SwissLitho – молодая высокотехнологичная компания, которая стремится изменить способ производства наноструктур. Их уникальные инструменты, получившие название NanoFrazor, появились в проектеMillipede от IBM Research Zurich. В запатентованной технологии используются горячие кремниевые наконечники для формирования рисунка и визуализации произвольных наноструктур в высоком разрешении. NanoFrazor открывает новые возможности в нанопроизводстве и нанотехнологиях.
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.132.134
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.132.134
Теги: nanofrazor nanometer resolution nanostructures visualization визуализация нанометровое разрешение наноструктуры
Получено: 20.03.2019 г.
Какие принципы лежат в основе работы вашей компании?
Во время нашей исследовательской работы в IBM в Цюрихе мы обнаружили, что нагретый кремниевый наконечник во много раз эффективнее при нанопроизводстве, чем традиционные технологии наподобие электронно-лучевой литографии. Затем, в 2012 году мы получили патент от фирмы IBM и основали собственную компанию SwissLitho. SwissLitho специализируется на разработке и производстве инструментов и технологий на основе литографии методом термического сканирующего зонда. В этой технологии для испарения резиста используются нагретые ультраострые наконечники для записи наноразмерных структур. После того, как в 2014 году мы основали NanoFrazor, технология приобрела известность, и в настоящее время используется исследователями во всем мире для того, чтобы избежать трудностей, свойственных традиционным инструментам нанолитографии.
Многие устройства, обладающие новой геометрией и беспрецедентным качеством производятся с использованием NanoFrazor, что приводит к появлению интересных исследований в публикациях с высоким импакт-фактором.
В чем состоит философия вашей компании, в чем Ваша цель, послание пользователям?
Девиз SwissLitho – "Революционизировать нанопроизводство". Мы стремимся сделать термическую зондовую литографию обычным инструментом нанотехнологий как в научных кругах, так и в промышленности.
Каковы конкурентные преимущества вашей компании по сравнению с аналогичными продуктами конкурентов?
NanoFrazor – это универсальный инструмент для микро- и нанотехнологий благодаря высокому разрешению и возможности наложения без маркеров. В дополнение к широкому диапазону и точности работы NanoFrazor выделяются возможностью визуализации процесса записи и литографии in situ. Благодаря этому могут создаваться трехмерные наноструктуры. Кроме того, нет необходимости использовать влажную химию для разработки резистов или постоянно корректировать "эффекты близости", свойственные электронно-лучевой литографии. NanoFrazor работает как в условиях окружающей среды, так и в атмосфере инертного газа. Эти характеристики делают NanoFrazor превосходным инструментом для нанолитографии чувствительных материалов, быстрого и точного формирования рисунка электродов на образцах или масках травления, определения сложных массивов фотонных антенн и запуска локальных реакций посредством целевого нагрева в наноразмерном масштабе.
Почему клиенты выбирают продукцию и оборудование именно вашей компании?
Наши клиенты наслаждаются не только надежной работой нашего оборудования и удобным интерфейсом, но и послепродажной поддержкой нашей команды инженеров приложений.
Кроме того, мы поняли, что некоторые ведущие исследователи приобретают NanoFrazor только из-за того, что наш инструмент не использует пучок заряженных частиц для нанопроизводства. Эти исследователи использовали дорогостоящие системы с электронным пучком в прошлом, однако электронный пучок может повредить наноразмерные устройства или новые материалы, с которыми они работают.
Какие новые разработки ведутся в вашей компании и когда можно ожидать их внедрение в вашу продукцию?
Совместно с Heidelberg Instruments мы разработали дополнение DLS (Direct Laser Sublimation). NanoFrazor Explore DLS сочетает термическую зондовую сканирующую литографию с этим дополнением, чтобы ускорить процесс микролитографии для структурирования более крупных объектов. Это расширение вступает в стадию бета-тестирования в Гарварде в США и FZ Juelich в Германии и уже может быть доступно для заказа в конце этого года.
Вы уже имеете опыт взаимодействия с российскими компаниями, как вы оцениваете российский рынок, и в чем его отличия от рынков других стран?
Мы только знакомимся с российским рынком, но наша материнская компания Heidelberg Instruments пользуется здесь большим успехом, поэтому мы с нетерпением ждем возможности изучить этот уникальный рынок. Российские полупроводниковые исследования и промышленность наследуют давние традиции высочайшего качества, и, несмотря на некоторые неудачи, потенциал для инноваций здесь велик. Нам очень любопытно посмотреть, что создадут российские исследователи и инженеры, используя наши инструменты.
Какие инновации вы представляете сегодня на семинаре?
NanoFrazor является инновационным проектом в самом широком смысле этого слова. Технология термозондовой литографии, которая является сердцем нашей системы, была разработана в IBM и ETH Zurich и не нуждается в дополнительном представлении. Менее чем за десятилетие эта технология стала достаточно зрелой, чтобы стать надежным продуктом, используемым по всему миру для проведения самых современных исследований, опубликованных в лучших журналах. Можно сказать, что наш инновационный продукт используется для проведения инновационных исследований.
Кроме того, многие отраслевые партнеры очень заинтересованы в наших технологиях из-за тенденции непрерывной микроминиатюризации.
Как организовано сервисное обслуживание вашей продукции в России?
У нас есть сертифицированные представители – дистрибьюторы в России, а послепродажная поддержка оказывается в нашем офисе в Цюрихе. У нас есть команда инженеров, которые всегда очень рады консультировать наших клиентов по передовым методиками, помочь им разрабатывать новые протоколы, и, конечно, в случае технических проблем наши инженеры прибудут к ним на место в кратчайшие сроки. Мы также пригласили на работу российского ученого с докторской степенью в области нанотехнологий, который также занимается поддержкой российских клиентов.
Какая продукция вашей компании, по-вашему мнению, наиболее приоритетна для российского рынка?
Нам очень интересно посетить несколько конференций Nanotech, чтобы поближе познакомиться с нашими потенциальными клиентами.
Планируете ли вы организовать производство вашей продукции в России?
В данный момент, слишком рано говорить о производстве нашей продукции в России.
Как работает ваша компания в России в условиях экономических и политических санкций?
К счастью, Швейцария не ограничена санкциями, которые накладывает на Россию Евросоюз, и мы не видим никаких ограничений в нашем сотрудничестве.
Расскажите, пожалуйста, нашим читателям о сети ваших представительств в России.
Нашими партнерами и дистрибьюторами является компания Minatech…
С какими производителями, университетами, научными центрами или организациями вы работаете в России?
Мы пока не работаем напрямую с российскими производителями или университетами.
Организовывает ли ваша компания образование новичков или сотрудников?
Мы проводим образовательные вебинары и семинары для наших клиентов, например, участвуем в ежегодном семинаре по тепловым зондам в Цюрихе (Thermal Probe Workshop), организуемом SwissLitho и IBM. Мы также обучаем наших сотрудников и поддерживаем их в стремлении получать новые знания и навыки на протяжении всей работы в нашей компании.
Какие принципы лежат в основе работы вашей компании?
Во время нашей исследовательской работы в IBM в Цюрихе мы обнаружили, что нагретый кремниевый наконечник во много раз эффективнее при нанопроизводстве, чем традиционные технологии наподобие электронно-лучевой литографии. Затем, в 2012 году мы получили патент от фирмы IBM и основали собственную компанию SwissLitho. SwissLitho специализируется на разработке и производстве инструментов и технологий на основе литографии методом термического сканирующего зонда. В этой технологии для испарения резиста используются нагретые ультраострые наконечники для записи наноразмерных структур. После того, как в 2014 году мы основали NanoFrazor, технология приобрела известность, и в настоящее время используется исследователями во всем мире для того, чтобы избежать трудностей, свойственных традиционным инструментам нанолитографии.
Многие устройства, обладающие новой геометрией и беспрецедентным качеством производятся с использованием NanoFrazor, что приводит к появлению интересных исследований в публикациях с высоким импакт-фактором.
В чем состоит философия вашей компании, в чем Ваша цель, послание пользователям?
Девиз SwissLitho – "Революционизировать нанопроизводство". Мы стремимся сделать термическую зондовую литографию обычным инструментом нанотехнологий как в научных кругах, так и в промышленности.
Каковы конкурентные преимущества вашей компании по сравнению с аналогичными продуктами конкурентов?
NanoFrazor – это универсальный инструмент для микро- и нанотехнологий благодаря высокому разрешению и возможности наложения без маркеров. В дополнение к широкому диапазону и точности работы NanoFrazor выделяются возможностью визуализации процесса записи и литографии in situ. Благодаря этому могут создаваться трехмерные наноструктуры. Кроме того, нет необходимости использовать влажную химию для разработки резистов или постоянно корректировать "эффекты близости", свойственные электронно-лучевой литографии. NanoFrazor работает как в условиях окружающей среды, так и в атмосфере инертного газа. Эти характеристики делают NanoFrazor превосходным инструментом для нанолитографии чувствительных материалов, быстрого и точного формирования рисунка электродов на образцах или масках травления, определения сложных массивов фотонных антенн и запуска локальных реакций посредством целевого нагрева в наноразмерном масштабе.
Почему клиенты выбирают продукцию и оборудование именно вашей компании?
Наши клиенты наслаждаются не только надежной работой нашего оборудования и удобным интерфейсом, но и послепродажной поддержкой нашей команды инженеров приложений.
Кроме того, мы поняли, что некоторые ведущие исследователи приобретают NanoFrazor только из-за того, что наш инструмент не использует пучок заряженных частиц для нанопроизводства. Эти исследователи использовали дорогостоящие системы с электронным пучком в прошлом, однако электронный пучок может повредить наноразмерные устройства или новые материалы, с которыми они работают.
Какие новые разработки ведутся в вашей компании и когда можно ожидать их внедрение в вашу продукцию?
Совместно с Heidelberg Instruments мы разработали дополнение DLS (Direct Laser Sublimation). NanoFrazor Explore DLS сочетает термическую зондовую сканирующую литографию с этим дополнением, чтобы ускорить процесс микролитографии для структурирования более крупных объектов. Это расширение вступает в стадию бета-тестирования в Гарварде в США и FZ Juelich в Германии и уже может быть доступно для заказа в конце этого года.
Вы уже имеете опыт взаимодействия с российскими компаниями, как вы оцениваете российский рынок, и в чем его отличия от рынков других стран?
Мы только знакомимся с российским рынком, но наша материнская компания Heidelberg Instruments пользуется здесь большим успехом, поэтому мы с нетерпением ждем возможности изучить этот уникальный рынок. Российские полупроводниковые исследования и промышленность наследуют давние традиции высочайшего качества, и, несмотря на некоторые неудачи, потенциал для инноваций здесь велик. Нам очень любопытно посмотреть, что создадут российские исследователи и инженеры, используя наши инструменты.
Какие инновации вы представляете сегодня на семинаре?
NanoFrazor является инновационным проектом в самом широком смысле этого слова. Технология термозондовой литографии, которая является сердцем нашей системы, была разработана в IBM и ETH Zurich и не нуждается в дополнительном представлении. Менее чем за десятилетие эта технология стала достаточно зрелой, чтобы стать надежным продуктом, используемым по всему миру для проведения самых современных исследований, опубликованных в лучших журналах. Можно сказать, что наш инновационный продукт используется для проведения инновационных исследований.
Кроме того, многие отраслевые партнеры очень заинтересованы в наших технологиях из-за тенденции непрерывной микроминиатюризации.
Как организовано сервисное обслуживание вашей продукции в России?
У нас есть сертифицированные представители – дистрибьюторы в России, а послепродажная поддержка оказывается в нашем офисе в Цюрихе. У нас есть команда инженеров, которые всегда очень рады консультировать наших клиентов по передовым методиками, помочь им разрабатывать новые протоколы, и, конечно, в случае технических проблем наши инженеры прибудут к ним на место в кратчайшие сроки. Мы также пригласили на работу российского ученого с докторской степенью в области нанотехнологий, который также занимается поддержкой российских клиентов.
Какая продукция вашей компании, по-вашему мнению, наиболее приоритетна для российского рынка?
Нам очень интересно посетить несколько конференций Nanotech, чтобы поближе познакомиться с нашими потенциальными клиентами.
Планируете ли вы организовать производство вашей продукции в России?
В данный момент, слишком рано говорить о производстве нашей продукции в России.
Как работает ваша компания в России в условиях экономических и политических санкций?
К счастью, Швейцария не ограничена санкциями, которые накладывает на Россию Евросоюз, и мы не видим никаких ограничений в нашем сотрудничестве.
Расскажите, пожалуйста, нашим читателям о сети ваших представительств в России.
Нашими партнерами и дистрибьюторами является компания Minatech…
С какими производителями, университетами, научными центрами или организациями вы работаете в России?
Мы пока не работаем напрямую с российскими производителями или университетами.
Организовывает ли ваша компания образование новичков или сотрудников?
Мы проводим образовательные вебинары и семинары для наших клиентов, например, участвуем в ежегодном семинаре по тепловым зондам в Цюрихе (Thermal Probe Workshop), организуемом SwissLitho и IBM. Мы также обучаем наших сотрудников и поддерживаем их в стремлении получать новые знания и навыки на протяжении всей работы в нашей компании.
Отзывы читателей