DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.480.483

В статье рассматривается разработанная конструкция чувствительного элемента микроакселерометра. Приведены результаты модального и статического анализа, проведенные методом конечно-элементного анализа. Предложен режим травления глубоких канавок в кремнии с использованием Bosch-процесса. Предложены фотографии изготовленных чувствительных элементов.