DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.527.529

Изобретение посвящено проблеме создания высокоточных сенсоров магнитного поля с чувствительностью до долей нанотесла. Создание таких приборов резко расширит область их применения, особенно в медицине. Высокая чувствительность и координатное разрешение сенсора достигаются применением функционально-интегрированной структуры в конструкции сенсора и возможностью минимизировать уровень шумов при использовании последовательного соединения цепочек пикселей сенсора магнитного поля.