eng
Спецвыпуск/2019
Н. В. Волков, Н. И. Каргин, А. С. Тимошенков
Особенности применения FIB-технологии для изготовления наноэлементов МЭМС
Особенности применения FIB-технологии для изготовления наноэлементов МЭМС
Просмотры: 1317
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.535.538
В работе рассмотрены возможности применения методов ионной растровой микроскопии (FIB — Focused Ion Beam) в качестве обрабатывающей системы для создания элементов микроэлектронных механических систем (МЭМС) на кремниевых подложках с характерными размерами менее 1 мкм.
В работе рассмотрены возможности применения методов ионной растровой микроскопии (FIB — Focused Ion Beam) в качестве обрабатывающей системы для создания элементов микроэлектронных механических систем (МЭМС) на кремниевых подложках с характерными размерами менее 1 мкм.
Отзывы читателей
