eng
Спецвыпуск/2019
А. А. Ковалев, О. Ю. Яковлев, В. И. Зуев, А. С. Ковалев, Я. В. Беляев, С. П. Тимошенков
Конструктивно-технологические особенности изготовления микромеханических систем инерциальных МЭМС-датчиков
Конструктивно-технологические особенности изготовления микромеханических систем инерциальных МЭМС-датчиков
Просмотры: 1439
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.484.490
В статье представлены конструктивные и технологические особенности изготовления инерционных МЭМС-датчиков на основе технологической платформы прямого соединения кремниевых пластин с КНИ-структурами.
В статье представлены конструктивные и технологические особенности изготовления инерционных МЭМС-датчиков на основе технологической платформы прямого соединения кремниевых пластин с КНИ-структурами.
Отзывы читателей
