eng
Выпуск #6/2020
А.В.Шведов, В.М.Елинсон, П.А.Щур
Физико-химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий, полученные осаждением из газовой фазы при атмосферном давлении в динамическом режиме нанесения
Физико-химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий, полученные осаждением из газовой фазы при атмосферном давлении в динамическом режиме нанесения
Просмотры: 1845
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.6.364.371
В работе показана возможность формирования углеродных и фторуглеродных покрытий в непрерывном (динамическом) режиме осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении с использованием низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы. Установлен контактный угол смачивания полученных покрытий, и проведено исследование с помощью АСМ.
В работе показана возможность формирования углеродных и фторуглеродных покрытий в непрерывном (динамическом) режиме осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении с использованием низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы. Установлен контактный угол смачивания полученных покрытий, и проведено исследование с помощью АСМ.
Теги: carbon and fluorocarbon coatings deposition from gas phase осаждение из газовой фазы углеродные и фторуглеродные покрытия
А.В.Шведов*, аспирант, инженер, (ORCID: 0000-0002-4743-5701), В.М.Елинсон*, д.т.н., проф.,
(ORCID: 0000-0002-4432-7991), П.А.Щур*, аспирант, инженер, (ORCID: 0000-0002-7862-2366) / seriousash@yandex.ru
A.V.Shvedov*, Post-graduate, Engineer, V.M.Elinson*, Doct. of Sc. (Technical), Prof., P.A.Shchur*, Post-graduate, Engineer
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.6.364.371
Получено: 24.09.2020 г.
ВВЕДЕНИЕ
Жизненный цикл изделий политроники и оптоэлектроники во многом зависит от свойств и характеристик полимерных материалов, входящих в состав их компонентов [1, 2]. Под воздействием таких внешних факторов, как повышенная влажность, физические повреждения и биологические загрязнения, свойства полимерных материалов подвергаются существенной деградации, что может привести к выходу из строя всего устройства [3, 4]. С целью минимизации влияния окружающей среды на поверхность полимерных материалов применяются ионно-плазменные технологии в вакууме для осаждения из газовой фазы тонких углеродсодержащих покрытий [2, 5].
Применение углерода в качестве основного материала покрытия позволяет формировать слой с полностью компенсированными валентными связями, свойства которого изменяются в широких пределах в зависимости от технологии осаждения [6]. В связи с этим тонкие углеродсодержащие пленки хорошо зарекомендовали себя в качестве защитного покрытия на поверхностях различных материалов [7, 8]. Добавление фтора в состав покрытия позволяет повысить гидрофобные свойства поверхности, а также добиться повышенной химической и механической стойкости [9, 10].
Современные методы производства новых материалов и обработки поверхности различных изделий во многом опираются на технологии с низким энергопотреблением. К таким технологиям можно отнести методы, в основе которых лежит применение низкотемпературной плазмы атмосферного давления, зарекомендовавшие себя в широком спектре областей деятельности человека [11–14]. Среди множества устройств генерации низкотемпературной плазмы наиболее выгодным является низкочастотный (НЧ) плазмотрон атмосферного давления, который позволяет производить точечную обработку или осаждение из газовой фазы с минимизированным влиянием окружающей атмосферы без необходимости создания и поддержания вакуума и минимальными энергетическими затратами [15]. Это позволяет с относительной легкостью обрабатывать такие термолабильные материалы, как полимеры, широко применяемые в устройствах опто- и радиоэлектроники.
Для формирования покрытия по всей площади изделия при помощи НЧ-плазмотрона атмосферного давления необходимо рассмотреть режим, который подразумевает равномерное перемещение сопла плазмотрона над поверхностью подложки. Динамический режим является непрерывным режимом формирования покрытия с фиксированными значениями скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона и шага обработки.
Исследование свойств углеродных и фторуглеродных покрытий, полученных НЧ-плазмотроном атмосферного давления в динамическом режиме осаждения из газовой фазы, является целью данной работы.
МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
Осаждение из газовой фазы углеродных и фторуглеродных покрытий производилось на экспериментальной установке, в состав которой входит монополярный НЧ-плазмотрон низкотемпературной плазмы мощностью до 100 Вт и частотой 70–130 кГц. Для реализации динамического режима обработки сопло плазмотрона было вмонтировано на установке с ЧПУ для прецизионного контроля геометрических параметров обработки (рис.1).
Осаждение из газовой фазы углеродных покрытий обеспечивалось подачей нескольких потоков газов: плазмообразующий и транспортный газ – Ar, пленкообразующий газ – пары C6H12. Формирование фторуглеродных покрытий производилось с использованием транспортного газа CF4. В процессе осаждения фиксировались следующие технологические параметры: расстояние плазмотрон-подложка (15–24 мм), скорость передвижения (1–3 мм/с) и шаг обработки (3–6 мм). Суммарный поток газов составлял 7,1 ± 0,1 л/мин при концентрации C6H12 – 2,5%. Осаждение из газовой фазы проводилось на подложки из полиэтилентерефталата (ПЭТФ) и монокристаллического кремния в зависимости от выполненных исследований. Измерение контактного угла смачивания производилось при помощи микроскопа "МГ" c гониометрической приставкой, исследование рельефа было выполнено с помощью сканирующего зондового микроскопа NT MDT SolverNext с АСМ-головкой.
РЕЗУЛЬТАТЫ
Для определения гидрофобности и гидрофильности углеродных и фторуглеродных покрытий было проведено измерение контактного угла смачивания на подложках ПЭТФ. Результаты исследования представлены на рис.2, 3. Контактный угол смачивания контрольного образца ПЭТФ составлял 58°, а монокристаллического кремния – 56°.
Нанесение углеродного покрытия приводило к гидрофилизации ПЭТФ и снижению контактного угла смачивания до 42°, что связано с обработкой и термическим воздействием на приповерхностный слой ПЭТФ, приводящим к его гидрофилизации [12], параллельно с процессами осаждения из газовой фазы. Было предположено, что получаемые покрытия позволяют фиксировать результаты обработки поверхности полимерных материалов, в то время как само покрытие, из-за увеличения концентрации C–O-групп, должно увеличивать гидрофобность. На рис.3 представлен образец углеродного покрытия на подложке из монокристаллического кремния, где углеродное покрытие приводит к незначительному увеличению гидрофобности поверхности за счет минимизированного влияния низкотемпературной плазмы на приповерхностный слой кремния, а также за счет иного типа проводимости подложки.
Фторуглеродные покрытия приводили к увеличению гидрофобных свойств на поверхности ПЭТФ с увеличением контактного угла смачивания до 78°, что связано с повышенной концентрацией C–O-связей и присутствием C–F-связей. Увеличение гидрофобности также обусловлено проведением как процесса нанесения, так и процесса травления с вытеснением наименее сильных связей, таких как C–H, c замещением их на более устойчивые С–F.
Изменения контактного угла смачивания от шага обработки говорит о неоднородном распределении толщины в зависимости от расстояния между проходами сопла НЧ-плазмотрона над поверхностью подложки. По всей видимости, шаг обработки в 4 мм связан со слоями, формируемыми группами С–H и C–N на границе ионизированных частиц и зоной рекомбинации.
Влияние расстояния "плазмотрон – подложка" на контактный угол смачивания характеризует изменение химического состава получаемого покрытия и концентрации связей С–С, C = C, C ≡ C, C = O в результате диссоциации пленкообразующей смеси. Увеличение количества С–С компонентов с дополнительным увеличением расстояния "плазмотрон – подложка" позволяет увеличивать гидрофобность получаемых покрытий.
Увеличение скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона позволяло производить увеличение гидрофобности за счет более равномерного рельефа. Кроме того, повышенная скорость позволяла осуществлять осаждение наиболее стабильных продуктов диссоциации, не подвергшихся процессам рекомбинации с атмосферным воздухом, которые в процессе передвижения и характера распространения газовой смеси не достигали поверхности подложки.
Исследование рельефа углеродных и фторуглеродных покрытий производилось на подложках из монокристаллического кремния. На рис.4 показаны оптические снимки полученных покрытий, на которых видно, что с увеличением скорости передвижения сопла плазмотрона увеличивается однородность получаемых покрытий, как видно по изменяющемуся цвету отраженного света. Нанесение фторуглеродного покрытия позволяет добиться равномерного распределения толщины за исключением точек, в которых наблюдается повышенная концентрация материала покрытия, в виде черных точек.
По всей видимости, это связано с пробоями НЧ дугового разряда, которые в редких случаях приводят к резкому росту толщины покрытия. Линии, наблюдаемые на снимках, являются следами, повторяющими кристаллографическую ориентацию монокристаллического кремния (111), возникающими за счет повышенной проводимости по отношению к остальному объему подложки.
На рис.5 отображены сканы поверхности углеродных и фторуглеродных покрытий, полученные при помощи АСМ, на которых показано, что углеродные покрытия обладают более развитым рельефом. Это связано с тем, что осаждение из газовой фазы фторуглеродных покрытий сопровождается процессом травления формируемого покрытия, которое происходит с использованием CF4, являющимся как пленкообразующим, так и травящим компонентом. Вследствие чего, шероховатость поверхности (Sq) фторуглеродных покрытий составляла 7,45 нм и была меньше, чем для углеродных покрытий, у которых Sq = 11,9±0,01 нм. По всей видимости, данный эффект оказывает существенное влияние на контактный угол смачивания и химический состав получаемых покрытий.
ВЫВОДЫ
В результате проведенной работы было показано влияние технологических параметров осаждения из газовой фазы НЧ-плазмотроном атмосферного давления на физические и химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий. Установлена величина контактного угла смачивания и влияние материала подложки на получаемое покрытие.
Влияние расстояния "плазмотрон – подложка" и скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона на изменение гидрофобности и гидрофильности поверхности носит нелинейный характер, что говорит о влиянии процессов рекомбинации ионизированной газовой смеси с атмосферным воздухом, которые могут быть использованы для получения покрытий с заданным составом и свойствами. Показано влияние скорости перемещения сопла плазмотрона над подложкой на рельеф получаемых покрытий, а также рассмотрено влияние травящего компонента CF4 на получаемый рельеф покрытий. Установлена величина шероховатости покрытий, которая составила в среднем 11–12 нм для углеродных покрытий и 7–8 нм для фторуглеродных покрытий.
ЛИТЕРАТУРА / REFERENCES
Bose I., Ohlander A., Stich M., Kiesl C., Hemmetzberger D., Klink G., Bock K. Polymer opto-chemical-electronic based module as a detection system for volatile analytes on a foil substrate // Organic Semiconductors in Sensors and Bioelectronics. V. (2012). https://doi.org/10.1117/12.929821.
Elinson V.M., Shchur P.A. and Silnitskaya O.A. Multifunctional polymer materials with antifungal activity, modified by fluorocarbon films by methods of ion-plasma technology, IOP Publishing Ltd, Journal of Physics: Conference Series, v. 1121 012012, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1121/1/012012.
Laptev A.B., Golubev A.V., Kireev D.M., Nikolaev E.V. (2019). To the Question of Biodegradation of Polymeric Materials in Natural Environments (review). Proceedings of VIAM. 100–107. https://doi.org/10.18577/2307-6046-2019-0-9-100–107.
Borcia G. Brown NMD. Hydrophobic Coatings On Selected Polymers In An Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge. J Phys D-Appl Phys. 2007; 40(7):1927-36.
Elinson V.M., Kuzkin V.I., Kukushkin D.Yu., Shchur P.A. and Silnitskaya O.A. Investigation of the surface properties of anti-adhesive antimicrobial coatings formed by ion-plasma technology on the surface of polyethyleneterephthalate and polytetrafluoroethylene // IOP Publishing Ltd, Journal of Physics: Conference Series, v. 1281 (2019) 012012, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1281/1/012012.
Суздалев И.П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов – М.: КомКнига, 2006, 592 c.
Dimitrov Zh., Nikovski M. and Kiss’ovski Zh. Deposition of carbon nanostructures on metal substrates at atmospheric pressure // Journal of Physics: Conference Series 700 (2016) 012045, https://doi.org/10.1088/1742-6596/700/1/012045.
Зибров М.С., Писарев А.А., Ходаченко Г.В., Мозгрин Д.В. Создание тонких защитных углеродных покрытий на алюминии // Успехи прикладной физики. 2013. Т. 1. № 2. С. 167–172.
Fanelli F., Fracassi F. D’Agostino R. Atmospheric Pressure PECVD of Fluorocarbon Coatings from Glow Dielectric Barrier Discharges // Plasma Process. Polym. 2007, 4, p. 430–434, https://doi.org/10.1002/ppap. 200731201.
Kumar V., Pulpytel J., Rauscher H., Mannelli I., Rossi F. and Arefi-Khonsari F. (2010), Fluorocarbon Coatings Via Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyl Acrylate – 2, Morphology, Wettability and Antifouling Characterization. Plasma Processes Polym., 7: 926-938, https://doi.org/10.1002/ppap. 201000038.
Laroussi M., Lu X. and Keidar M. Perspective: The physics, diagnostics, and applications of atmospheric pressure low temperature plasma sources used in plasma medicine // Appl. Phys. 122, 020901 (2017); https://doi.org/10.1063/1.4993710.
Ramamoorthy A., Mohan J., Byrne G., Murphy N., Ivankovic A. and Dowling D.P. Achieving Enhanced Fracture Toughness of Adhesively Bonded Cured Composite Joint Systems Using Atmospheric Pressure Plasma Treatments / Michael Thomas and K.L. Mittal (eds.) Atmospheric Pressure Plasma Treatment of Polymers, 2013 Scrivener Publishing LLC (383–396).
Rehn P., Wolkenhauer A., Bente M., Forster S., Vio W. Wood surface modification in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure // Surface and Coatings Technology 174–175 (2003) 515–518.
Borcia G. Brown NMD. Hydrophobic Coatings on Selected Polymers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge. J Phys D-Appl Phys. 2007; 40(7):1927-36.
Shvedov A.V., Elinson V.M., Shchur P.A. and Kirillov D.V. Optical and mechanical properties of fluorocarbon coatings formed in a matrix mode of deposition using an atmospheric pressure plasmatron // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series 1313 (2019) 012050, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1313/1/012050.
(ORCID: 0000-0002-4432-7991), П.А.Щур*, аспирант, инженер, (ORCID: 0000-0002-7862-2366) / seriousash@yandex.ru
A.V.Shvedov*, Post-graduate, Engineer, V.M.Elinson*, Doct. of Sc. (Technical), Prof., P.A.Shchur*, Post-graduate, Engineer
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.6.364.371
Получено: 24.09.2020 г.
ВВЕДЕНИЕ
Жизненный цикл изделий политроники и оптоэлектроники во многом зависит от свойств и характеристик полимерных материалов, входящих в состав их компонентов [1, 2]. Под воздействием таких внешних факторов, как повышенная влажность, физические повреждения и биологические загрязнения, свойства полимерных материалов подвергаются существенной деградации, что может привести к выходу из строя всего устройства [3, 4]. С целью минимизации влияния окружающей среды на поверхность полимерных материалов применяются ионно-плазменные технологии в вакууме для осаждения из газовой фазы тонких углеродсодержащих покрытий [2, 5].
Применение углерода в качестве основного материала покрытия позволяет формировать слой с полностью компенсированными валентными связями, свойства которого изменяются в широких пределах в зависимости от технологии осаждения [6]. В связи с этим тонкие углеродсодержащие пленки хорошо зарекомендовали себя в качестве защитного покрытия на поверхностях различных материалов [7, 8]. Добавление фтора в состав покрытия позволяет повысить гидрофобные свойства поверхности, а также добиться повышенной химической и механической стойкости [9, 10].
Современные методы производства новых материалов и обработки поверхности различных изделий во многом опираются на технологии с низким энергопотреблением. К таким технологиям можно отнести методы, в основе которых лежит применение низкотемпературной плазмы атмосферного давления, зарекомендовавшие себя в широком спектре областей деятельности человека [11–14]. Среди множества устройств генерации низкотемпературной плазмы наиболее выгодным является низкочастотный (НЧ) плазмотрон атмосферного давления, который позволяет производить точечную обработку или осаждение из газовой фазы с минимизированным влиянием окружающей атмосферы без необходимости создания и поддержания вакуума и минимальными энергетическими затратами [15]. Это позволяет с относительной легкостью обрабатывать такие термолабильные материалы, как полимеры, широко применяемые в устройствах опто- и радиоэлектроники.
Для формирования покрытия по всей площади изделия при помощи НЧ-плазмотрона атмосферного давления необходимо рассмотреть режим, который подразумевает равномерное перемещение сопла плазмотрона над поверхностью подложки. Динамический режим является непрерывным режимом формирования покрытия с фиксированными значениями скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона и шага обработки.
Исследование свойств углеродных и фторуглеродных покрытий, полученных НЧ-плазмотроном атмосферного давления в динамическом режиме осаждения из газовой фазы, является целью данной работы.
МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
Осаждение из газовой фазы углеродных и фторуглеродных покрытий производилось на экспериментальной установке, в состав которой входит монополярный НЧ-плазмотрон низкотемпературной плазмы мощностью до 100 Вт и частотой 70–130 кГц. Для реализации динамического режима обработки сопло плазмотрона было вмонтировано на установке с ЧПУ для прецизионного контроля геометрических параметров обработки (рис.1).
Осаждение из газовой фазы углеродных покрытий обеспечивалось подачей нескольких потоков газов: плазмообразующий и транспортный газ – Ar, пленкообразующий газ – пары C6H12. Формирование фторуглеродных покрытий производилось с использованием транспортного газа CF4. В процессе осаждения фиксировались следующие технологические параметры: расстояние плазмотрон-подложка (15–24 мм), скорость передвижения (1–3 мм/с) и шаг обработки (3–6 мм). Суммарный поток газов составлял 7,1 ± 0,1 л/мин при концентрации C6H12 – 2,5%. Осаждение из газовой фазы проводилось на подложки из полиэтилентерефталата (ПЭТФ) и монокристаллического кремния в зависимости от выполненных исследований. Измерение контактного угла смачивания производилось при помощи микроскопа "МГ" c гониометрической приставкой, исследование рельефа было выполнено с помощью сканирующего зондового микроскопа NT MDT SolverNext с АСМ-головкой.
РЕЗУЛЬТАТЫ
Для определения гидрофобности и гидрофильности углеродных и фторуглеродных покрытий было проведено измерение контактного угла смачивания на подложках ПЭТФ. Результаты исследования представлены на рис.2, 3. Контактный угол смачивания контрольного образца ПЭТФ составлял 58°, а монокристаллического кремния – 56°.
Нанесение углеродного покрытия приводило к гидрофилизации ПЭТФ и снижению контактного угла смачивания до 42°, что связано с обработкой и термическим воздействием на приповерхностный слой ПЭТФ, приводящим к его гидрофилизации [12], параллельно с процессами осаждения из газовой фазы. Было предположено, что получаемые покрытия позволяют фиксировать результаты обработки поверхности полимерных материалов, в то время как само покрытие, из-за увеличения концентрации C–O-групп, должно увеличивать гидрофобность. На рис.3 представлен образец углеродного покрытия на подложке из монокристаллического кремния, где углеродное покрытие приводит к незначительному увеличению гидрофобности поверхности за счет минимизированного влияния низкотемпературной плазмы на приповерхностный слой кремния, а также за счет иного типа проводимости подложки.
Фторуглеродные покрытия приводили к увеличению гидрофобных свойств на поверхности ПЭТФ с увеличением контактного угла смачивания до 78°, что связано с повышенной концентрацией C–O-связей и присутствием C–F-связей. Увеличение гидрофобности также обусловлено проведением как процесса нанесения, так и процесса травления с вытеснением наименее сильных связей, таких как C–H, c замещением их на более устойчивые С–F.
Изменения контактного угла смачивания от шага обработки говорит о неоднородном распределении толщины в зависимости от расстояния между проходами сопла НЧ-плазмотрона над поверхностью подложки. По всей видимости, шаг обработки в 4 мм связан со слоями, формируемыми группами С–H и C–N на границе ионизированных частиц и зоной рекомбинации.
Влияние расстояния "плазмотрон – подложка" на контактный угол смачивания характеризует изменение химического состава получаемого покрытия и концентрации связей С–С, C = C, C ≡ C, C = O в результате диссоциации пленкообразующей смеси. Увеличение количества С–С компонентов с дополнительным увеличением расстояния "плазмотрон – подложка" позволяет увеличивать гидрофобность получаемых покрытий.
Увеличение скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона позволяло производить увеличение гидрофобности за счет более равномерного рельефа. Кроме того, повышенная скорость позволяла осуществлять осаждение наиболее стабильных продуктов диссоциации, не подвергшихся процессам рекомбинации с атмосферным воздухом, которые в процессе передвижения и характера распространения газовой смеси не достигали поверхности подложки.
Исследование рельефа углеродных и фторуглеродных покрытий производилось на подложках из монокристаллического кремния. На рис.4 показаны оптические снимки полученных покрытий, на которых видно, что с увеличением скорости передвижения сопла плазмотрона увеличивается однородность получаемых покрытий, как видно по изменяющемуся цвету отраженного света. Нанесение фторуглеродного покрытия позволяет добиться равномерного распределения толщины за исключением точек, в которых наблюдается повышенная концентрация материала покрытия, в виде черных точек.
По всей видимости, это связано с пробоями НЧ дугового разряда, которые в редких случаях приводят к резкому росту толщины покрытия. Линии, наблюдаемые на снимках, являются следами, повторяющими кристаллографическую ориентацию монокристаллического кремния (111), возникающими за счет повышенной проводимости по отношению к остальному объему подложки.
На рис.5 отображены сканы поверхности углеродных и фторуглеродных покрытий, полученные при помощи АСМ, на которых показано, что углеродные покрытия обладают более развитым рельефом. Это связано с тем, что осаждение из газовой фазы фторуглеродных покрытий сопровождается процессом травления формируемого покрытия, которое происходит с использованием CF4, являющимся как пленкообразующим, так и травящим компонентом. Вследствие чего, шероховатость поверхности (Sq) фторуглеродных покрытий составляла 7,45 нм и была меньше, чем для углеродных покрытий, у которых Sq = 11,9±0,01 нм. По всей видимости, данный эффект оказывает существенное влияние на контактный угол смачивания и химический состав получаемых покрытий.
ВЫВОДЫ
В результате проведенной работы было показано влияние технологических параметров осаждения из газовой фазы НЧ-плазмотроном атмосферного давления на физические и химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий. Установлена величина контактного угла смачивания и влияние материала подложки на получаемое покрытие.
Влияние расстояния "плазмотрон – подложка" и скорости перемещения сопла НЧ-плазмотрона на изменение гидрофобности и гидрофильности поверхности носит нелинейный характер, что говорит о влиянии процессов рекомбинации ионизированной газовой смеси с атмосферным воздухом, которые могут быть использованы для получения покрытий с заданным составом и свойствами. Показано влияние скорости перемещения сопла плазмотрона над подложкой на рельеф получаемых покрытий, а также рассмотрено влияние травящего компонента CF4 на получаемый рельеф покрытий. Установлена величина шероховатости покрытий, которая составила в среднем 11–12 нм для углеродных покрытий и 7–8 нм для фторуглеродных покрытий.
ЛИТЕРАТУРА / REFERENCES
Bose I., Ohlander A., Stich M., Kiesl C., Hemmetzberger D., Klink G., Bock K. Polymer opto-chemical-electronic based module as a detection system for volatile analytes on a foil substrate // Organic Semiconductors in Sensors and Bioelectronics. V. (2012). https://doi.org/10.1117/12.929821.
Elinson V.M., Shchur P.A. and Silnitskaya O.A. Multifunctional polymer materials with antifungal activity, modified by fluorocarbon films by methods of ion-plasma technology, IOP Publishing Ltd, Journal of Physics: Conference Series, v. 1121 012012, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1121/1/012012.
Laptev A.B., Golubev A.V., Kireev D.M., Nikolaev E.V. (2019). To the Question of Biodegradation of Polymeric Materials in Natural Environments (review). Proceedings of VIAM. 100–107. https://doi.org/10.18577/2307-6046-2019-0-9-100–107.
Borcia G. Brown NMD. Hydrophobic Coatings On Selected Polymers In An Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge. J Phys D-Appl Phys. 2007; 40(7):1927-36.
Elinson V.M., Kuzkin V.I., Kukushkin D.Yu., Shchur P.A. and Silnitskaya O.A. Investigation of the surface properties of anti-adhesive antimicrobial coatings formed by ion-plasma technology on the surface of polyethyleneterephthalate and polytetrafluoroethylene // IOP Publishing Ltd, Journal of Physics: Conference Series, v. 1281 (2019) 012012, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1281/1/012012.
Суздалев И.П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов – М.: КомКнига, 2006, 592 c.
Dimitrov Zh., Nikovski M. and Kiss’ovski Zh. Deposition of carbon nanostructures on metal substrates at atmospheric pressure // Journal of Physics: Conference Series 700 (2016) 012045, https://doi.org/10.1088/1742-6596/700/1/012045.
Зибров М.С., Писарев А.А., Ходаченко Г.В., Мозгрин Д.В. Создание тонких защитных углеродных покрытий на алюминии // Успехи прикладной физики. 2013. Т. 1. № 2. С. 167–172.
Fanelli F., Fracassi F. D’Agostino R. Atmospheric Pressure PECVD of Fluorocarbon Coatings from Glow Dielectric Barrier Discharges // Plasma Process. Polym. 2007, 4, p. 430–434, https://doi.org/10.1002/ppap. 200731201.
Kumar V., Pulpytel J., Rauscher H., Mannelli I., Rossi F. and Arefi-Khonsari F. (2010), Fluorocarbon Coatings Via Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyl Acrylate – 2, Morphology, Wettability and Antifouling Characterization. Plasma Processes Polym., 7: 926-938, https://doi.org/10.1002/ppap. 201000038.
Laroussi M., Lu X. and Keidar M. Perspective: The physics, diagnostics, and applications of atmospheric pressure low temperature plasma sources used in plasma medicine // Appl. Phys. 122, 020901 (2017); https://doi.org/10.1063/1.4993710.
Ramamoorthy A., Mohan J., Byrne G., Murphy N., Ivankovic A. and Dowling D.P. Achieving Enhanced Fracture Toughness of Adhesively Bonded Cured Composite Joint Systems Using Atmospheric Pressure Plasma Treatments / Michael Thomas and K.L. Mittal (eds.) Atmospheric Pressure Plasma Treatment of Polymers, 2013 Scrivener Publishing LLC (383–396).
Rehn P., Wolkenhauer A., Bente M., Forster S., Vio W. Wood surface modification in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure // Surface and Coatings Technology 174–175 (2003) 515–518.
Borcia G. Brown NMD. Hydrophobic Coatings on Selected Polymers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge. J Phys D-Appl Phys. 2007; 40(7):1927-36.
Shvedov A.V., Elinson V.M., Shchur P.A. and Kirillov D.V. Optical and mechanical properties of fluorocarbon coatings formed in a matrix mode of deposition using an atmospheric pressure plasmatron // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series 1313 (2019) 012050, https://doi.org/10.1088/1742-6596/1313/1/012050.
Отзывы читателей
