eng
Спецвыпуск/2019
Ю. В. Герасименко В. Ф. Тупикин А. С. Ермакова Н. В. Комаров В. Н. Комаров А. И. Сергиенко
Перспективные направления развития специализированного отечественного оборудования технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления микросхем, МЭМС и микросборок
Перспективные направления развития специализированного отечественного оборудования технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления микросхем, МЭМС и микросборок
Просмотры: 1661
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.624.627
Проведен комплексный обзор специализированного оборудования для технохимической обработки пластин, рассмотрены основные мировые тенденции производства специального технологического оборудования для изготовления интегральных схем, МЭМС и микросборок, представлен опыт ОАО «НИИПМ» в этой области.
Проведен комплексный обзор специализированного оборудования для технохимической обработки пластин, рассмотрены основные мировые тенденции производства специального технологического оборудования для изготовления интегральных схем, МЭМС и микросборок, представлен опыт ОАО «НИИПМ» в этой области.
Отзывы читателей
