DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.579.581

В работе описаны результаты разработки, исследований и внедрения на рынок перспективных инерциальных МЭМС отечественного производства. Проанализированы ключевые преимущества и возможности, которыми могут обладать микромеханические датчики. Дано аналитическое обоснование предельной механической прочности, стойкости и точности упомянутых приборов.