eng
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
Спецвыпуск/2019
А. С. Тимошенков
Тенденции в развитии современных инерциальных микромеханических датчиков
Тенденции в развитии современных инерциальных микромеханических датчиков
Просмотры: 1482
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.579.581
В работе описаны результаты разработки, исследований и внедрения на рынок перспективных инерциальных МЭМС отечественного производства. Проанализированы ключевые преимущества и возможности, которыми могут обладать микромеханические датчики. Дано аналитическое обоснование предельной механической прочности, стойкости и точности упомянутых приборов.
В работе описаны результаты разработки, исследований и внедрения на рынок перспективных инерциальных МЭМС отечественного производства. Проанализированы ключевые преимущества и возможности, которыми могут обладать микромеханические датчики. Дано аналитическое обоснование предельной механической прочности, стойкости и точности упомянутых приборов.
Отзывы читателей
