По инициативе компании ТБС* 9 октября 2018 года состоялся семинар нового зарубежного партнера компании – фирмы Trymax** (Нидерланды), признанного лидера по производству оборудования для полупроводниковой промышленности. Представители компании рассказали о продукции для плазмохимической обработки пластин, удаления фоторезиста, очистки поверхностей путем изотропного травления, используемого в широком спектре производства кристаллов, таких как МЭМС, ИМС, СВЧ и других полупроводниковых устройств. Поль Симпсон и Ян Гийу подробно рассказали о продуктах и решениях Trymax, перспективах ее выхода на российский рынок в партнерстве с компанией ТБС и ответили на многочисленные вопросы гостей семинара, среди которых были инженеры ведущих предприятий отрасли и представители бизнеса. Наибольший интерес вызвала установка плазменной обработки NEO 200 для удаления фоторезиста, травления, зачистки пластин и озоления, способная обрабатывать подложки диаметром до 200 мм. Компактность, низкая стоимость обслуживания и полуавтоматическая станция загрузки позволяют использовать ее в инновационных центрах опережающего развития отечественной полупроводниковой промышленности и наноиндустрии в качестве мощного инструмента развития высокотехнологичных производств. В конце семинара работники ТБС подвели итоги работы и наметили план мероприятий в 2019 году.

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.11.6.404.406

sitemap

Разработка: студия Green Art