения 1 мкм.
Каковы преимущества ваших решений для фотолитографии?
Наше оборудование по своему качеству, надежности, точности, удобству в обслуживании и другим параметрам как минимум не уступает аналогам европейского и североамериканского производства, но при этом значительно – до двух раз – дешевле. Ряд наших технических решений защищен патентами. Помимо сочетания высоких характеристик и доступной цены оборудования, заказчиков привлекает очень высокое качество сервисной поддержки. В результате, за 20 лет мы продали более 500 установок совмещения и экспонирования и около 400 центрифуг для нанесения фоторезиста, которые успешно эксплуатируются по всему миру. На крупных фабриках в Европе, Индии и Восточной Азии установлены наши автоматические системы с кассетной загрузкой и выгрузкой, что свидетельствует о доверии ведущих предприятий полупроводниковой отрасли.
Как вы оцениваете перспективы развития систем фотолитографии?
С одной стороны, фотолитография – классическая технология, которая без проблем интегрируется в любое производство электронных компонентов. С другой стороны, наши системы успешно применяются в производстве наиболее перспективных типов полупроводниковых и оптоэлектронных приборов, включая 3D-интегрированные компоненты, СВЧ-приборы, МЭМС, дисплеи, светодиоды, в том числе OLED, оптические компоненты и др. Это позволяет нам с уверенностью и оптимизмом смотреть в будущее.
Интервью: Дмитрий Гудилин
Отзывы читателей
