eng
Спецвыпуск/2019
Ю. М. Герасимов, Н. Г. Григорьев, А. В. Кобыляцкий, Я. Я. Петричкович
Тестовые кристаллы для расчетно-экспериментальной оценки радиационной стойкости нанометровых КМОП СБИС СнК
Тестовые кристаллы для расчетно-экспериментальной оценки радиационной стойкости нанометровых КМОП СБИС СнК
Просмотры: 1410
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.202.210
Предложена концепция создания тестовых кристаллов (ТК), сформулированы основные требования к структурам и блокам на ТК. Предложен типовой состав ТК для исследования возможностей и характеризации технологии по радиационной стойкости. Показано, что результаты исследований ТК позволяют прогнозировать радиационную стойкость СБИС расчетно-экспериментальными методами.
Предложена концепция создания тестовых кристаллов (ТК), сформулированы основные требования к структурам и блокам на ТК. Предложен типовой состав ТК для исследования возможностей и характеризации технологии по радиационной стойкости. Показано, что результаты исследований ТК позволяют прогнозировать радиационную стойкость СБИС расчетно-экспериментальными методами.
Отзывы читателей
