DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.313.320

В ходе работы был оценен технологический разброс параметров активных и пассивных элементов и проведен анализ связанных с ним изменений временных параметров базовых библиотечных элементов для технологического процесса КНИ с минимальным проектным размером 0,35 мкм. Проведен анализ результатов, по которым был выбран коэффициент технологического запаса.

sitemap

Разработка: студия Green Art