eng
Выпуск #5/2019
С.Б.Нестеров
Десять лучших инновационных продуктов выставки VacuumTechExpo 2019
Десять лучших инновационных продуктов выставки VacuumTechExpo 2019
Просмотры: 1931
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.5.284.292
Приведено краткое описание лучших инновационных продуктов выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2019.
Приведено краткое описание лучших инновационных продуктов выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2019.
Теги: integrated circuits nanoindustry nanosensors nanotechnologies state scientific center of the russian federation research and p гнц рф нпк "технологический центр" интегральные схемы наноиндустрия наносенсоры нанотехнологии
С.Б.Нестеров1, д.т.н., проф., президент, (ORCID: 0000-0002-7457-4213) / sb.nesterov@vacuum.org.ru
S.B.Nesterov, Doctor of Sc. (Technical), Prof., President, (ORCID: 0000-0002-7457-4213)
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.5.284.292
Получено: 07.08.2019 г.
Приведено краткое описание лучших инновационных продуктов выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2019.
Described are the best innovative products presented on the "VacuumTechExpo 2019" exhibition.
16–18 апреля 2019 года в Москве, в КВЦ "Сокольники", проходила очередная XIV международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2019. Организатор выставки – Международная выставочная компания. Выставка проводилась при поддержке Российского научно-технического вакуумного общества им. академика С.А.Векшинского".
VacuumTechExpo 2019 посетили 1 646 человек из 51 региона России и 13 стран мира. В этом году в выставке участвовала 51 компания из 8 стран: России, Беларуси, Германии, Китая, Кореи, Словакии, США и Турции. Участники продемонстрировали вакуумные насосы и камеры, вакуумметры, преобразователи давления, вакуумную арматуру и установки для нанесения функциональных покрытий, вакуумные печи и сушильные шкафы, а также крионасосы, криоловушки и кулеры. На выставке было представлено много новинок оборудования российского и зарубежного производства, которые вызвали интерес потенциальных покупателей – специалистов, заинтересованных в выборе оборудования для предприятий различных отраслей российской промышленности.
В очередной раз проводился конкурс "Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий".
В соответствии с определением, инновационный продукт – результат инновационной деятельности (нововведение, инновация), получивший практическую реализацию в виде нового товара, услуги, способа производства (технологии) или иного общественного результата.
Победителями конкурса стали 10 инновационных продуктов, которые были отмечены памятными призами. Эти 10 продуктов отражают современный уровень и тенденции развития мировой и отечественной вакуумной техники и технологии.
Насосы вакуумные диффузионные паромасляные с водяным охлаждением предназначены для откачки воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не содержащих капельной влаги и механических загрязнений и не агрессивных к материалам конструкции и рабочей жидкости насоса.
Насос НД-Э разработан в партнерстве с Leybold. Он имеет увеличенную в два раза производительность в диапазоне давлений 10–2…10–3 мм рт.ст. и предназначен для промышленного применения в следующих областях:
Такие насосы не уступают мировым аналогам – диффузионным насосам производства Varian, Edwards и HSR Vacuum.
КРИОСИСТЕМЫ
(ООО "Современное вакуумное оборудование", г. Москва)
Вакуумный криогенный насос для откачки ксенона КС-630-Xe
Вакуумный криогенный насос КС-630-Xe разработан и создан компанией "Криосистемы" для откачки ксенона и предназначен для работы в составе специализированных установок по испытанию ионных двигателей с большой газовой нагрузкой по ксенону.
Разработанная конструкция насоса позволяет эффективно откачивать ксенон в диапазоне давлений 1 ∙ 10–5…1 ∙ 10–6 Торр. Геометрия криопанели спроектирована с учетом максимальной емкости (времени непрерывной работы) по ксенону.
Преимущества насоса КС-630-Xe:
На сегодняшний день на российском рынке насос КС-630-Xe производства компании "Криосистемы" не имеет аналогов.
Сухие винтовые насосы серии VARODRY
В серии сухих винтовых насосов VARODRY реализовано полностью безмасляное сжатие откачиваемой среды. Насос имеет высокоэффективное воздушное охлаждение. Низкая стоимость VARODRY – решение для областей, в которых нет жестких требований с точки зрения загрязнений.
Преимущества: низкая цена, простой ввод в эксплуатацию, компактные размеры, не требуется подвод воды, низкие эксплуатационные расходы, низкое энергопотребление, низкий уровень шума, высокая быстрота действия по водяным парам, отсутствие миграции масла в вакуумную систему.
АО "Атлас Копко" (г. Химки, Московской обл.)
Безмасляный винтовой вакуумный насос с частотно-регулируемым приводом серии DHS-VSD+
Компания "Атлас Копко" разработала новый сухой винтовой вакуумный насос с воздушным охлаждением, который прошел сертификацию по классу ClassZero в соответствии со стандартом ISO 8573-1.
Сухие винтовые вакуумные насосы серии DHS VSD+ – самые маленькие сухие винтовые насосы, которые можно найти на рынке. Это, действительно, безмасляный насос. В конструкции насоса смазка используется только в подшипниках. Соответствие самым жестким требованиям экологической безопасности было подтверждено в результате испытания при прохождении сертификации в лабораториях концерна TÜV Rheinland.
Конструкция насоса состоит всего из 50 компонентов. Большинство из них изготовлено из прочного и долговечного алюминия. Сердце насоса DHS VSD+ – винтовой элемент из алюминия, расположенный в литом алюминиевом корпусе. Преимуществом использования этих материалов является то, что работающий насос требует только воздушного охлаждения. Еще одно преимущество бесконтактной технологии откачки сухого винта – энергоэффективность и высокая производительность.
Работает насос очень тихо, уровень шума благодаря шумопоглощающему корпусу и системе привода с клиновым ремнем и VSD не превышает 70 дБ(А). Номинальная производительность насоса 65 и 100 м3/ч.
Насосы серии DHS имеют воздушное охлаждение, что значительно упрощает их монтаж и требования к установке. Отсутствие масла приводит к отсутствию фильтров и необходимости их замены. В результате требуемое обслуживание практически сведено к нулю. Отсутствие выбросов масла и загрязнений обеспечивается системой выпуска отработавших газов, создающей исключительную чистоту и производительность.
Насос имеет широкий диапазон применения: от вакуумной упаковки пищевых и иных продуктов до промышленных вакуумных процессов, очистки и сушки – насосы серии DHS VSD+ обеспечивают чистую, долговечную и надежную откачку. И все это в сочетании с высокой экономической эффективностью.
Вакуумный насос серии DHS VSD+ воплощает идеи и принципы проектирования оборудования компании "Атлас Копко", направленные на создание умного, экологически безопасного, высокопроизводительного оборудования с минимальными энергозатратами.
АО "Интек Аналитика" (Санкт-Петербург)
Сухие вакуумные насосы EDS
Новый диапазон сухих винтовых насосов EDS производства компании Edwards отличает инновационный дизайн, который создает новый ориентир на рынке винтовых насосов. Благодаря продуманному инжинирингу, построенный в точном соответствии со стандартами и требованиями к качеству, предъявляемыми нашими покупателями, новый сухой винтовой насос предлагает бесперебойную работу и экономически выгодное решение, удовлетворяющее вашим требованиям.
Серия EDS с водяным охлаждением надежна и эффективна. Способность насосов этой серии работать при сильном загрязнении делает эти насосы наиболее разумным выбором для использования в химической промышленности, в тяжелых промышленных технологических процессах.
Отличительные черты сухих вакуумных насосов EDS:
Дана Инжиниринг (г. Москва)
Платформа вакуумных напылительных установок Kurchatov
Платформа вакуумных напылительных установок Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, ориентированы для использования в серийном и крупносерийном производстве. Данная платформа построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при которой значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере конвейерным способом. Установки на данной платформе составляются из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.
Преимущества:
В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяженной геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.
Предусмотрен нагрев подложек на всем пути их следования: от шлюзовой до конца технологической камер.
Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения:
ООО "ОКБМ-ТО" (Калининград)
Установка создания кольцевого He-Ne-лазера ЛБКЯ.442352.011М
Установка создания кольцевого He-Ne-лазера ЛБКЯ.442352.011М предназначена для создания кольцевого He-Ne-лазера на основе оптического лазерного гироскопа методом многоступенчатого технологического процесса. Технологический процесс (длительностью до 110 ч) выполняется в автоматизированном режиме, что обеспечивает проведение полного мониторинга производства изделий, повышает надежность выполнения отдельных стадий техпроцесса.
Основными конструктивными частями установки являются:
Все основные части установки, кроме колпака, размещаются в едином прямоугольном корпусе с плоской верхней поверхностью.
В левой части корпуса под столешницей, размещены все основные системы установки.
В правой части выделен прямоугольный отсек, где установлены устройства системы автоматического управления и остальное электрооборудование.
Вакуумный колпак установки представляет собой разъемную вакуумную камеру, нижний фланец которой закреплен на горизонтальной поверхности стола. Верхняя часть камеры (колпак) подъемная. Конструктивно колпак представляет собой вертикально расположенный цилиндр Ø500 мм, имеющий сверху выпуклое дно, с нижней стороны к нему приварен фланец.
С наружной стороны на цилиндре равномерно установлен изолированный резистивный нагреватель, отделенный от рабочего объема внутренней обечайкой колпака. Нижний фланец (плита) камеры – водоохлаждаемый. Внутри камеры размещается до 6-ти оптических изделий.
Температура нагрева изделий внутри камеры контролируется двумя термоэлектрическими датчиками (термопарами), расположенными в рабочей зоне. Для обеспечения вакуумной откачки изделий и наполнения их газами, через нижний фланец колпака пропущены шесть вакуумных магистралей, заканчивающихся внутри колпака сменными наконечниками.
Основные отличия установки:
Конструкция установки ЛБКЯ.442352.011М защищена патентом № 88781 "Установка для специальной электровакуумной обработки оптических изделий".
ООО "Ферри-Ватт" (г. Казань)
Индукционная плавильная печь ВАТТ-1300ВИП-С
Индукционная плавильная печь ВАТТ-1300ВИП-С предназначена для получения в вакууме инновационных алюминиевых и магниевых сплавов в индукционной печи и последующим разливом в муфельной печи, с возможностью добавления в расплав наномодификаторов и ультразвуковой обработки расплава как в процессе плавки при легировании, так и перед застыванием при разливе в формы. Общий вид и основные характеристики оборудования представлены на рисунке и в таблице соответственно. Оборудование укомплектовано линией подготовки легирующих нанопорошков, исходных компонентов плавки и приборами входного и выходного контроля сырья и готовой продукции (весы, РФА-спектрометр, ударно-точечный маркировочный станок). Оборудование полностью автоматизировано и снабжено необходимыми системами контроля процесса плавки, в том числе контактный и пирометрический контроль температуры расплава, контроль футеровки тигля, визуальный контроль всех стадий процесса с рабочего места оператора. Оборудование позволяет получать высокопрочные марки сплавов с низкой зернистостью и высокой пластичностью за счет возможности воздействовать на размеры образующихся при затвердевании зерен путем создания центров кристаллизации в виде равномерно распределенных наномодификаторов.
ООО "Изовак" (Беларусь, Минск)
Вакуумное технологическое оборудование LIDIZ
Вакуумное технологическое оборудование LIDIZ предназначено для напыления сложных оптических покрытий для широкого круга применений.
Установка оснащена высокочастотными сеточными ионными источниками распыления, очистки и ассистирования, а также высокочастотными нейтрализаторами заряда.
Широкополосный оптический контроль по движущемуся свидетелю позволяет проводить процесс напыления в полностью автоматическом режиме и существенно увеличивает выход годных изделий.
Применение безмасляных откачных средств и ультравысоковакуумное исполнение установки вместе со шлюзовой роботизированной загрузкой позволяет добиться максимальной чистоты проведения технологического процесса напыления.
Технологические особенности:
ООО "Буш Вакуум Руссиа" (г. Москва)
Вакуумное измерительное оборудование нового поколения Busch VacTest
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems выпустила новую линейку вакуумных тестеров VacTest. Разработка, объединившая в себе новейшие достижения в области вакуумных измерений и исключительное качество изготовления, позволяет предложить линейку инновационных активных вакуумметров и контроллеров широчайшего профиля. Прочная конструкция, надежность и точность измерений – вот ключевые характеристики этих устройств, которые делают выбор оборудования Busch идеальным для управления и контроля вакуумных процессов. Новейшие технологии позволяют создавать устройства с широким диапазоном измерений – от 1 600 до 5 ∙ 10–10 миллибар, обеспечивая точность на любом уровне вакуума.
Предлагаемые компанией Busch три линейки продуктов VacTest отвечают всем требованиям к измерению, контролю, управлению и регулированию вакуумной системы или процесса с точки зрения точности, а также диапазона измерений и технических возможностей.
Цифровые датчики VacTest представляют собой современные средства измерения с полным диапазоном дополнительных возможностей. Архитектура умных микроконтроллеров этих датчиков обеспечивает оптимальное сенсорное управление, а возможности настройки делают их выбор идеальным решением практически в любой области применения.
Аналоговые датчики VacTest отличаются компактным, прочным и функциональным дизайном. Благодаря безупречной точности и стабильности измерений эти датчики идеально подойдут для централизованных систем контроля и управления.
Портативный манометр VacTest – это идеальное переносное устройство для обслуживания или контроля качества вакуумного процесса. Измерительное устройство, работающее от аккумулятора, выполняет различные функции, например, используется в качестве USB-порта для передачи и визуализации данных и устройства регистрации данных; при этом эти манометры могут эксплуатироваться даже в условиях вакуума. Так, манометр можно поместить в герметичную упаковку для измерения давления внутри упаковки.
Для обеспечения быстрой и эффективной визуализации, анализа и сравнения технологических данных на компьютере или планшете Busch предлагает программное обеспечение VacTestexplorer. Доступны облегченная (Lite) и профессиональная (Pro) версии VacTestexplorer. Данная программа может выполнять множество функций. Например, она может использоваться для расчета класса герметичности, для удаленного управления активным сенсорным контроллером, для сравнения кривых откачки или настройки всех параметров цифровых передатчиков.
Не вызывает сомнений, что выставка VacuumTechExpo будет и дальше содействовать развитию инноваций в России. ■
S.B.Nesterov, Doctor of Sc. (Technical), Prof., President, (ORCID: 0000-0002-7457-4213)
DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.5.284.292
Получено: 07.08.2019 г.
Приведено краткое описание лучших инновационных продуктов выставки вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2019.
Described are the best innovative products presented on the "VacuumTechExpo 2019" exhibition.
16–18 апреля 2019 года в Москве, в КВЦ "Сокольники", проходила очередная XIV международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2019. Организатор выставки – Международная выставочная компания. Выставка проводилась при поддержке Российского научно-технического вакуумного общества им. академика С.А.Векшинского".
VacuumTechExpo 2019 посетили 1 646 человек из 51 региона России и 13 стран мира. В этом году в выставке участвовала 51 компания из 8 стран: России, Беларуси, Германии, Китая, Кореи, Словакии, США и Турции. Участники продемонстрировали вакуумные насосы и камеры, вакуумметры, преобразователи давления, вакуумную арматуру и установки для нанесения функциональных покрытий, вакуумные печи и сушильные шкафы, а также крионасосы, криоловушки и кулеры. На выставке было представлено много новинок оборудования российского и зарубежного производства, которые вызвали интерес потенциальных покупателей – специалистов, заинтересованных в выборе оборудования для предприятий различных отраслей российской промышленности.
В очередной раз проводился конкурс "Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий".
В соответствии с определением, инновационный продукт – результат инновационной деятельности (нововведение, инновация), получивший практическую реализацию в виде нового товара, услуги, способа производства (технологии) или иного общественного результата.
Победителями конкурса стали 10 инновационных продуктов, которые были отмечены памятными призами. Эти 10 продуктов отражают современный уровень и тенденции развития мировой и отечественной вакуумной техники и технологии.
Насосы вакуумные диффузионные паромасляные с водяным охлаждением предназначены для откачки воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не содержащих капельной влаги и механических загрязнений и не агрессивных к материалам конструкции и рабочей жидкости насоса.
Насос НД-Э разработан в партнерстве с Leybold. Он имеет увеличенную в два раза производительность в диапазоне давлений 10–2…10–3 мм рт.ст. и предназначен для промышленного применения в следующих областях:
- вакуумная сушка;
- вакуумное напыление;
- металлургия;
- вакуумные печи;
- научные исследования.
Такие насосы не уступают мировым аналогам – диффузионным насосам производства Varian, Edwards и HSR Vacuum.
КРИОСИСТЕМЫ
(ООО "Современное вакуумное оборудование", г. Москва)
Вакуумный криогенный насос для откачки ксенона КС-630-Xe
Вакуумный криогенный насос КС-630-Xe разработан и создан компанией "Криосистемы" для откачки ксенона и предназначен для работы в составе специализированных установок по испытанию ионных двигателей с большой газовой нагрузкой по ксенону.
Разработанная конструкция насоса позволяет эффективно откачивать ксенон в диапазоне давлений 1 ∙ 10–5…1 ∙ 10–6 Торр. Геометрия криопанели спроектирована с учетом максимальной емкости (времени непрерывной работы) по ксенону.
Преимущества насоса КС-630-Xe:
- простота конструкции насоса с минимальным количеством элементов;
- короткое время захолаживания;
- надежность в работе и простота в эксплуатации и ремонте;
- возможен полный объем проведения ремонта (в том числе и восстановление криоголовки) в сервисном центре "Криосистемы";
- насос КС-630-Xe является эффективным техническим решением при создании новых и модернизации вакуумных установок для испытания ионных двигателей с имеющейся системой вакуумной откачки;
- низкая стоимость по сравнению с конкурентными решениями.
На сегодняшний день на российском рынке насос КС-630-Xe производства компании "Криосистемы" не имеет аналогов.
Сухие винтовые насосы серии VARODRY
В серии сухих винтовых насосов VARODRY реализовано полностью безмасляное сжатие откачиваемой среды. Насос имеет высокоэффективное воздушное охлаждение. Низкая стоимость VARODRY – решение для областей, в которых нет жестких требований с точки зрения загрязнений.
Преимущества: низкая цена, простой ввод в эксплуатацию, компактные размеры, не требуется подвод воды, низкие эксплуатационные расходы, низкое энергопотребление, низкий уровень шума, высокая быстрота действия по водяным парам, отсутствие миграции масла в вакуумную систему.
АО "Атлас Копко" (г. Химки, Московской обл.)
Безмасляный винтовой вакуумный насос с частотно-регулируемым приводом серии DHS-VSD+
Компания "Атлас Копко" разработала новый сухой винтовой вакуумный насос с воздушным охлаждением, который прошел сертификацию по классу ClassZero в соответствии со стандартом ISO 8573-1.
Сухие винтовые вакуумные насосы серии DHS VSD+ – самые маленькие сухие винтовые насосы, которые можно найти на рынке. Это, действительно, безмасляный насос. В конструкции насоса смазка используется только в подшипниках. Соответствие самым жестким требованиям экологической безопасности было подтверждено в результате испытания при прохождении сертификации в лабораториях концерна TÜV Rheinland.
Конструкция насоса состоит всего из 50 компонентов. Большинство из них изготовлено из прочного и долговечного алюминия. Сердце насоса DHS VSD+ – винтовой элемент из алюминия, расположенный в литом алюминиевом корпусе. Преимуществом использования этих материалов является то, что работающий насос требует только воздушного охлаждения. Еще одно преимущество бесконтактной технологии откачки сухого винта – энергоэффективность и высокая производительность.
Работает насос очень тихо, уровень шума благодаря шумопоглощающему корпусу и системе привода с клиновым ремнем и VSD не превышает 70 дБ(А). Номинальная производительность насоса 65 и 100 м3/ч.
Насосы серии DHS имеют воздушное охлаждение, что значительно упрощает их монтаж и требования к установке. Отсутствие масла приводит к отсутствию фильтров и необходимости их замены. В результате требуемое обслуживание практически сведено к нулю. Отсутствие выбросов масла и загрязнений обеспечивается системой выпуска отработавших газов, создающей исключительную чистоту и производительность.
Насос имеет широкий диапазон применения: от вакуумной упаковки пищевых и иных продуктов до промышленных вакуумных процессов, очистки и сушки – насосы серии DHS VSD+ обеспечивают чистую, долговечную и надежную откачку. И все это в сочетании с высокой экономической эффективностью.
Вакуумный насос серии DHS VSD+ воплощает идеи и принципы проектирования оборудования компании "Атлас Копко", направленные на создание умного, экологически безопасного, высокопроизводительного оборудования с минимальными энергозатратами.
АО "Интек Аналитика" (Санкт-Петербург)
Сухие вакуумные насосы EDS
Новый диапазон сухих винтовых насосов EDS производства компании Edwards отличает инновационный дизайн, который создает новый ориентир на рынке винтовых насосов. Благодаря продуманному инжинирингу, построенный в точном соответствии со стандартами и требованиями к качеству, предъявляемыми нашими покупателями, новый сухой винтовой насос предлагает бесперебойную работу и экономически выгодное решение, удовлетворяющее вашим требованиям.
Серия EDS с водяным охлаждением надежна и эффективна. Способность насосов этой серии работать при сильном загрязнении делает эти насосы наиболее разумным выбором для использования в химической промышленности, в тяжелых промышленных технологических процессах.
Отличительные черты сухих вакуумных насосов EDS:
- система по принципу "подключи и работай";
- инновационная и прочная конструкция винтов;
- сухие винты с конической резьбой;
- высокая быстрота действия;
- большое время безотказной работы;
- минимальное время простоя;
- надежная система водяного охлаждения;
- высокая устойчивость к наличию твердых частиц загрязнений;
- возможность усиленного воздушного охлаждения (опция);
- система водяного охлаждения с замкнутым контуром;
- безопасность и гибкость для процессов химической промышленности;
- возможность настройки для использования в опасных зонах;
- сертификация по международным стандартам в области взрывоопасности.
Дана Инжиниринг (г. Москва)
Платформа вакуумных напылительных установок Kurchatov
Платформа вакуумных напылительных установок Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, ориентированы для использования в серийном и крупносерийном производстве. Данная платформа построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при которой значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере конвейерным способом. Установки на данной платформе составляются из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.
Преимущества:
- высокая производительность;
- все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304;
- поверхности, обращенные к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки;
- возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный источник;
- гибкость при модернизации установки;
- использование безмасляных средств откачки;
- многоканальный контроль равномерности напыления и состава плазмы.
В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяженной геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.
Предусмотрен нагрев подложек на всем пути их следования: от шлюзовой до конца технологической камер.
Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения:
- машиностроение;
- декоративное производство;
- приборостроение;
- оптика;
- микроэлектроника.
ООО "ОКБМ-ТО" (Калининград)
Установка создания кольцевого He-Ne-лазера ЛБКЯ.442352.011М
Установка создания кольцевого He-Ne-лазера ЛБКЯ.442352.011М предназначена для создания кольцевого He-Ne-лазера на основе оптического лазерного гироскопа методом многоступенчатого технологического процесса. Технологический процесс (длительностью до 110 ч) выполняется в автоматизированном режиме, что обеспечивает проведение полного мониторинга производства изделий, повышает надежность выполнения отдельных стадий техпроцесса.
Основными конструктивными частями установки являются:
- вакуумный колпак с системой нагрева и охлаждения;
- цельнометаллическая прогреваемая (до 200°С) высоковакуумная безмасляная система откачки оптических изделий с газоанализатором;
- высоковакуумная безмасляная система откачки колпака;
- многоканальная система напуска рабочих газов в изделия;
- система отжига геттеров в изделии на основе лазеров;
- система автоматического управления и электропитания.
Все основные части установки, кроме колпака, размещаются в едином прямоугольном корпусе с плоской верхней поверхностью.
В левой части корпуса под столешницей, размещены все основные системы установки.
В правой части выделен прямоугольный отсек, где установлены устройства системы автоматического управления и остальное электрооборудование.
Вакуумный колпак установки представляет собой разъемную вакуумную камеру, нижний фланец которой закреплен на горизонтальной поверхности стола. Верхняя часть камеры (колпак) подъемная. Конструктивно колпак представляет собой вертикально расположенный цилиндр Ø500 мм, имеющий сверху выпуклое дно, с нижней стороны к нему приварен фланец.
С наружной стороны на цилиндре равномерно установлен изолированный резистивный нагреватель, отделенный от рабочего объема внутренней обечайкой колпака. Нижний фланец (плита) камеры – водоохлаждаемый. Внутри камеры размещается до 6-ти оптических изделий.
Температура нагрева изделий внутри камеры контролируется двумя термоэлектрическими датчиками (термопарами), расположенными в рабочей зоне. Для обеспечения вакуумной откачки изделий и наполнения их газами, через нижний фланец колпака пропущены шесть вакуумных магистралей, заканчивающихся внутри колпака сменными наконечниками.
Основные отличия установки:
- Выполнение технологического процесса в автоматическом режиме работы установки позволяет повысить производительность и выход годных оптических изделий (кольцевых He-Ne-лазеров);
- Установка оснащена лазерной системой отжига геттеров установленных непосредственно в оптических изделиях;
- Установка выпускается в 2-х конструктивных исполнениях. Дополнительная опция ЛБКЯ.442352.011М-01 оснащена узлом для проверки сорбционной емкости геттеров. Это позволяет расширить технологические возможности установки и уменьшить площадь производства кольцевых He-Ne-лазеров за счет исключения дополнительной единицы оборудования;
- За 2017, 2018 годы ООО "ОКБМ-ТО" для создания изделий квантовой электроники выпущено и внедрено пять установок, из которых четыре – ЛБКЯ.442352.011М и одна – ЛБКЯ.442352.011М-01, что позволило полностью перевооружить производственный участок, не останавливая производства.
Конструкция установки ЛБКЯ.442352.011М защищена патентом № 88781 "Установка для специальной электровакуумной обработки оптических изделий".
ООО "Ферри-Ватт" (г. Казань)
Индукционная плавильная печь ВАТТ-1300ВИП-С
Индукционная плавильная печь ВАТТ-1300ВИП-С предназначена для получения в вакууме инновационных алюминиевых и магниевых сплавов в индукционной печи и последующим разливом в муфельной печи, с возможностью добавления в расплав наномодификаторов и ультразвуковой обработки расплава как в процессе плавки при легировании, так и перед застыванием при разливе в формы. Общий вид и основные характеристики оборудования представлены на рисунке и в таблице соответственно. Оборудование укомплектовано линией подготовки легирующих нанопорошков, исходных компонентов плавки и приборами входного и выходного контроля сырья и готовой продукции (весы, РФА-спектрометр, ударно-точечный маркировочный станок). Оборудование полностью автоматизировано и снабжено необходимыми системами контроля процесса плавки, в том числе контактный и пирометрический контроль температуры расплава, контроль футеровки тигля, визуальный контроль всех стадий процесса с рабочего места оператора. Оборудование позволяет получать высокопрочные марки сплавов с низкой зернистостью и высокой пластичностью за счет возможности воздействовать на размеры образующихся при затвердевании зерен путем создания центров кристаллизации в виде равномерно распределенных наномодификаторов.
ООО "Изовак" (Беларусь, Минск)
Вакуумное технологическое оборудование LIDIZ
Вакуумное технологическое оборудование LIDIZ предназначено для напыления сложных оптических покрытий для широкого круга применений.
Установка оснащена высокочастотными сеточными ионными источниками распыления, очистки и ассистирования, а также высокочастотными нейтрализаторами заряда.
Широкополосный оптический контроль по движущемуся свидетелю позволяет проводить процесс напыления в полностью автоматическом режиме и существенно увеличивает выход годных изделий.
Применение безмасляных откачных средств и ультравысоковакуумное исполнение установки вместе со шлюзовой роботизированной загрузкой позволяет добиться максимальной чистоты проведения технологического процесса напыления.
Технологические особенности:
- полная автоматизация технологического процесса;
- ионная очистка высокочастотным сеточным источником;
- технология распыления высокочастотным сеточным ионным источником;
- ионное ассистирование высокочастотным сеточным источником;
- шлюзовая роботизированная загрузка;
- дисковый либо планетарный подложкодержатели;
- широкополосный автоматический оптический контроль по движущемуся свидетелю;
- инновационный четырехпозиционный подложкодержатель с механизмом вращения и горизонтального перемещения в процессе распыления;
- получение пленок с переменным показателем преломления;
- встраивание в чистую комнату;
- диаметр подложкодержателя – 320 мм (3 × 320);
- максимальная загрузка деталей Ø30 мм – 60 (180);
- предельное остаточное давление – 2 ∙ 10–5 Па.
ООО "Буш Вакуум Руссиа" (г. Москва)
Вакуумное измерительное оборудование нового поколения Busch VacTest
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems выпустила новую линейку вакуумных тестеров VacTest. Разработка, объединившая в себе новейшие достижения в области вакуумных измерений и исключительное качество изготовления, позволяет предложить линейку инновационных активных вакуумметров и контроллеров широчайшего профиля. Прочная конструкция, надежность и точность измерений – вот ключевые характеристики этих устройств, которые делают выбор оборудования Busch идеальным для управления и контроля вакуумных процессов. Новейшие технологии позволяют создавать устройства с широким диапазоном измерений – от 1 600 до 5 ∙ 10–10 миллибар, обеспечивая точность на любом уровне вакуума.
Предлагаемые компанией Busch три линейки продуктов VacTest отвечают всем требованиям к измерению, контролю, управлению и регулированию вакуумной системы или процесса с точки зрения точности, а также диапазона измерений и технических возможностей.
Цифровые датчики VacTest представляют собой современные средства измерения с полным диапазоном дополнительных возможностей. Архитектура умных микроконтроллеров этих датчиков обеспечивает оптимальное сенсорное управление, а возможности настройки делают их выбор идеальным решением практически в любой области применения.
Аналоговые датчики VacTest отличаются компактным, прочным и функциональным дизайном. Благодаря безупречной точности и стабильности измерений эти датчики идеально подойдут для централизованных систем контроля и управления.
Портативный манометр VacTest – это идеальное переносное устройство для обслуживания или контроля качества вакуумного процесса. Измерительное устройство, работающее от аккумулятора, выполняет различные функции, например, используется в качестве USB-порта для передачи и визуализации данных и устройства регистрации данных; при этом эти манометры могут эксплуатироваться даже в условиях вакуума. Так, манометр можно поместить в герметичную упаковку для измерения давления внутри упаковки.
Для обеспечения быстрой и эффективной визуализации, анализа и сравнения технологических данных на компьютере или планшете Busch предлагает программное обеспечение VacTestexplorer. Доступны облегченная (Lite) и профессиональная (Pro) версии VacTestexplorer. Данная программа может выполнять множество функций. Например, она может использоваться для расчета класса герметичности, для удаленного управления активным сенсорным контроллером, для сравнения кривых откачки или настройки всех параметров цифровых передатчиков.
Не вызывает сомнений, что выставка VacuumTechExpo будет и дальше содействовать развитию инноваций в России. ■
Отзывы читателей
