eng
Спецвыпуск/2019
К. А. Медведев, А. В. Кузовков, В. В. Иванов
Алгоритм и методика повышения эффективности OPC-рецепта
Алгоритм и методика повышения эффективности OPC-рецепта
Просмотры: 1615
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.368.372
В работе рассматривается алгоритм калибровки параметров OPC-рецепта, основанный на методе дифференциальной эволюции. Разработана методика повышения качества рецепта с применением предложенного алгоритма и проведено экспериментальное исследование для оценки его эффективности.
В работе рассматривается алгоритм калибровки параметров OPC-рецепта, основанный на методе дифференциальной эволюции. Разработана методика повышения качества рецепта с применением предложенного алгоритма и проведено экспериментальное исследование для оценки его эффективности.
Отзывы читателей
