eng
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
Спецвыпуск/2019
Л. И. Долговых, А. И. Виноградов, Н. М. Зарянкин, М. С. Михайлова, А. В. Брыкин
Особенности технологии эвтектического сращивания МЭМС
Особенности технологии эвтектического сращивания МЭМС
Просмотры: 1469
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.549.550
Для сращивания кремниевых пластин в данной работе использовался процесс эвтектической пайки через напыленный на одну из сращиваемых пластин тонкий слой золота. При проверке образцов после процесса была обнаружена проблема неравномерного распределения золота по пластине. Чтобы избежать эффекта расползания золота по пластине в процессе сращивания, была разработана демпфирующая воздушная подушка.
Для сращивания кремниевых пластин в данной работе использовался процесс эвтектической пайки через напыленный на одну из сращиваемых пластин тонкий слой золота. При проверке образцов после процесса была обнаружена проблема неравномерного распределения золота по пластине. Чтобы избежать эффекта расползания золота по пластине в процессе сращивания, была разработана демпфирующая воздушная подушка.
Отзывы читателей
